傳感器的加工工藝(ppt30頁)(專業(yè)版)
【正文】 深紫外光刻 深紫外光刻 工藝 電子束光刻 電子束 投影光刻系統(tǒng) X射線光刻 三 種點Ｘ射線源 壓印光刻 壓印 工藝原理 離子注入技術(shù) ? 離子注入就是把摻雜劑的原子引入固體中的一種材料改性方法。 表面犧牲層技術(shù) 表面犧牲 層技術(shù) 薄膜工藝 ? 薄膜：一般將厚度在 稱為薄膜。 傳感器的加工工藝 姓名： 傳感器的加工工藝 ? 傳感器的發(fā)展和傳感器的加工工藝有著密切的聯(lián)系，在近現(xiàn)代的科技發(fā)展中，加工工藝的進步也促進了傳感器制造業(yè)的進步。 ? 在傳感器中，利用真空蒸鍍、濺射成膜、物理氣相沉積、化學氣相沉積（ CVD）、 等離子化學氣相沉積等工藝，形成各種薄膜，如多晶硅膜、氮化硅膜、二氧化硅膜、金屬（合金）膜 。 ? 離子注入的基本過程 （ 1）將某種元素的原子或攜 帶該元素的分子經(jīng)離化變成 帶電的離子 （ 2）在強電場中加速，獲得 較高的動能 （ 3）注入材料表層（靶）以 改變這種材料表層的物理或 化學性質(zhì) 離子注入技術(shù) 離子注入系統(tǒng)示意圖 LIGA技術(shù) ? LIGA是德文Lithographie，Galvanoformung和Abformung三個詞，即光刻、電鑄和注塑的縮寫。 ? 為了實現(xiàn)向特征尺寸為 ｍ的跨越，出現(xiàn)了下一代光刻技術(shù)，如深紫外光刻 (DUV)、 電子束投影光刻 (EBL)、 X射線光刻 (XRL)、 離子束投影光刻 (I
教學課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1