用橢圓偏振儀測量薄膜厚度(留存版)
【正文】 方法如下： （ 1）區(qū)分（ P1, A1）和（ P2, A2），當其中一組的 A符合 0≤A≤90條件，這一組被認定為（ P1, A1），另一組則為（ P2, A2）。因此可以作為分析工具使用。 （ 3）轉動檢偏器刻度盤手輪，目測光強變化，當光強最小時，檢偏器位置保持不動。 實驗原理 ? 有一束自然光通過起偏器后，變成了線偏振光，再經過一個 波片，變成了橢圓偏振光。 橢偏儀可測的材料包括：半導體、電介質、聚合物、 有機物、金屬、多層膜物質 … 橢偏儀涉及領域有：半導體、通訊、數(shù)據(jù)存儲、光學 鍍膜、平板顯示器、科研、生物、醫(yī)藥等。計算機的 發(fā)展使橢偏儀在更多的領域得到應用。我們測量這種變化，就可以計算出待測薄膜的厚度。 設 φ1表示光的入射角， φ2和 φ3分別為在界面1和 2上的折射角．根據(jù)折射定律有 n1sinφ1=n2sinφ2＝ n3sinφ3 光波的電矢量可以分解成在入射面內振動的 P分量和垂直于入射面
教學課件相關推薦
鄂ICP備17016276號-1