【正文】 連鎖方案方案內(nèi)容：控制器通過(guò)傳感器監(jiān)控發(fā)現(xiàn)光刻機(jī)關(guān)鍵位置的動(dòng)作信息，分析判斷設(shè)備工作狀態(tài)。缺點(diǎn)1,報(bào)警連鎖響應(yīng)時(shí)間相對(duì)略長(zhǎng)。以上設(shè)備UT04是由分立器件，以及延時(shí)繼電器，繼電器，通過(guò)一定的邏輯組合關(guān)系完成。通常有敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。遲后：輸出信號(hào)變化相對(duì)于輸入信號(hào)變化的時(shí)間延遲。其工作原理是：當(dāng)照度下降到設(shè)置值時(shí)由于光敏電阻阻值上升激發(fā)VT1導(dǎo)通，VT2的激勵(lì)電流使繼電器工作，常開(kāi)觸點(diǎn)閉合，常閉觸點(diǎn)斷開(kāi)，實(shí)現(xiàn)對(duì)外電路的控制。、溫范圍－55℃～+125℃，在10～+85℃時(shí)精度為177。上電瞬間RST引腳獲得高電平單片機(jī)復(fù)位電路隨著電容的C11的充電，RST引腳的高電平逐漸下降。對(duì)受濕受潮的設(shè)備不能進(jìn)行調(diào)試，若強(qiáng)行調(diào)試，人容易觸電，設(shè)備容易損壞，要等設(shè)備完全干透后才能進(jìn)行調(diào)試。論文中的有些觀點(diǎn)以及闡述難免有疏漏和不足的地方，歡迎老師們指正。 各電氣元件要按規(guī)定做好接地防護(hù)，正確的接地對(duì)防干擾防電擊非常必要。其電容的作用主要是對(duì)頻率進(jìn)行微調(diào)，一般取 ，受外界的環(huán)境的干擾影響非常小，復(fù)位是單片機(jī)初始化操作，其主要功能是把PC初始化為0000H，使單片機(jī)從000H單元執(zhí)行程序。斜率累加器用于補(bǔ)償和修正測(cè)溫過(guò)程中的非線(xiàn)性，、適應(yīng)電壓范圍更寬，電壓范圍：～，在寄生電源方式下可由數(shù) 據(jù)線(xiàn)供電。補(bǔ)償溫度范圍：使傳感器保持量程和規(guī)定極限內(nèi)的零平衡所補(bǔ)償?shù)臏囟确秶?。輸出：有傳感器產(chǎn)生的與外加被測(cè)量成函數(shù)關(guān)系的電量。C:優(yōu)化性能比較：輸出狀態(tài)由3種增加到6種，便于作業(yè)人員識(shí)別AUTOLOADER異常檢測(cè)傳感器：A方案: 無(wú)B方案：有C:優(yōu)化性能比較：傳輸響應(yīng)時(shí)間由20秒提高到立即響應(yīng)溫度報(bào)警傳感器：A方案：無(wú)B方案：有C:優(yōu)化性能比較：增加了溫度報(bào)警傳感器，提高了工作安全水平光敏傳感器 真空傳感器 片架檢測(cè)傳感器：A方案：有B方案：有監(jiān)測(cè)設(shè)備狀態(tài)變化響應(yīng)時(shí)間:A方案：小于20秒B方案：小于6秒C：優(yōu)化性能比較：提高了響應(yīng)時(shí)間優(yōu)化后性能規(guī)格合格，實(shí)際方案已經(jīng)固化。 報(bào)警指示燈第二階段：功能設(shè)計(jì)要求報(bào)警指示燈報(bào)警指示燈報(bào)警指示燈報(bào)警指示燈報(bào)警指示燈報(bào)警指示燈. 第三階段——控制方案設(shè)計(jì)選取2臺(tái)設(shè)備分別做了試驗(yàn)：UT1100 報(bào)警燈輸出定義：輸出綠燈：狀態(tài)設(shè)備作業(yè)中 定義1放片架作業(yè)輸出紅燈: 狀態(tài)傳輸報(bào)警/作業(yè)結(jié)束定義1放片架開(kāi)始作業(yè)后，作業(yè)員20秒內(nèi)未完成輸入菜單執(zhí)行曝光，報(bào)警 定義2其他原因?qū)е聜鬏敭惓Ｎ磮?zhí)行曝光20秒以上，報(bào)警。3，系統(tǒng)由STC 單片機(jī)控制。（五）。并自動(dòng)中斷作業(yè)，等待作業(yè)員處理。南京理工大學(xué)繼續(xù)教育學(xué)院本科畢業(yè)論文（設(shè)計(jì)） 學(xué)習(xí)中心：常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院學(xué) 號(hào)： 541122130110 姓 名： 許嘉佳 專(zhuān) 業(yè)： 電子科學(xué)與技術(shù) 指導(dǎo)教師： 張紅 2015 年 3 月 13日 本科畢業(yè)論文（設(shè)計(jì)）指導(dǎo)教師指導(dǎo)意見(jiàn)表學(xué)生姓名： 許嘉佳 學(xué)號(hào)： 541122130110 專(zhuān)業(yè)：電子科學(xué)與技術(shù) 畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）題目：UT1100光刻機(jī)報(bào)警燈設(shè)計(jì)與安裝 指導(dǎo)教師意見(jiàn)：（請(qǐng)對(duì)論文的學(xué)術(shù)水平做出簡(jiǎn)要評(píng)述。發(fā)生頻率較高，嚴(yán)重影響作業(yè)效率。缺點(diǎn)1，成本較高。新控制器電路上與原來(lái)的設(shè)備控制系統(tǒng)無(wú)任何電子關(guān)聯(lián)。定義3作業(yè)曝光中，設(shè)備掉Z MODE異常發(fā)生后3秒以后，報(bào)警。后續(xù)剩余所有UT STEP光刻機(jī)報(bào)警安裝計(jì)劃都采用最終的優(yōu)化方案。輸出阻抗：在輸入端短路時(shí)，傳感器輸出端測(cè)得的阻抗。蠕變：當(dāng)被測(cè)量機(jī)器多有環(huán)境條件保持恒定時(shí)，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)輸出量的變化。、獨(dú)特的單線(xiàn)接口方式，DS18B20在與微處理器連接時(shí)僅需要一條口線(xiàn)即可實(shí)現(xiàn)微處理器與DS18B20的雙向通訊。除了進(jìn)入系統(tǒng)的正常初始化之外，當(dāng)程序運(yùn)行出錯(cuò)或操作錯(cuò)誤使系統(tǒng)處于死鎖狀態(tài)時(shí)，為擺脫困境也需要按復(fù)位鍵重新啟動(dòng)。整機(jī)也要按照要求進(jìn)行正確接地。八：參考文獻(xiàn)1. 康華光，電子技術(shù)基礎(chǔ)模擬部分 ：2. 康華光，電子技術(shù)基礎(chǔ)數(shù)字部分 ：3. 潘永雄 ：4. 孫涵芳 （