【正文】 臺等設備，切斷電源及易燃氣體的通路。應規(guī)定不準進入潔凈室內(nèi)的人員、日常應注意的事項、對入室人員的狀況的登記制度、不準帶入 潔凈室的物品、人員出入須知、用具和設備的選擇與管理制度、衛(wèi)生和安全制度、潔凈室用服裝用其管理制度、教育訓練制度及衛(wèi)生措施等規(guī)章制度。 6） 盡量減少潔凈室的產(chǎn)塵量。為防止送風系統(tǒng)將不應進入室內(nèi)的塵粒帶進室內(nèi)，必須對系統(tǒng)中使用的初效、中效及末端空氣過濾器進行定期的泄漏檢查。至少應將外出鞋、衣服以及多毛的內(nèi)衣脫掉，對無菌行業(yè)還要脫掉全部外出 服和內(nèi)衣、而后換用適合潔凈室或無菌室工作的服裝。 因此，保證潔凈室內(nèi)要求的空氣溫度和相對濕度是空調(diào)系統(tǒng)進行的必要條件。 （ 2） 分散式送風 一般空調(diào)環(huán) 境或低級別凈化環(huán)境中， 集中式送風的凈化空調(diào)系統(tǒng)方案 1） 新風集中處理和新風分散處理 2） 單風機系統(tǒng)和雙風機系統(tǒng) 3） 風機并聯(lián)系統(tǒng)和風機串聯(lián)系統(tǒng) 凈化空調(diào)的運行管理 一、凈化空調(diào)系統(tǒng)對維護管理的要求 潔凈室的凈化空氣、直接表 106 的規(guī)定進么監(jiān)測。 生物潔凈必須用高溫、藥物、紫外線等方法滅菌。㎡地面）≥ m｝ 序號 建筑表面發(fā)塵量 資料來源 1 （ ~1） *104 電子部十一院《設計通訊》 1975 年 2 （ ~） *104 電子部十一院《蘇州半導體器件一廠潔凈室測定》 1978 年 3 *104 電子部十一院《北京西城半導體材料廠水平層流潔凈室測定報告》 1975 4 *104 電子部十一院《 出國考察報告》 (74)013 1974 年 潔凈室建筑表面發(fā)塵量與作業(yè)人員發(fā)塵量的比較 項目 粒徑 潔凈室建筑表面發(fā)塵量 ｛粒 /（ min空氣潔凈技術的水平與應用已成為衡量一個國家和一個地區(qū)現(xiàn)代化經(jīng)濟和科技的重要標志。 二、 空氣潔凈度等級標準及規(guī)范 空氣潔凈標準和規(guī)范在經(jīng)濟和科技發(fā)達的國家和地區(qū)都有自己的標準 ，都規(guī)定了有關的潔凈度等級。㎡地面）｝ 人員發(fā)塵量｛粒 /(人 六、 潔凈室的負荷特點與節(jié)能 一般情況下，潔凈空調(diào)系統(tǒng)的能耗大于普通舒適性空調(diào)，產(chǎn)生的原因： 由于生產(chǎn)線的排風量比較大，故補充的新風量比較大，從而冷負荷比較大； 潔凈室的換氣次數(shù)大于普通空調(diào)，故風機的送風量比 較大，輸送的動力消耗大，風機管道溫升高； 室內(nèi)的設備發(fā)熱量大，消耗的冷量大。在下列任何一種情況下，應更換高效空氣過濾器： 表 106 潔凈室的凈化空氣監(jiān)測頻數(shù) 潔凈度等級 檢測項目 1~3 4~6 7 9 溫度 循環(huán)監(jiān)測 每班 2 次 濕度 循環(huán)監(jiān)測 每班 2 次 壓差值 循環(huán)監(jiān)測 每周 1 次 每月 1 次 潔凈度 循環(huán)監(jiān)測 每周 1 次 每 3 個月 1 次 每 6 個月 1 次 氣流速度降到最低限度。 保證潔凈室內(nèi)潔凈度的措施 要保證潔凈室內(nèi)要求的潔凈度，對正常運行的凈化空調(diào)系統(tǒng)、潔凈室，必須做到進入潔凈室內(nèi)的空氣是清潔的，進入潔凈室內(nèi)的人和物品就應該經(jīng)過必要的凈化處理，盡量減少人和物帶入潔凈室內(nèi)的灰塵量。外出鞋攜帶污染物最多，須在入口處采取水洗、吸塵和粘著等方式進行處理，以免嚴重污染入口門廳。 4） 保證凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風量 保證空調(diào)系統(tǒng)的送風量就是保證潔凈室內(nèi)的換氣次數(shù)，以滿足室內(nèi)氣流組織的需要。 僅僅從凈化空調(diào)系統(tǒng)的運行和管理方面來考慮，解決影響潔凈室內(nèi)潔凈室內(nèi)潔凈度的外部條件是不夠的，還應解決影響潔凈室內(nèi)潔凈度的內(nèi)部原因。 不準進入潔凈室的人員： 具有下列情況者應不能進入潔凈室： 皮膚有曬焦、剝離、外傷和炎癥、搔癢癥者；對化學纖維，化學溶劑有異常反應的人員；手汗嚴重者；鼻子排出物過多者；感冒、咳嗽和打噴嚏者；過多掉頭皮及頭發(fā)者。 潔凈室用服裝及其管理： 潔凈服的衣料要選用不產(chǎn)生靜電或經(jīng)過防靜電處理的材料；潔凈服以衣、褲分離式為好，但上衣必須放在褲子內(nèi)。 亞高效空氣過濾器的濾除對象主要是小于 5um 的塵粒，其計數(shù)效率（對于 粒徑的塵粒）為 90%~%，其空氣阻力小于 150pa。 潔凈室內(nèi)相對濕度的過低，由于室內(nèi)空氣的過分干燥而使室內(nèi)設備、用具、以及潔凈室的結構表面的覆蓋層更容易脫落，變成粒子狀進入潔凈室的空氣中，增加空氣的含塵量。第三種是服裝的磨損脫落物。采用水洗、換衣服和空氣吹淋三個方面的措施，可以 在一定程度上減少人體與服裝攜帶的外界污染物，減少因直接接觸而造成的污染，把身體的大部分及內(nèi)衣與室內(nèi)空氣隔離開。 進入潔凈室的小件物品一般由潔凈室與外走廊或潔凈室也潔凈室之間（潔凈度級別不同的相鄰房間）通過傳遞窗進入。 系 統(tǒng)送風量的減少可能會有以下幾個因素： 1） 皮帶傳動的風機在運行一段時間后由于皮帶的拉長，而使風機轉(zhuǎn)速下降，從而風機輸送風量減少。 五、 盡量減少潔凈室的產(chǎn)塵量 在潔凈室內(nèi)，產(chǎn)生塵埃的因素有兩個；一是設備的運轉(zhuǎn)，二是操作人員的活動。計數(shù)器大體上可分這兩種類型：一種是照射系統(tǒng)光軸與檢測系統(tǒng)光軸交叉布置的側(cè)向散射型；另一種是兩光軸布置在同一直線上的前向散射型。 因為對潔凈室的檢測我們主要關心兩種粒徑，即 5um。在測試儀器穩(wěn)定運行條件下，每次測定數(shù)據(jù)均應記錄在記錄表上。 1） 新風空氣過濾 器（又稱預過濾器或初過濾器、粗效過濾器）和中間空氣過濾器（又稱中效空氣過濾器）的更換，可以在空氣阻力為初阻力值的 2 倍時進行。 在系統(tǒng)中拆除空氣過濾器時，建議按照初效（新風）過濾器、中效過濾器、亞高效過濾器、高效過濾器和超高效空氣過濾器的順序進行，這樣可以減少進入潔凈室的灰塵量。 2） 潔凈室內(nèi)氣流速度及均勻性的測定 單向流潔凈室，垂直單向流潔凈室在高效過濾器下方 10cm 處（美國標準定為30cm）和距地坪 80cm 工作區(qū)水平平面 上進行測定，測點間距≯ 2m，測點數(shù)不少于10 個。檢測時需要解決以下兩個問題： （ 1） 測點布置方法 （ 2） 用發(fā)煙器或懸掛單絲線的方法逐點觀察和記錄氣流 的流向，并在有測點布置的剖面圖上標出氣流流向。 由于凈化空調(diào)系統(tǒng)中送（回）風量都比較大，在運行中風機所消耗的電能將會有一部分變?yōu)檩斔涂諝獾膭幽埽硪徊糠謩t轉(zhuǎn)換為熱能而散發(fā)于空氣中。因此潔凈室運行的動力負荷要比一般空調(diào)的動力負荷大 330 倍。 5） 流線不行性的檢測（用于單向流潔凈室內(nèi)流線平行性的檢測） （ 1） 可以用單線線來觀察送風平面的氣流流向，一般每臺過濾器對應一個觀察點。 3） 室內(nèi)空氣溫度和相對濕度的檢測 （ 1） 室內(nèi)空氣溫度和相對濕度測定之前，凈化空調(diào)系統(tǒng)應已連續(xù)運行至少24h，對于有恒溫要求的場所，根據(jù)對溫度和相對濕度波動范圍的要求，測定宜連續(xù)進行 8h 以上。 清除細小塵粒 在系統(tǒng)中空氣過濾器拆除和全面清除后，可以啟動系統(tǒng)中的風機對全部風管主要是送風管）和末端過濾器安裝框架及潔凈室進行吹除，以清除粘附在各有關表面上的細小塵粒。 國標 GBJ7384 中是這樣規(guī)定的，氣流速度降到最低限度，即使更換初效、中效過濾器后，氣流速度仍不能增大；高效空氣過濾器的阻力達到初阻力的兩倍；高效空氣過濾器出現(xiàn)無法修補的滲漏時則應予以更換。因此，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中空氣處理的設備一套空氣處理器（即空調(diào)器，主要是熱、濕處理），作為對室外補充新風和一部分回風的熱、濕處理和凈化預處理，而另一部分大量的回風則只以凈化處理作為循環(huán)使用，以滿足室內(nèi)送風量的要求。如果取樣空氣用于計算大于或等于 的粒徑濃度，如果這些粒子不受非等動力條件的影響，則計算結果也不受影響。水平單向流潔凈室測點僅布置在第一潔凈工作區(qū)內(nèi)；非單向流潔凈室按潔凈面積小于或等于 50m2 布置 5 個測點。因此，在潔凈室內(nèi)的工作人員必須穿戴特別規(guī)定的適于潔凈室內(nèi)的無塵工作服。 因此，凈化空調(diào)系統(tǒng)和潔凈室在運行中應經(jīng)常性地注意檢查各級空氣過濾器和空氣阻力情況（空氣過濾器前后裝有壓差計時）和容塵量，或者定期使用差壓計進行檢測（空氣過濾器前后無壓差計者）；或者憑經(jīng)驗判斷以決定各級空氣過濾器是否應該更換，使系統(tǒng)的送風量基本保證不變。 進入潔凈室內(nèi)的空氣是潔凈的 凈化空調(diào)系統(tǒng)在運行中，所使用的各級空氣過濾器必須是完好而無損壞和泄漏現(xiàn)象。相反則可以小一