【正文】
壽命提高對電池效率的影響比較明顯 少子壽命較高時,表面復(fù)合對效率影響更加重要 為什么要鈍化 ?隨著電池片的減薄,絕大多數(shù)硅片體壽命已經(jīng)大于硅片厚度,提高少子壽命對電池性能的提高已經(jīng)比較有限; ?同時,隨著硅片厚度減薄,表面復(fù)合所占比重越來越大,表面鈍化顯得更加重要。 低溫快速熱處理后, SiSiNx界面態(tài)密度減少 熱處理前后 SiSiNx界面態(tài)密度 隨表面勢的變化 減反射膜的鈍化作用 PPECVD生長 SiNx可鈍化表面, 低溫快速熱處理可進(jìn)一步 提高鈍化效果 2 Si H SiN H Si SiN H? ? ?? 350500℃ , SiH和 NH峰強均有下降