【正文】 TFT顯示面板制造工程簡介 目錄 一、液晶顯示器 (LCD)的基礎 二、 TFTLCD制造基本流程及設備 制造流程概要 ARRAY工藝流程及設備 CELL工藝流程及設備 Module工藝流程及設備 一、液晶顯示器 (LCD)的基礎 ? 液晶的發(fā)現(xiàn) 1888年，奧地利植物學家 F. Reinitzer在測量某些有機物熔點時發(fā)現(xiàn)： 1889年，德國物理學家 O. Lehmann發(fā)現(xiàn)： 這類不透明的物體外觀上屬液體，但具有晶體特有的雙折射性質，于是將其命名為“液態(tài)晶體” 固態(tài) 不透明 渾濁狀態(tài) 透明液態(tài) 加熱 冷卻 加熱 冷卻 一、液晶顯示器 (LCD)的基礎 ? 液晶 : 一種液體狀結晶性物質，介于固體 (結晶 )以及液體 (非結晶 )之間的第四狀態(tài) (中間狀態(tài) )，具有流動性以及各向異性 (光學各向異性，如雙折射效應 ). ? 液晶顯示器 : 利用外加電壓以及液晶材料本身光學各向異性 (如雙折射效應以及旋光特性 )，進而顯示所需要的數(shù)字、文字、圖形以及影像等功能的一種人機界面的信息、通訊、網(wǎng)絡的系統(tǒng) 。 一、液晶顯示器 (LCD)的基礎 擴散 ?光學薄膜 導光板 熒光管 接續(xù)電路基板 驅動用 LSI TCP CF基板 偏光板 液晶盒 Array基板 液晶顯示器的構造模式斷面圖 一、液晶顯示器 (LCD)的基礎 封框膠 信號配線端子 Gate配線端子 ＴＦＴ基板 CF基板 Ag電極 配向膜 液晶面板的構造平面圖 (TFT型 ) 一、液晶顯示器 (LCD)的基礎 偏光板 CF基板 盒墊料 轉移電極 (Ag) 封框膠 封框膠墊料 取向膜 TFT基板 偏光板 液晶 B G R ITO BM 液晶面板的構造斷面圖 (TN型 ) 一、液晶顯示器 (LCD)的基礎 彩膜空間混色法實現(xiàn) TFT－ LCD彩色化 TFT基板 彩膜的結構 偏光板 TFT 背光源 偏光板 液晶 黑色矩陣 提高對比度 降低 Ioff 二、 TFTLCD制造基本流程及設備 ２． CELL工程 ３． MODULE工程 ＴＦＴ基板 玻璃 基板 1100 1300 成膜 → 光刻 （ 反復 ） ＴＦＴ基板 貼 合 彩膜 取向 → 液晶 滴下→ 貼 合 → 切斷(15型 16片 ) 面板 端子接 續(xù) 電 路基板 安裝 背光源 面板 外框 組 裝 液晶 面板 完成 制造流程概要 二、 TFTLCD制造基本流程及設備 ARRAY工藝流程及設備 Ｇ工程 Active S/Ｄ工程 Ｃ工程 ＰＩ工程 檢查 (TN1) 檢查 (TN2) ＴＮ：４ Mask Process Cell工程 Ｇ ate工程 Active工程 鈍 化 層 工程 ITO工程 檢查 (SFT2) ＴＮ：５ Mask Process 檢查 (SFT1) Cell工程 S/Ｄ工程 Repair(TN1) Repair(TN2) Repair(SFT1) Repair(SFT2) Glass 購 入 ,洗凈后使用 Glass 購 入 ,洗凈后使用 ARRAY制造流程圖 TFT Array組成材料 TFT –GATE電極形成 TFT – Active(島狀半導體形成 ) TFT –S/D源漏電極形成 TFT –鈍化層及接觸孔形成 TFT – ITO像素電極形成 ARRAY工藝流程及設備 裝料 周轉盒 機械手 傳送裝置 UV 藥液噴淋 刷洗 高壓噴射 MS 氣刀 傳送裝置 機械手 卸料 洗 浄 ARRAY工藝流程及設備 洗 浄 ＵＶ 藥 液 刷子 高圧 ＭＳ Ａ／Ｋ Ｐ Ｄ Ａ 排 水 Ｐ 排 水 Ｐ 純 水 Ｄ Ａ 洗凈 功能 洗凈對象 作 用 Ｕ Ｖ 藥 液 刷洗 高 壓 噴射 Ｍ Ｓ 氧化分解 溶 解 機械剝離 機械剝離 機械剝離 有機物 (浸潤 性 改善 ) 有機物