led檢測(cè)技術(shù)1緒論及第一講(留存版)
【正文】 法 MOCVD（ MetalOrganic Chemical Vapor Deposition） 超高亮度各種顏色 LED材料生長(zhǎng)（照明、全彩顯示）發(fā)光效率大于10lm/W TMGa N2 NH3 SiH4 有機(jī)金屬 源： MOCVD 系統(tǒng) 尾氣收集器 Scrubber 外延片 基片 大氣 氣態(tài) 源： TEGa TMIn TMAl Cp2Mg H2 Aixtron Veeco Thomas Swan 反應(yīng)腔（ Reactor Chamber） 加熱系統(tǒng) 石墨盤 參加反應(yīng)的三 /五族氣體 反應(yīng)腔 尾氣 Pockets 旋轉(zhuǎn) 原材料的檢測(cè)技術(shù) 1. H N NH SiH4等高純氣體，純度要求達(dá)到 6個(gè) 9以上，即 %以上 2. TMGa、 TEGa、 TMAl、 TMIn、 Cp2Mg等金屬有機(jī)源，純度要求達(dá)到 6個(gè) 9以上，即 %以上（江蘇南大光電材料股份有限公司（股票代碼： 300346）） 3. 基片（藍(lán)寶石、 SiC 、 Si）對(duì)晶體質(zhì)量、表面光潔度、表面缺陷等也有很高的要求 巧婦難為無米之炊，好的原材料是生長(zhǎng)出好產(chǎn)品的必要條件！ 怎么檢測(cè)？檢測(cè)非常困難，不檢測(cè)！相信你的供應(yīng)商吧！ 生長(zhǎng)過程檢（監(jiān)）測(cè)技術(shù) 1 各種氣體的流量變化、調(diào)節(jié)都由主控計(jì)算機(jī)按照預(yù)設(shè)程序完成 2 反應(yīng)溫度（石墨盤）的溫度除了利用設(shè)備自帶的熱電偶之外，還可以附加紅外熱像儀進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 紅外熱像儀是被動(dòng)紅外成像。參加材料
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