應用-特種圖像傳感器(完整版)
【正文】 圖像傳感器。 CCD 紫外探測器 1) SiC紫外探測器 該產(chǎn)品是 SiC的光激勵型紫外探測器。由于 CCD是 MOS結(jié)構(gòu)器件， SiO2柵介質(zhì)和多晶硅（ PolySi）柵對 UV光子均有較高的吸收系數(shù)。 為了避免 UV光子在 CCD表面多層結(jié)構(gòu)中被吸收，目前采用的方法是： 在 CCD表面淀積一層對 UV光子敏感的磷光特質(zhì)，并通過適當選擇磷光物質(zhì)，將紫外信息轉(zhuǎn)換成與 CCD光譜響應相對應的波長。另外，靈敏度和暗電流在使用溫度條件內(nèi)幾乎不受溫度變化的影響，可在 700K的高溫下使用。 第八章 CCD的 應用 CCD圖像
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