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碳化硅器件研發(fā)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表(完整版)

  

【正文】 變更通知書》((西工商)名稱變內(nèi)核字[2015]第002809號(hào)),公司名稱變更為西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司。行業(yè)類別——按國(guó)標(biāo)填寫??偼顿Y——指項(xiàng)目投資總額。公司目前現(xiàn)有生產(chǎn)線年產(chǎn)普通晶閘管4萬(wàn)只。二、項(xiàng)目概況建設(shè)地點(diǎn)特大功率電力半導(dǎo)體器件性能產(chǎn)能提升和碳化硅器件研發(fā)項(xiàng)目建設(shè)地點(diǎn)位于西安市高新區(qū)錦業(yè)二路13號(hào)西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司廠區(qū)原廠房?jī)?nèi)。圖1 項(xiàng)目四鄰關(guān)系圖表1建設(shè)內(nèi)容及規(guī)模建設(shè)位置建設(shè)內(nèi)容建設(shè)規(guī)模1建筑晶閘管工藝廠房一層純水區(qū)增10t/h純水處理系統(tǒng)與原系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)并聯(lián)運(yùn)行改造工藝凈化面積約為3600m2,動(dòng)力面積約為280m2廢水區(qū)進(jìn)行局部改造,增加沉淀時(shí)間和距離,進(jìn)一步提高對(duì)含氟廢水的處理效果二層凈化空調(diào)機(jī)組增加FFU(風(fēng)機(jī)過(guò)濾器裝置)數(shù)量,將FFU布置占比提高至80%,同時(shí)改造回風(fēng)通道、鑄鋁鏤空地板等,新增1臺(tái)40000m3/h新風(fēng)機(jī)組(含變頻控制柜)熱排風(fēng)機(jī)組增加一臺(tái)熱排風(fēng)機(jī),形成1備1用,并增加相應(yīng)的分支管路工藝真空機(jī)組增加1套工藝真空系統(tǒng)(1備1用2臺(tái)WS501羅茨干泵組,1個(gè)真空儲(chǔ)氣罐,管路、閥門等)有機(jī)排風(fēng)機(jī)組增加1套有機(jī)排風(fēng)系統(tǒng)(包括管路等)酸堿排風(fēng)系統(tǒng)工藝線排出酸堿到排酸風(fēng)機(jī)之間,增加一級(jí)或幾級(jí)小的酸堿中和箱工藝改造區(qū)增添工藝生產(chǎn)設(shè)備,配電、照明等生產(chǎn)輔助動(dòng)力系統(tǒng)進(jìn)行改造4建筑化學(xué)品庫(kù)氫氣、氧氣改造現(xiàn)有匯流排(軟連接改為彈簧硬管連接)改造面積約為50m25建筑動(dòng)力站冷卻循環(huán)水改造增加1臺(tái)冷卻塔,新增1套循環(huán)系統(tǒng)(包括泵組、管道)改造面積約為70m2液氮罐區(qū)進(jìn)行改造增裝200m3/h氣化器1套(包括氣化器、管路改造等),備用液氮罐10m3一個(gè),增強(qiáng)氮?dú)夤┙o能力本項(xiàng)目總投資為36742萬(wàn)元,用地性質(zhì)為工業(yè)用地,土地文件見附件1。(2)排水項(xiàng)目采用雨污分流的形式。具體廠房總平面布置見附圖3。新一代信息技術(shù)。本項(xiàng)目食堂全部使用電。廠區(qū)處于錦業(yè)二路以北,丈八二路以西,丈八三路以東,北臨繞城高速公路,周圍道路暢通,地理位置優(yōu)越,交通便利。廢水現(xiàn)有工程運(yùn)行期產(chǎn)生的廢水包括生產(chǎn)廢水和生活污水兩部分,單獨(dú)處理后集中排放,年排放量為9360t。本次環(huán)評(píng)監(jiān)測(cè)結(jié)果表明:采取以上隔音降噪措施后,經(jīng)過(guò)車間墻壁隔聲和距離衰減,北、東廠界噪聲能滿足GB123482008《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》2類區(qū)域標(biāo)準(zhǔn)要求,西、南廠界由于緊挨丈八三路和錦業(yè)二路,晝間因車輛較多有所超標(biāo),夜間噪聲滿足GB123482008《《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》2類區(qū)域標(biāo)準(zhǔn),基本不會(huì)對(duì)周圍環(huán)境產(chǎn)生影響(見監(jiān)測(cè)報(bào)告普惠檢綜字[2016]第458號(hào))。其主要特征是四季分明,冬夏兩季長(zhǎng),春秋兩季短;春季氣溫升降急劇,多有干旱和陣性大風(fēng);夏季炎熱多雨,冬季寒冷干燥,氣溫低,降雨少。地下承壓水含水層埋深100380m,主要有中、下更新統(tǒng)沖洪積粘土,沖湖積粉質(zhì)粘土和砂礫石層呈不等厚互層構(gòu)成,水質(zhì)較好。2004年2月,西安高新區(qū)通過(guò)了國(guó)家環(huán)??偩帧⒖萍疾縄SO14000國(guó)家示范區(qū)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收,成為我國(guó)西部創(chuàng)建的第一個(gè)ISO14000國(guó)家示范區(qū)。三期規(guī)劃區(qū)的交通、水、電、氣等基礎(chǔ)設(shè)施和配套設(shè)施的建設(shè)也已全面落實(shí),一個(gè)環(huán)境優(yōu)美、交通便利、基礎(chǔ)設(shè)施完備、配套設(shè)施齊全的高新新區(qū)(三期規(guī)劃區(qū))已經(jīng)初具規(guī)模。聲環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀2016年9月14日,西安普惠環(huán)境檢測(cè)技術(shù)有限公司在項(xiàng)目地東、南、西、北廠界及南側(cè)逸翠園住宅小區(qū)內(nèi),各布設(shè)1個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)位,共布設(shè)5個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)位(白天企業(yè)正常進(jìn)行生產(chǎn)的情況下監(jiān)測(cè)),監(jiān)測(cè)項(xiàng)目為等效連續(xù)A聲級(jí),晝、夜各監(jiān)測(cè)一次,監(jiān)測(cè)1天,監(jiān)測(cè)結(jié)果見表11。表13項(xiàng)目廢水監(jiān)測(cè)結(jié)果表單位:mg/L(除pH)項(xiàng)目日期pH氟化物化學(xué)需氧量氨氮監(jiān)測(cè)結(jié)果表明,項(xiàng)目排水COD、氟化物和氨氮滿足滿足DB61/2242011《黃河流域(陜西段)污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn),pH 滿足GB89781996《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)要求??偭靠刂浦笜?biāo)按照《全國(guó)主要污染物排放總量控制計(jì)劃》,本工程執(zhí)行污染物排放總量控制因子為COD、氨氮,其排放總量控制指標(biāo)采用本項(xiàng)目完成后治理后的實(shí)際排放量。根據(jù)工藝流程要求,項(xiàng)目每道工序表面處理所使用的化學(xué)品全部為單獨(dú)密封槽存儲(chǔ),定期補(bǔ)充。圖4 4HSiC SBD器件研究方案和技術(shù)路線圖5 4HSiC MOSFET器件的研究方案和技術(shù)路線主要污染工序:施工期本項(xiàng)目使用原有廠房進(jìn)行技術(shù)升級(jí)改造,僅購(gòu)置設(shè)備安裝,施工期影響較小。(1)生產(chǎn)廢氣:項(xiàng)目生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣主要有三類,分別如下。環(huán)境影響分析施工期環(huán)境影響分析本項(xiàng)目使用原有廠房進(jìn)行技術(shù)升級(jí)改造,僅購(gòu)置設(shè)備安裝,施工期影響較小。營(yíng)運(yùn)期環(huán)境影響分析一、水環(huán)境影響分析地表水環(huán)境影響分析(1)本項(xiàng)目排水量及排水水質(zhì)本項(xiàng)目廢水來(lái)自生產(chǎn)廢水和生活污水,其中,生產(chǎn)廢水主要是元器件表面處理的清潔水、廢氣處理的酸堿水和純水制備酸堿水,主要污染因子為pH、化學(xué)需氧量、氟化物、氨氮和石油類。本項(xiàng)目廢水處理工藝不變,類比原有項(xiàng)目驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告(陜環(huán)驗(yàn)(表)字[2015]第006G號(hào))和例行監(jiān)測(cè)報(bào)告(高環(huán)監(jiān)字(水)2016HJ321)污染物產(chǎn)生情況, mg/L, mg/L,;, , mg/L,廢水處理后的水質(zhì)排放情況見表16。地下水環(huán)境影響分析本項(xiàng)目用水來(lái)自市政供水,不抽取地下水,因此,對(duì)地下水水位、流場(chǎng)及水文不會(huì)產(chǎn)生影響。(4)危險(xiǎn)廢物的暫存設(shè)施應(yīng)設(shè)立危險(xiǎn)廢物警告標(biāo)志,盛裝危險(xiǎn)廢物的包裝容器應(yīng)張貼規(guī)范的危險(xiǎn)廢物標(biāo)簽。所有工藝廢氣經(jīng)過(guò)處理后,主要污染物氯化氫、氟化物、硫酸霧、氨和非甲烷總烴的排放濃度類比原有項(xiàng)目《特高壓大功率6英寸晶閘管產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目》的例行監(jiān)測(cè)報(bào)告(高環(huán)監(jiān)字(氣)2016HJ325),、 mg/ mg/m3, kg/a、 kg/a、 kg/a、 kg/ kg/a,主要污染物氯化氫、氟化物、硫酸霧和非甲烷總烴的排放濃度均符合《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB162971996)表2中的二級(jí)標(biāo)準(zhǔn),氨的排放濃度符合《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB1455493)中的相關(guān)要求。表19項(xiàng)目主要噪聲源及其治理措施噪聲源名稱數(shù)量(臺(tái))安裝位置聲級(jí)dB(A)治理措施熱排風(fēng)風(fēng)機(jī)11建筑晶閘管工藝廠房廠房?jī)?nèi)85基礎(chǔ)減振、隔聲、消聲有機(jī)廢氣風(fēng)機(jī)185基礎(chǔ)減振、隔聲、消聲空調(diào)機(jī)組185基礎(chǔ)減振、隔聲、消聲工藝真空泵270基礎(chǔ)減振、隔聲冷卻循環(huán)泵15建筑動(dòng)力站廠房?jī)?nèi)70基礎(chǔ)減振、隔聲(1)預(yù)測(cè)模式① 廠房?jī)?nèi)設(shè)備對(duì)廠界噪聲預(yù)測(cè)根據(jù)《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則聲環(huán)境》()推薦的室內(nèi)聲源的聲傳播模式,將室內(nèi)聲源等效為等效室外點(diǎn)聲源,據(jù)此,室內(nèi)聲源傳播衰減公式為:式中:——距離噪聲源rm處的聲壓級(jí),dB(A);——為距聲源中心r0處測(cè)的聲壓級(jí),dB(A);TL——墻壁隔聲量,本項(xiàng)目中取25dB(A);——平均吸聲系數(shù),;r——參考位置距噪聲源的距離,m;r0——墻外1m處至預(yù)測(cè)點(diǎn)的距離,參數(shù)距離為1m。(5)生活垃圾,生活垃圾的產(chǎn)生量類比原有項(xiàng)目《特高壓大功率6英寸晶閘管產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目》。降低原料及能源的耗用量。表23環(huán)保投資概算序號(hào)污染源環(huán)保設(shè)施數(shù)量投資(萬(wàn)元)1.廢水改造處理站含氟廢水處理設(shè)施,增加延長(zhǎng)沉淀時(shí)間和距離設(shè)備1套2.廢氣有機(jī)排風(fēng)系統(tǒng)(包括管路等)1套油煙凈化器1套3噪聲低噪設(shè)備、基礎(chǔ)減振等若干合計(jì)八、項(xiàng)目竣工環(huán)保驗(yàn)收管理(1)驗(yàn)收范圍:環(huán)評(píng)報(bào)告表、批復(fù)文件和有關(guān)設(shè)計(jì)文件規(guī)定應(yīng)采取的各項(xiàng)環(huán)保治理設(shè)施與措施。營(yíng)運(yùn)期環(huán)??⒐を?yàn)收建議清單見表24。嚴(yán)格實(shí)行固廢分類存放制度,將現(xiàn)場(chǎng)產(chǎn)生的可回收固廢最大限度的收集,全部送相應(yīng)的回收單位進(jìn)行回收,提高固廢的資源化利用率。表21固體廢物產(chǎn)生量及利用處置方式序號(hào)固廢名稱產(chǎn)生工序?qū)傩詮U物代碼產(chǎn)生量(t/a)利用處置方式是否符合環(huán)保要求1生活垃圾生活、辦公固態(tài)/垃圾填埋場(chǎng)衛(wèi)生填埋是2廢舊塑料和廢包裝材料倉(cāng)庫(kù)固態(tài)/3t/a回收再利用是3廢有機(jī)溶劑車間液態(tài)HW069004030654t/a交有危廢處理資質(zhì)單位處理是4廢酸中和沉淀物污水處理站固態(tài)HW3490030034是5廢生物炭污水處理站固態(tài)/是6廢機(jī)油車間液態(tài)HW0990000609是五、擴(kuò)建項(xiàng)目“三本帳”本次改擴(kuò)建工程完成后與現(xiàn)有工程污染物排放變化情況見表22。則擬建工程聲源對(duì)預(yù)測(cè)點(diǎn)產(chǎn)生的貢獻(xiàn)值()為:式中:T——用于計(jì)算等效聲級(jí)的時(shí)間;——在T時(shí)間內(nèi)i聲源工作時(shí)間;為室外聲源個(gè)數(shù);N為室內(nèi)聲源個(gè)數(shù);——在T時(shí)間內(nèi)j聲源工作時(shí)間;N——室外聲源個(gè)數(shù);M——等效室外聲源個(gè)數(shù)。廢氣主要污染物排放量預(yù)測(cè)見表18。(6)按危廢收集、運(yùn)輸處置的規(guī)范和三聯(lián)單程序報(bào)審?,F(xiàn)已經(jīng)采取地下水防治措施:①對(duì)廠區(qū)內(nèi)地面進(jìn)行了水泥硬化處理,對(duì)生產(chǎn)車間、物料存儲(chǔ)區(qū)、固體廢物臨時(shí)貯存等設(shè)施區(qū)域均采取了地面硬化、導(dǎo)流措施,對(duì)污水管線、處理設(shè)施等采取環(huán)氧樹脂貼在四壁,防腐蝕防滲,滿足一般防滲區(qū)等效黏土防滲層Mb≧,K≤1107cm/s的防滲技術(shù)要求。表17污水主要污染物排放量預(yù)測(cè)項(xiàng)目污染物現(xiàn)有工程排放量以新帶老量擴(kuò)建工程排放量擴(kuò)建工程完成后全廠排放量增減量廢水廢水量(m3/a)93600363012990+3630COD(t/a)0+氨氮(t/a)0+氟化物(t/a)+SS(t/a)0+石油類(t/a)0+動(dòng)植物油(t/a)0+從表16可以看出,本項(xiàng)目生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)污水處理站處理、生活污水經(jīng)化糞池處理后,滿足DB61/2242011《黃河流域(陜西段)污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)和GB89781996《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)要求,再經(jīng)污水管網(wǎng)送至西安市第二污水處理廠處理。食堂餐飲污水先經(jīng)隔油處理,再與辦公區(qū)生活污水一起經(jīng)化糞池處理后排入城市污水管網(wǎng),主要污染因子為pH、化學(xué)需氧量、氨氮和動(dòng)植物油。汽車運(yùn)輸揚(yáng)塵及尾氣。(2)職工食堂產(chǎn)生的油煙廢氣。汽車運(yùn)輸揚(yáng)塵及尾氣。同時(shí)要求項(xiàng)目所有使用的金剛砂和研磨粉全部循環(huán)使用,生產(chǎn)使用各種酸、堿及有機(jī)溶劑也全部密閉循環(huán)使用,定期更換,更換下來(lái)的廢液全部單獨(dú)收集,廢酸直接進(jìn)入酸堿中和池中和,產(chǎn)生的沉淀物與廢有機(jī)溶劑均密閉陰涼存放,委托相關(guān)單位回收處置。硝酸、氫氟酸、冰乙酸和純水含氟廢水、酸性廢氣、廢酸含氟廢水、酸性廢氣、氨氣、廢酸清 洗硅片腐蝕光刻膠、環(huán)氧乙烷、乙酸潔凈車間廢水有機(jī)廢氣、廢酸擴(kuò)散一光刻一氫氟酸、氟化銨去 膠腐蝕含氟廢水、酸性廢氣氨氣廢水、硫酸霧廢酸廢水、廢氣廢水、廢氣光刻二擴(kuò)散二廢水、廢氣廢水、廢氣擴(kuò)散三刻 蝕含氟廢氣蒸 發(fā)光刻三廢水、有機(jī)廢氣合 金表面造型潔凈車間廢水、廢氣腐蝕保 護(hù)芯片測(cè)試封 裝廢包裝材料包裝出廠元件測(cè)試圖3項(xiàng)目運(yùn)營(yíng)期生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖項(xiàng)目生產(chǎn)工藝流程簡(jiǎn)介:該項(xiàng)目生產(chǎn)工藝布局主要分為8部分:硅片清洗腐蝕區(qū)、擴(kuò)散區(qū)、光刻區(qū)、蒸發(fā)合金區(qū)、表面造型及保護(hù)區(qū)、芯片測(cè)試區(qū)、封裝區(qū)、包裝出廠區(qū)。表14主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)保護(hù)對(duì)象相對(duì)方位距廠界最近距離(m)保護(hù)內(nèi)容保護(hù)目標(biāo)逸翠園小區(qū)南側(cè)60空氣環(huán)境和聲環(huán)境達(dá)到GB30952012《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》中二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)、GB123482008《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》中2類標(biāo)準(zhǔn)。表11項(xiàng)目環(huán)境噪聲監(jiān)測(cè)結(jié)果統(tǒng)計(jì)表單位:dB(A)監(jiān)測(cè)點(diǎn)位2類標(biāo)準(zhǔn)晝間夜間晝間夜間1(項(xiàng)目所在地東廠界)60502(項(xiàng)目所在地南廠界)3(項(xiàng)目所在地西廠界)4(項(xiàng)目所在地北廠界)逸翠園小區(qū)6050監(jiān)測(cè)結(jié)果表明:監(jiān)測(cè)期間項(xiàng)目東、北廠界晝間、夜間噪聲滿足GB123482008《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》中2類標(biāo)準(zhǔn),西、南廠界由于緊挨丈八三路和錦業(yè)二路,晝間因車輛較多有所超標(biāo),夜間噪聲滿足GB123482008《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》中2類標(biāo)準(zhǔn);逸翠園小區(qū)晝間、夜間噪聲滿足GB30962008《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》中2類標(biāo)準(zhǔn)。環(huán)境質(zhì)量狀況建設(shè)項(xiàng)目所在地區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀及主要環(huán)境問(wèn)題(環(huán)境空氣、地表水、地下水、聲環(huán)境等)環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀2016年9月14日~9月23日,西安普惠環(huán)境檢測(cè)技術(shù)有限公司對(duì)項(xiàng)目現(xiàn)有工程所在地進(jìn)行環(huán)境監(jiān)測(cè)。到2004年年底已完成一期、二期、新型工業(yè)園的開發(fā)及新區(qū)的配套基礎(chǔ)工程建設(shè)。社會(huì)環(huán)境簡(jiǎn)況(社會(huì)經(jīng)濟(jì)結(jié)構(gòu)、教育、文化、文物保護(hù)等):該項(xiàng)目位于西安高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)新區(qū)內(nèi),屬于高新區(qū)的二次創(chuàng)業(yè)的起步區(qū)規(guī)劃范圍,區(qū)域交通、水、電、氣等基礎(chǔ)設(shè)施和配套設(shè)施已基本完善,交通便利、環(huán)境優(yōu)美。平均降雨量604mm,分布不均,有50%集中于79月份。其中:廢酸和廢有機(jī)溶劑為危險(xiǎn)廢物,廢酸
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