ut光刻機警報燈設計與安裝畢業(yè)論文(編輯修改稿)
2025-07-22 11:59 本頁面
【文章內容簡介】 紅燈常亮：設備狀態(tài)發(fā)生AUTOLOAD傳輸報警 報警響應時間立即紅燈閃亮：設備狀態(tài)發(fā)生Z MODE報警 報警響應時間3秒內黃燈常亮：設備狀態(tài)發(fā)生設備IDLE 報警響應時間立即黃燈閃亮：設備狀態(tài)發(fā)生工作控制器異常報警 報警響應時間6秒內第四階段選型1. stage 設置wafer VAC sensor（載臺圓片真空傳感器）真空傳感器的工作原理是介質的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這個壓力的標準信號。傳感器：能感受規(guī)定的被測量并按照一定的規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。通常有敏感元件和轉換元件組成。①敏感元件是指傳感器中能直接（或響應）被測量的部分。②轉換元件指傳感器中能較敏感元件感受（或響應）的北側量轉換成是與傳輸和（或）測量的電信號部分。③當輸出為規(guī)定的標準信號時，則稱. 測量范圍：在允許誤差限內被測量值的范圍。量程：測量范圍上限值和下限值的代數差。精確度：被測量的測量結果與真值間的一致程度。從復性：在所有下述條件下，對同一被測的量進行多次連續(xù)測量所得結果之間的符合程度：分辨力：傳感器在規(guī)定測量范圍圓可能檢測出的被測量的最小變化量。閾值：能使傳感器輸出端產生可測變化量的被測量的最小變化量。使輸出的絕對值為最小的狀態(tài)，例如平衡狀態(tài)。激勵：為使傳感器正常工作而施加的外部能量（電壓或電流）。最大激勵：在市內條件下，能夠施加到傳感器上的激勵電壓或電流的最大值。輸入阻抗：在輸出端短路時，傳感器輸入的端測得的阻抗。輸出：有傳感器產生的與外加被測量成函數關系的電量。輸出阻抗：在輸入端短路時，傳感器輸出端測得的阻抗。零點輸出：在市內條件下，所加被測量為零時傳感器的輸出。滯后：在規(guī)定的范圍內，當被測量值增加和減少時，輸出中出現(xiàn)的最大差值。遲后：輸出信號變化相對于輸入信號變化的時間延遲。漂移：在一定的時間間隔內，傳感器輸出終于被測量無關的不需要的變化量。零點漂移：在規(guī)定的時間間隔及室內條件下零點輸出時的變化。靈敏度：傳感器輸出量的增量與相應的輸入量增量之比。靈敏度漂移：由于靈敏度的變化而引起的校準曲線斜率的變化。熱靈敏度漂移：由于靈敏度的變化而引起的靈敏度漂移。熱零點漂移：由于周圍溫度變化而引起的零點漂移。線性度：校準曲線與某一規(guī)定只限一致的程度。菲線性度：校準曲線與某一規(guī)定直線偏離的程度。長期穩(wěn)定性：傳感器在規(guī)定的時間內仍能保持不超過允許誤差的能力。固有憑率：在無阻力時，傳感器的自由（不加外力）振蕩憑率。響應：輸出時被測量變化的特性。補償溫度范圍：使傳感器保持量程和規(guī)定極限內的零平衡所補償的溫度范圍。蠕變：當被測量機器多有環(huán)境條件保持恒定時，在規(guī)定時間內輸出量的變化。絕緣電阻：如無其他規(guī)定，指在室溫條件下施加規(guī)定的直流電壓時，從傳感器規(guī)定絕緣部分之間測得的電阻值。2. 設備曝光路設置光感sensor switch光感電路有多種形式，如自鎖亮激發(fā)、暗激發(fā)及精密亮激發(fā)、暗激發(fā)等等，是一種簡單的暗激發(fā)繼電器開關電路。其工作原理是：當照度下降到設置值時由于光敏電阻阻值上升激發(fā)VT1導通，VT2的激勵電流使繼電器工作，常開觸點閉合，常閉觸點斷開，實現(xiàn)對外電路的控制。3. 設備出片端index安裝設置cassette 漫反射switch光電開關是傳感器的一種，它把發(fā)射端和接收端之間光的強弱變化轉化為電流的變化以達到探測的目的。由于光電開關輸出回路和輸入回路是電隔離的（即電緣絕），所以它可以在許多場合得到應用.。下列場所，一般有可能造成光電開關的誤動作，應盡量避開：（1）灰塵較多的場所；（2）腐蝕性氣體較多的場所；（3）水、油、化學品有可能直接飛濺的場所；（4）戶外或太陽光等有強光直射而無遮光措施的場所；（5）環(huán)境溫度變化超出產品規(guī)定范圍的場所；（6）振動、沖擊大，而未采取避震措施的場所。4. Wafer ready 觸發(fā)coupler sensor監(jiān)測設備傳輸異常夏普pc817是常用的線性光藕，廣泛用在電腦終端機，可控硅系統(tǒng)設備，測量儀器，影印機，自動售票，家用電器，如風扇，加熱器等電路之間的信號傳輸，常常在各種要求比較精密的功能電路中被當作耦合器件，具有上下級電路完全隔離的作用，相互不產生影響。使之前端與負載完全隔離，目的在于增加安全性，減小電路干擾，減化電路設計。5. 18D20溫控集成電路DS18B20的讀寫時序和測溫原理與DS1820相同，只是得到的溫度值的位數因分辨率不同而不同，且溫度轉換時的延時時間由2s減為750ms。 DS18B20測溫原理如圖3所示。圖中低溫度系數晶振的振蕩頻率受溫度影響很小，用于產生固定頻率的脈沖信號送給計數器1。高溫度系數晶振隨溫度變化其振蕩率明顯改變，所產生的信號作為計數器2的脈沖輸入。計數器1和溫度寄存器被預置在55℃所對應的一個
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