led檢測技術(shù)1緒論及第一講-wenkub
2023-05-16 18:23:03 本頁面
【正文】 。 正交電場和電流強(qiáng)度與磁場強(qiáng)度的乘積之比就是霍爾系數(shù)。 五 原子力顯微鏡（ AFM） ? 原子力顯微鏡的原理：將一個對微弱力極敏感的微懸臂一端固定，另一端有一微小的針尖，針尖與樣品表面輕輕接觸，由于針尖尖端原子與樣品表面原子間存在極微弱的排斥力，通過在掃描時控制這種力的恒定，帶有針尖的微懸臂將對應(yīng)于針尖與樣品表面原子間作用力的等位面而在垂直于樣品的表面方向起伏運動。 在系統(tǒng)檢測成像全過程中，探針和被測樣品間的距離始終保持在納米（ 10e9米）量級，距離太大不能獲得樣品表面的信息，距離太小會損傷探針和被測樣品。 激光檢測原子力顯微鏡：如圖所示，激光器發(fā)出的激光束經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)聚焦在微懸臂背面，并從微懸臂背面反射到由光電二極管構(gòu)成的光斑位置檢測器。參加材料導(dǎo)電過程的不僅有帶負(fù)電的電子，還有帶正電的空穴。 通過分析 Rocking curve，可以得到許多關(guān)于外延材料結(jié)構(gòu)的信息： ?從衍射峰的分離可以得到晶格失配及組分； ?從衍射峰的積分強(qiáng)度比或 Pendellosung 條文的周期，可以得到外延層的厚度； ?從幾個非對稱反射得到的有效失配，可獲得點陣共格與否的信息； ?由衍射峰的寬度可以判斷外延層的質(zhì)量； ?對多量子阱結(jié)構(gòu)，可由衛(wèi)星峰的周期獲得結(jié)構(gòu)的周期，由零級峰的位置可得到平均組分 。 結(jié)構(gòu)緊湊。 生長過程檢（監(jiān)）測技術(shù) 3 生長膜厚的在線監(jiān)測 生長速率、成膜質(zhì)量等 原理：多光束干涉 P型材料層 發(fā)光層 基片 N型材料層 外 延 層 基片厚度： 430um 外延層厚度： 5~8um 外延片的檢
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