20xx年光電定向實驗報告(編輯修改稿)
2025-01-25 05:24 本頁面
【文章內容簡介】 ．通常是利用集成光路光刻技術將完整的ＰＮ結光電二極管的光敏面分割成幾個具有相同形狀和面積、位置對稱的區(qū)域，每個區(qū)域可以看作１個獨立的光電探測器，其背面仍為一整片．理想情況下每個區(qū)域都具有完全相同的性能參量．[3].
?。ǎ幔﹫A形光敏面ＱＰＤ （ｂ）矩形光敏面ＱＰＤ
圖2 四象限探測器實物圖
如圖3（ａ）所示，四象限光電探測器光敏面有４部分Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ．假設入射光斑為圓形且能量分布均勻，如圖3
（ｂ）所示，照射在光敏面上的光斑
被４個象限分成４個部分，４個象限的光斑面積分別為ＳＡ，ＳＢ，ＳＣ和ＳＤ．此時，由于光生伏特效應，在４個象限中產生與光信號對應的電信號，其對應電流大小分別為ＩＡ，ＩＢ，ＩＣ和ＩＤ．如圖２（ｃ）所示，當光斑中心在四象限光電
探測器上的位置改變時，光敏面各象限上的光斑面積也會改變，從而引起四象限探測器各象限輸出電流強度的變化，通過一定的信號處理方法可以得到光斑能量中心位置相關信息．如圖4所示.
圖3 四象限探測器工作示意圖
圖4四象限探測器工作光路
根據(jù)輸出電流強度可以計算出光斑能量中心位置．用σx和σy分別表示x和y
軸上根據(jù)四象限光電探測器輸出信號經過一定的算法處理后的歸一化偏移量，σx和σy與光斑能量中心實際偏移量的對應關系利用加減算法得［６－７］
x0KxK(SASB)(SBSD) SASBSCSD
(SASB)(SBSD) SASBSCSDy
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