ut光刻機(jī)警報(bào)燈設(shè)計(jì)與安裝畢業(yè)論文(完整版)
【正文】 。、溫范圍－55℃～+125℃，在10～+85℃時(shí)精度為177。圖中低溫度系數(shù)晶振的振蕩頻率受溫度影響很小，用于產(chǎn)生固定頻率的脈沖信號(hào)送給計(jì)數(shù)器1。其工作原理是：當(dāng)照度下降到設(shè)置值時(shí)由于光敏電阻阻值上升激發(fā)VT1導(dǎo)通，VT2的激勵(lì)電流使繼電器工作，常開(kāi)觸點(diǎn)閉合，常閉觸點(diǎn)斷開(kāi)，實(shí)現(xiàn)對(duì)外電路的控制。菲線性度：校準(zhǔn)曲線與某一規(guī)定直線偏離的程度。遲后：輸出信號(hào)變化相對(duì)于輸入信號(hào)變化的時(shí)間延遲。使輸出的絕對(duì)值為最小的狀態(tài)，例如平衡狀態(tài)。通常有敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。主要控制單元：A方案：主要控制單元由RELAY TIMER RELAY等分立器件通過(guò)邏輯關(guān)系組成B方案：主要控制單元由微處理器（單片機(jī)）組成C:優(yōu)化性能比較：工業(yè)級(jí)別信號(hào)處理，控制可靠，穩(wěn)定。以上設(shè)備UT04是由分立器件，以及延時(shí)繼電器，繼電器，通過(guò)一定的邏輯組合關(guān)系完成。3，電源輸出采用1A過(guò)流熔斷器保護(hù)。缺點(diǎn)1,報(bào)警連鎖響應(yīng)時(shí)間相對(duì)略長(zhǎng)。（三）。 工程部自行設(shè)計(jì)電氣連鎖方案方案內(nèi)容：控制器通過(guò)傳感器監(jiān)控發(fā)現(xiàn)光刻機(jī)關(guān)鍵位置的動(dòng)作信息，分析判斷設(shè)備工作狀態(tài)。成本費(fèi)用估算硬件：2000元/每臺(tái) 軟件：約47,000元 安裝費(fèi)用：約10,000元總價(jià)約￥75,000（不含稅）（四）。需求安裝報(bào)警連鎖控制系統(tǒng)。本人所呈交的本科畢業(yè)論文沒(méi)有違反學(xué)術(shù)道德和學(xué)術(shù)規(guī)范，沒(méi)有侵權(quán)行為，并愿意承擔(dān)由此而產(chǎn)生的法律責(zé)任和法律后果。）指導(dǎo)教師結(jié)論： （合格、不合格）指導(dǎo)教師姓名所在單位指導(dǎo)時(shí)間 本科畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）評(píng)閱教師評(píng)閱意見(jiàn)表 學(xué)生姓名： 許嘉佳 學(xué)號(hào)： 541122130110 專業(yè)： 電子科學(xué)與技術(shù) 畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）題目：UT1100光刻機(jī)報(bào)警燈設(shè)計(jì)與安裝 評(píng)閱意見(jiàn)：（請(qǐng)對(duì)論文的學(xué)術(shù)水平做出簡(jiǎn)要評(píng)述。包括選題意義；文獻(xiàn)資料的掌握；所用資料、實(shí)驗(yàn)結(jié)果和計(jì)算數(shù)據(jù)的可靠性；寫作規(guī)范和邏輯性；文獻(xiàn)引用的規(guī)范性等。 論文作者（簽字）： 許嘉佳日期：2015年3月13日 目 錄一、背景概述二、評(píng)估方案三、各階段具體工作四、附件（工作計(jì)劃）五：控制器組裝安全六：設(shè)計(jì)總結(jié)七：致謝八：參考文獻(xiàn) 25（論文）一 背景概述ULTRATECH_STEPPER是美國(guó)上世紀(jì)80年代研發(fā)的光刻機(jī)，在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制程中，相對(duì)ASML,NIKON份額較少，但是在LED工藝制程中ULTRATECH_STEPPER研制出適合LED工藝制程的Stepper,所以在LED市場(chǎng)上占有一席之地，但因設(shè)備老舊故障頻率較高，性能不穩(wěn)定。 二 評(píng)估方案(一)。優(yōu)點(diǎn)1，如果設(shè)備傳輸異常發(fā)生會(huì)實(shí)時(shí)輸出報(bào)警，縮短響應(yīng)處理時(shí)間。產(chǎn)生并輸出相應(yīng)的聲光報(bào)警提示。成本費(fèi)用估算硬件： 約1100元/每臺(tái) 軟件：?jiǎn)纹?jì)算機(jī)軟件自行開(kāi)發(fā) 安裝費(fèi)：自行安裝總價(jià)約￥9900元（不含稅）（四）。結(jié)論：選擇自行設(shè)計(jì)安裝方案，解決報(bào)警連鎖響應(yīng)時(shí)間相對(duì)略長(zhǎng)的問(wèn)題。4，系統(tǒng)各個(gè)接線保證有可靠的歐姆接觸。試用合格。LED報(bào)警燈輸出：A方案: LED報(bào)警燈輸出只有一種模式三種狀態(tài)。①敏感元件是指?jìng)鞲衅髦心苤苯樱ɑ蝽憫?yīng)）被測(cè)量的部分。激勵(lì)：為使傳感器正常工作而施加的外部能量（電壓或電流）。漂移：在一定的時(shí)間間隔內(nèi)，傳感器輸出終于被測(cè)量無(wú)關(guān)的不需要的變化量。長(zhǎng)期穩(wěn)定性：傳感器在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)仍能保持不超過(guò)允許誤差的能力。3. 設(shè)備出片端index安裝設(shè)置cassette 漫反射switch光電開(kāi)關(guān)是傳感器的一種，它把發(fā)射端和接收端之間光的強(qiáng)弱變化轉(zhuǎn)化為電流的變化以達(dá)到探測(cè)的目的。高溫度系數(shù)晶振隨溫度變化其振蕩率明顯改變，所產(chǎn)生的信號(hào)作為計(jì)數(shù)器2的脈沖輸入?！?。STC12C5A60S2芯片內(nèi)部有一高增益反相放大器，用于構(gòu)成振蕩器。RST引腳的高電平只要能保持足夠的時(shí)間（2個(gè)機(jī)器周期），單片機(jī)就可以進(jìn)行復(fù)位操作。 注意靜電對(duì)電子電氣設(shè)備的影響，不要用手去摸電路板。 六：設(shè)計(jì)總結(jié)通過(guò)這次的畢業(yè)設(shè)計(jì)我得到了很多的學(xué)習(xí)和鍛煉，實(shí)際的工作能力得到了提高。 七：致謝從開(kāi)始寫作至論文最終定稿，總共花費(fèi)了我一個(gè)月以來(lái)所有的業(yè)余時(shí)間，雖說(shuō)在繁忙的工作之余要完成這樣一篇論文的確不是一件很輕松的事情，但我內(nèi)心深處卻滿含深深的感激之情。通過(guò)論文的撰寫，使我能夠等系統(tǒng)、全面的學(xué)習(xí)有
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