【正文】 75Valve TypesThere are 4 types of valves used in a fab gas system:1. Shutoff　截止閥2. Check　單向閥3. Safety　安全閥4. Cylinder　鋼瓶閥76Shutoff Valves187。 nickel, 鎳167。＊ TLV (Threshold Limit Value) －ACGIH允許的最高接觸濃度，等同于TWAP EL (Permissible Exposure Limit)－ OSHA（美國職業(yè)安全與衛(wèi)生管理局）建議的最高接觸濃度。C (O2) to 423176。 These lines may feed through a purifier.2. Cylinder Gas Piping167。 316 LSS ATTO167。– Cylinder pressure ( vapor pressure [VP] ) is directly affected by ambient temperature. 鋼瓶內(nèi)壓力（蒸發(fā)壓）直接受環(huán)境溫度影響。1氣體輸送系統(tǒng)安全 2氣體輸送系統(tǒng)安全After this training, you will be able to:l了解半導(dǎo)體 /電子行業(yè)氣體種類及特性l了解低溫氣體的危害及防護l了解如何確保氣體輸送系統(tǒng)安全l了解如何正確操作鋼瓶l了解 gashandling設(shè)備及其功能l了解系統(tǒng)輸送系統(tǒng)的部件及其功能l了解 gas cabi和 VMB/P3設(shè)計準(zhǔn)則l氣體輸送系統(tǒng)的三大設(shè)計準(zhǔn)則– Safety– Process Control 工藝控制（流量、壓力等）– Purity Control 純度控制（純度 /顆粒度）4氣體分類一根據(jù)氣體儲存形式不同，分為：1. Bulk Gas 大宗氣體（特指 Ar, N2, O2, He, H2）2. Specialty Gas 特種氣體 (SiH4, NH3, CF4, etc.)3. Compressed Dry Air干燥壓縮空氣5 氣體分類一 — 大宗氣體l Bulk Gas 大宗氣體 N2/Ar/O2l 通常半導(dǎo)體工廠，廠務(wù) N2/ Ar/ O2以液態(tài)儲存在槽罐內(nèi)6氣體分類一—大宗氣體l 低溫液體– 在常壓下沸點低于 240oF (115oC)l 例如　 O2液化溫度 (297 oF) (183oC)　 Ar液化溫度 (302 oF) (186oC)　 N2液化溫度 (320 oF) (196oC)　　 oC=(oF32)*5/97氣體分類一—大宗氣體l低溫液體危險性– 低溫– 蒸氣擴散l低溫液體可能引起凍傷8氣體分類一—大宗氣體l低溫氣體的其它危險低 溫可能會引起周圍物品的損傷危險危危 險險包包括括l 過冷l 過大的體積膨脹l 霧9氣體分類一—大宗氣體低溫引起的破裂10膨 脹 率11氣體分類一 — 大宗氣體l低溫危險防護– 提供排風(fēng)系統(tǒng)– 正確操作氣瓶– 正確的系統(tǒng)設(shè)計– 適當(dāng)?shù)膫€人防護設(shè)備12氣體分類一—大宗氣體l Bulk Gas 大宗氣體 H2 /Hel 由于 H2和 He的液化溫度極低，加之自然界游離態(tài)氣體極少，故 H2和 He一般以高壓氣態(tài)形式儲存在鋼瓶內(nèi)（國外使用液態(tài)儲存），并且以鋼瓶組供應(yīng)l H2常用電解水得到， He從礦石中提煉得到（絕大部分產(chǎn)自美國）l H2液化溫度 (423 oF) (253oC), He液化溫度 (452 oF) (269oC)l 絕對零度為 273oC13氣體分類一—特種氣體什么是 Specialty Gas特種氣體l 大宗氣體 CDA以外的氣體l 空氣中極稀有氣體（如 Xe 氙氣）l 不存在空氣中，人工合成之氣體 （如 AsH3砷烷）l 特殊用途之超高純氣體（又稱電子級氣體） 14氣體分類二根據(jù)氣體危險性，氣體分為：1. 不可燃?xì)怏w (N2, SF6, NF3等 )2. 可燃性氣體 (H2, SiH4, CH4等 )3. 氧化性氣體 (O2, N2O等 )4. 毒性氣體 (AsH3, PH3等）5. 腐蝕性氣體 (Cl2, DCS等）15氣體分類二—常見危險符號不可燃性等級 可燃性等級 氧化性等級 毒性等級 腐蝕性等級16氣體分類二—不可燃?xì)怏wl 常見不可燃?xì)怏w種類（通常指類似的惰性氣體）l 不可燃?xì)怏w之危險性窒息性 —— 取代肺中的氧氣壓強 —— 單位面積所承受的壓力能量 —— 氣體在狀態(tài)轉(zhuǎn)變過程中產(chǎn) 生的能量17氣體分類二—不可燃?xì)怏w氧氣被其他氣提所取代之危害 :l % 人類正常生活所需要的最低氧氣濃度極限l % 工作能力下降，冠狀動脈，肺部和循環(huán)系統(tǒng)出現(xiàn)先期癥狀，l 1214% 呼吸，脈搏加快，漸漸失去知覺l 1012% 呼吸，脈搏進一步加快，喪失判斷能力，嘴唇發(fā)紫l 810% 無意識，嘔吐l 68% 8 分鐘死亡率 100%， 6分鐘死亡率 50%， 45分鐘尚可恢復(fù)l 4% 40秒鐘內(nèi)昏迷，抽搐，停止呼吸，直至死亡18氣體分類二 — 可燃?xì)怏wl 常見可燃?xì)怏w種類H2/ SiH4等l 可燃?xì)怏w之危險性窒息性壓力可燃性爆炸可能性19氣體分類二—可燃?xì)怏w20 氣體分類二 — 可燃?xì)怏w燃燒過后的不銹鋼氣瓶21氣體分類二 — 可燃?xì)怏wl可燃性氣體的危險防護– 保證空氣的流動，配備排風(fēng)– 正確的鋼瓶操作流程– 使用防爆設(shè)備– 避免 任何 火化產(chǎn)生的可能22 氣體分類二—氧化性氣體 用途： O2 – 無法呼吸時，醫(yī)生會用來維持呼吸 N2O “笑氣 ” ，牙醫(yī)會用來做麻醉劑 這種氣體怎么會有危險性 ?23氣體分類二—氧化性氣體引燃物 燃料 氧化燃燒三角形 （三