電子顯微鏡(完整版)
【正文】 因此不同的物質(zhì)相也具有不同的背散射能力，用背散射電子的測(cè)量亦可以大致的確定材料中物質(zhì)相態(tài)的差別。25武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳6 X 射線 （ X ray） （ 1）電 子 顯 微分析 第三章 電子束與物質(zhì)的作用 產(chǎn)生原理與 XRD及 XRF中所敘述的類(lèi)似。 30武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳7 俄歇電子 （ Auger Electron）（ 4）電 子 顯 微分析 第三章 電子束與物質(zhì)的作用 Auger電子 的平均自由程很?。?nm左右），而在較深區(qū)域產(chǎn)生的俄歇電子，在向表面運(yùn)動(dòng)時(shí)，必然會(huì)因碰撞而損失能量，使之失去了具有特征能量的特點(diǎn)。 3 試比較 XRD中 X射線的產(chǎn)生、 XRF中 X熒光的產(chǎn)生、及 EM中 X射線的產(chǎn)生。 它是由這些物質(zhì)的價(jià)電子，在受激態(tài)和基態(tài)之間能級(jí)躍遷直接釋放的波長(zhǎng)比較長(zhǎng)、能量比較低的光波，波長(zhǎng)在可見(jiàn)光范圍內(nèi)。26武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳6 X 射線 （ X ray） （ 2）電 子 顯 微分析 第三章 電子束與物質(zhì)的作用27武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳7 俄歇電子 （ Auger Electron） （ 1）電 子 顯 微分析 第三章 電子束與物質(zhì)的作用 在電子躍遷的過(guò)程中，如果過(guò)剩的能量不是以 X射線的形式放出去，而是把這部分能量傳遞給同層（或者外層）的另一個(gè)電子，并使之發(fā)射出去，該 電子即為俄歇電子 。 用于觀察 高倍形貌、晶格條紋像，以及電子衍射、微區(qū)晶體結(jié)構(gòu)分析 。20武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳3 背散射電子 （ Back－ scattered Electron） (3)電 子 顯 微分析 第三章 電子束與物質(zhì)的作用 背散射電子及二次電子的產(chǎn)額隨原子序數(shù)的增加而增加 ，但二次電子增加的不明顯。簡(jiǎn)稱(chēng)形貌像。 由于原子核外層價(jià)電子間的結(jié)合能很小，當(dāng)原子的核外電子從入射電子獲得了大于相應(yīng)的結(jié)合能的能量后，即可脫離原子核變成自由電子。 如果這種散射過(guò)程發(fā)生在比較接近樣品表層處，則那些能量大于材料逸出功的自由電子可從樣品表面逸出，變成真空中的自由電子，即二次電子。18武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳3 背散射電子 （ Back－ scattered Electron） (1)電 子 顯 微分析 第三章 電子束與物質(zhì)的作用 背散射電子是指被固體樣品原子反射回來(lái)的一部分入射電子，其中包括彈性背散射電子和非彈性背散射電子。而 背散射電子作為成像信號(hào)不僅能分析形貌特征，也可以用來(lái)顯示原子序數(shù)襯度，定性地成分分析 。24武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳5 吸收電子 （ Absorption Electron）電 子 顯 微分析 第三章 電子束與物質(zhì)的作用
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