ecvd教程ppt課件(完整版)
【正文】 看顏色是否正常，是否有裂紋等，最后將合格的硅片放入泡沫盒。并且保證每班清理現(xiàn)場(chǎng)及設(shè)備衛(wèi)生，以保證車間的潔凈度。如有需要，滅火后的設(shè)備可用肥皂及水清洗 . 第二部分：工作流程及操作 一、工序目的 二、工藝描述 三、操作過(guò)程 一、工序目的：在硅片表面沉積一層起減反射和鈍化作用的氮化硅膜。針對(duì)硅烷的火災(zāi)，水可能不是有效率的滅火劑。漏氣容器不能再用，且要經(jīng)過(guò)技術(shù)處理以清除可能剩下的氣體。如穿戴適當(dāng)防護(hù)裝備。 ? 2．中毒癥狀 ： ? ⑴吸 入：吸入高濃度的硅烷會(huì)引起頭痛、頭昏、昏睡、刺激上呼吸道。氨氣可以用噴淋水來(lái)控制。緊急情況下需防火服和手套。如皮膚接觸液體，脫掉被污染的衣服，用大量溫水沖洗幾分鐘，并立即進(jìn)行藥物處理。上呼吸道易受到傷害并導(dǎo)致氣管炎 (封閉氣路 )。氨氣會(huì)嚴(yán)重灼傷眼、皮膚及呼吸道。 ? 吸入 ：氨氣強(qiáng)烈地刺激鼻子、喉嚨和肺。皮膚長(zhǎng)期或多次暴露會(huì)引起皮炎。 ? 對(duì)皮膚的保護(hù) : 當(dāng)搬運(yùn)鋼瓶時(shí)要使用皮手套。隔離所有泄漏的鋼瓶。主要的健康危害是此氣體在空氣中會(huì)自燃且有潛在的劇烈燃燒危害。 ? ⑶ 皮膚接觸：硅甲烷會(huì)刺激皮膚，硅甲烷會(huì)分解產(chǎn)生二氧化硅。建議應(yīng)急處理人員戴自給式呼吸器，穿一般消防防護(hù)服。 ? 6．泄漏緊急處理： ? 疏散所有人員，切斷電源及火源，如果沒(méi)有風(fēng)險(xiǎn)關(guān)閉氣源，打開(kāi)緊急排風(fēng)系統(tǒng)，再依據(jù)著火物質(zhì)進(jìn)行滅火。在適當(dāng)?shù)木嚯x噴灑大量的水以冷卻附近的鋼瓶，及泄漏鋼瓶本身，直到火焰自行燒完。 ? ? 工藝內(nèi)容包括：射頻頻率（ ）、射頻功率、氨氣流量、硅烷流量、傳輸速度、腔室壓力、腔室溫度。 ? ? 重復(fù) 2的操作，按照設(shè)定工藝程序進(jìn)行工藝循環(huán) ,此過(guò)程為自動(dòng)運(yùn)行，直至石墨舟從下部傳輸帶傳出。 ? 九 .安全操作 ? ，且嚴(yán)格按照本工序設(shè)備安全操作規(guī)程和工藝操作規(guī)程作業(yè)。 ? ，如生產(chǎn)表格的打印、勞保用品的領(lǐng)用。 ? ，裝取片的鑷子也要保持潔凈。 ? ? 設(shè)備自動(dòng)出舟后，兩人戴好隔熱手套 ,慢慢拉出石墨舟水平
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