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01集成電路制造工藝概述(留存版)

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【正文】 時 5分 11秒 00:05:1122 January 2023 ? 1一個人即使已登上頂峰,也仍要自強不息。 :05:1100:05Jan2322Jan23 ? 1世間成事,不求其絕對圓滿,留一份不足,可得無限完美。其中臺灣晶圓月產能達 2, 8寸約當晶圓,占全球半導體總產能達 21%,躍居第 1大生產國;原本是全球最大晶圓生產國的日本,月產能達 2, 8寸約當晶圓,市占率達%,位居第 2大生產國;韓國則以 2,片 8寸約當晶圓月產能,位居第 3大生產國,市占率達 %;美國月產能達 1, 8寸約當晶圓,市占率降至 %,是全球第 4大生產國。但是很快,肖克利的管理方法和怪異行為引起員工的不滿。 ?主要設備: ?高溫擴散爐: 1200℃ 左右,能完成氧化、擴散、淀積、退火以及合金等多種工藝流程。? 1969 ? 2023年, Kilby被授予諾貝爾物理學獎( Noyce去世 10年 ) ?杰克 ?作業(yè)五 ? 5以反相器為例描述 CMOS工藝流程。 2023/1/22 30 第 3階段:硅片的測試 /揀選 ?硅片制造完成后,硅片被送到測試 /揀選區(qū),在那里進行單個芯片的探測和電學測試,然后揀選出可接受和不可接受的芯片,并為有缺陷的芯片做標記,通過測試的芯片將繼續(xù)進行以后的工藝。肖克利( WILLIAM SHOCKELY) ? “晶體管之父”( 19101989) ? 1947,點接觸晶體管; 1950,面結型晶體管 ? 肖克利實驗室( 19551968),圣克拉拉谷 (硅谷 ) ? 1956,諾貝爾物理獎 ? 1957,八判逆 ? 1958,斯坦福大學 ? 1963,斯坦福大學 ? 70年代,人種學和優(yōu)生學?? ? 肖克利博士非凡的商業(yè)眼光,成就了硅谷;肖克利博士拙劣的企業(yè)才能,創(chuàng)造了硅谷。八人接受位于紐約的仙童攝影器材公司的資助,于 1957年,創(chuàng)辦了 仙童半導體公司 。 2023年 1月 上午 12時 5分 :05January 22, 2023 ? 1行動出成果,工作出財富。 00:05:1100:05:1100:05Sunday, January 22, 2023 ? 1知人者智,自知者明。 上午 12時 5分 11秒 上午 12時 5分 00:05: ? 楊柳散和風,青山澹吾慮。 00:05:1100:05:1100:05Sunday, January 22, 2023 ? 1乍見翻疑夢,相悲各問年。 拉斯特、謝爾頓 薄膜生長中所采用的溫度低于擴散區(qū)中設備的工作溫度。 2023/1/22 24 半導體的集成 時代 2023/1/22 25 電路集成 半導體產業(yè)周期 每個芯片元件數(shù) 分立元件 1960年前 1 SSI 20世紀 60年代前期 2~50 MSI 20世紀 60年代到 70年代前期 20~5000 LSI 20世紀 70年代前期到 70年代后期 5000~100 000 VLSI 20世紀 70年代后期到 80年代后期 100 000~1 000 000 ULSI 20世紀 90年代后期至今 大于 1 000 000 半導體主要趨勢 ?提高芯片性能: ?速度(按比例縮小器件和使用新材料) ?關鍵尺寸( CD) ?芯片上的物理尺寸特征被稱為 特征尺寸 。 電子科學與技術 ?專門研究電子科學理論及其應用技術的學科,其研究的主要內容是 ?電子技術的核心理論 ?制造電子元器件的材料、方法與 工藝 ?電路設計理論與應用技術 ?設計 ?制造 ?測試 電子科學與技術的基本內容 ? ? 分立器件和集成器件 ? 如何設計出滿足應用系統(tǒng)要求的電子元器件 ? ? 半導體材料、金屬材料和非金屬材料 ? 采用什么樣的材料才能滿足工程實際的需要 ? ? 電子材料的基本物理和化學性質、元器件的基本工作原理等 ? ? 提供了最直接的應用技術,是電子科學與技術理論研究和工程應用技術聯(lián)系的紐帶 ?集成電路技術 ?器件階段 —— 集成電路設計技術是支持技術 ?設計基礎是器件 ?系統(tǒng)實現(xiàn)技術是器件組成系統(tǒng) ?基本工具是器件分析系和系統(tǒng)仿真 ?SoC階段 —— 集成電路設計技術是基本應用技術 ?設計
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