ut光刻機警報燈設(shè)計與安裝畢業(yè)論文(編輯修改稿)
2025-07-22 11:59 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 紅燈常亮：設(shè)備狀態(tài)發(fā)生AUTOLOAD傳輸報警 報警響應(yīng)時間立即紅燈閃亮：設(shè)備狀態(tài)發(fā)生Z MODE報警 報警響應(yīng)時間3秒內(nèi)黃燈常亮：設(shè)備狀態(tài)發(fā)生設(shè)備IDLE 報警響應(yīng)時間立即黃燈閃亮：設(shè)備狀態(tài)發(fā)生工作控制器異常報警 報警響應(yīng)時間6秒內(nèi)第四階段選型1. stage 設(shè)置wafer VAC sensor（載臺圓片真空傳感器）真空傳感器的工作原理是介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號。傳感器：能感受規(guī)定的被測量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。通常有敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。①敏感元件是指傳感器中能直接（或響應(yīng)）被測量的部分。②轉(zhuǎn)換元件指傳感器中能較敏感元件感受（或響應(yīng)）的北側(cè)量轉(zhuǎn)換成是與傳輸和（或）測量的電信號部分。③當(dāng)輸出為規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)信號時，則稱. 測量范圍：在允許誤差限內(nèi)被測量值的范圍。量程：測量范圍上限值和下限值的代數(shù)差。精確度：被測量的測量結(jié)果與真值間的一致程度。從復(fù)性：在所有下述條件下，對同一被測的量進行多次連續(xù)測量所得結(jié)果之間的符合程度：分辨力：傳感器在規(guī)定測量范圍圓可能檢測出的被測量的最小變化量。閾值：能使傳感器輸出端產(chǎn)生可測變化量的被測量的最小變化量。使輸出的絕對值為最小的狀態(tài)，例如平衡狀態(tài)。激勵：為使傳感器正常工作而施加的外部能量（電壓或電流）。最大激勵：在市內(nèi)條件下，能夠施加到傳感器上的激勵電壓或電流的最大值。輸入阻抗：在輸出端短路時，傳感器輸入的端測得的阻抗。輸出：有傳感器產(chǎn)生的與外加被測量成函數(shù)關(guān)系的電量。輸出阻抗：在輸入端短路時，傳感器輸出端測得的阻抗。零點輸出：在市內(nèi)條件下，所加被測量為零時傳感器的輸出。滯后：在規(guī)定的范圍內(nèi)，當(dāng)被測量值增加和減少時，輸出中出現(xiàn)的最大差值。遲后：輸出信號變化相對于輸入信號變化的時間延遲。漂移：在一定的時間間隔內(nèi)，傳感器輸出終于被測量無關(guān)的不需要的變化量。零點漂移：在規(guī)定的時間間隔及室內(nèi)條件下零點輸出時的變化。靈敏度：傳感器輸出量的增量與相應(yīng)的輸入量增量之比。靈敏度漂移：由于靈敏度的變化而引起的校準(zhǔn)曲線斜率的變化。熱靈敏度漂移：由于靈敏度的變化而引起的靈敏度漂移。熱零點漂移：由于周圍溫度變化而引起的零點漂移。線性度：校準(zhǔn)曲線與某一規(guī)定只限一致的程度。菲線性度：校準(zhǔn)曲線與某一規(guī)定直線偏離的程度。長期穩(wěn)定性：傳感器在規(guī)定的時間內(nèi)仍能保持不超過允許誤差的能力。固有憑率：在無阻力時，傳感器的自由（不加外力）振蕩憑率。響應(yīng)：輸出時被測量變化的特性。補償溫度范圍：使傳感器保持量程和規(guī)定極限內(nèi)的零平衡所補償?shù)臏囟确秶Ｈ渥儯寒?dāng)被測量機器多有環(huán)境條件保持恒定時，在規(guī)定時間內(nèi)輸出量的變化。絕緣電阻：如無其他規(guī)定，指在室溫條件下施加規(guī)定的直流電壓時，從傳感器規(guī)定絕緣部分之間測得的電阻值。2. 設(shè)備曝光路設(shè)置光感sensor switch光感電路有多種形式，如自鎖亮激發(fā)、暗激發(fā)及精密亮激發(fā)、暗激發(fā)等等，是一種簡單的暗激發(fā)繼電器開關(guān)電路。其工作原理是：當(dāng)照度下降到設(shè)置值時由于光敏電阻阻值上升激發(fā)VT1導(dǎo)通，VT2的激勵電流使繼電器工作，常開觸點閉合，常閉觸點斷開，實現(xiàn)對外電路的控制。3. 設(shè)備出片端index安裝設(shè)置cassette 漫反射switch光電開關(guān)是傳感器的一種，它把發(fā)射端和接收端之間光的強弱變化轉(zhuǎn)化為電流的變化以達到探測的目的。由于光電開關(guān)輸出回路和輸入回路是電隔離的（即電緣絕），所以它可以在許多場合得到應(yīng)用.。下列場所，一般有可能造成光電開關(guān)的誤動作，應(yīng)盡量避開：（1）灰塵較多的場所；（2）腐蝕性氣體較多的場所；（3）水、油、化學(xué)品有可能直接飛濺的場所；（4）戶外或太陽光等有強光直射而無遮光措施的場所；（5）環(huán)境溫度變化超出產(chǎn)品規(guī)定范圍的場所；（6）振動、沖擊大，而未采取避震措施的場所。4. Wafer ready 觸發(fā)coupler sensor監(jiān)測設(shè)備傳輸異常夏普pc817是常用的線性光藕，廣泛用在電腦終端機，可控硅系統(tǒng)設(shè)備，測量儀器，影印機，自動售票，家用電器，如風(fēng)扇，加熱器等電路之間的信號傳輸，常常在各種要求比較精密的功能電路中被當(dāng)作耦合器件，具有上下級電路完全隔離的作用，相互不產(chǎn)生影響。使之前端與負載完全隔離，目的在于增加安全性，減小電路干擾，減化電路設(shè)計。5. 18D20溫控集成電路DS18B20的讀寫時序和測溫原理與DS1820相同，只是得到的溫度值的位數(shù)因分辨率不同而不同，且溫度轉(zhuǎn)換時的延時時間由2s減為750ms。 DS18B20測溫原理如圖3所示。圖中低溫度系數(shù)晶振的振蕩頻率受溫度影響很小，用于產(chǎn)生固定頻率的脈沖信號送給計數(shù)器1。高溫度系數(shù)晶振隨溫度變化其振蕩率明顯改變，所產(chǎn)生的信號作為計數(shù)器2的脈沖輸入。計數(shù)器1和溫度寄存器被預(yù)置在55℃所對應(yīng)的一個
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