【正文】 程： λ ＝ (5179。n)/(P我公司的服務(wù)宗旨是：把重點放在為客戶解決問題上。F( 華氏 ) 9/5() 9/5(℃+32) 1 抽氣速率單位換算表 單位 立方米 /秒 (m3/s) 升 /秒 (L/s) 立方米 /小時 立方英尺 /分 1 立方米 /秒 (1m3/s) 1 1000 3600 1 升 /秒 (1L/s) 103 1 1 立方米 /小時 (1m3/h) 179。10 13 4179。10 8 2179。10 3 吸附泵 760~104 油增壓泵 101~104 濺射離子泵 104~1010 羅茨真空泵 101~104 鈦升華泵 103~1010 油擴散泵 103~5179。L/s ）或托 178。 極限真空 真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。 1電阻真空計 利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。 2羅茨真空泵 具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的。 (4)維持泵： 在真空系統(tǒng)中，氣量很小時，不能有效地利 用前級泵。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。 綜上所述，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩? 水環(huán)泵也有其缺點： ? 效率低，一般在 30%左右，較好的可達(dá) 50%。其工作壓強范圍為 101325~102（ Pa）屬于低真空泵。所謂雙級，就是在結(jié)構(gòu) 上將兩個單級泵串聯(lián)起來。當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的空間 A 的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。這時總的壓縮比由兩級來負(fù)擔(dān)，因而提高了極限真空度。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一 定的間隙，可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運行。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時，氣體排出泵外。由于排氣側(cè)壓強較高，引起一部分氣體返沖過來。 位置是一樣的。 故在這種類型里通常見到的是兩臺羅茨泵串聯(lián)后再用雙級水環(huán)泵作前級泵 （圖 1） 組成機組。 中國最大的管理資源中心 (大量免費資源共享 ) 第 24 頁 共 47 頁 要求處理大量水蒸汽的真空系統(tǒng)中，使用水環(huán)泵是較合適的，但由于其極限真空度不高，致使整個機組的極限真空度較低。所以冷凝后所需抽氣量減小，相應(yīng)地泵也可以選得小一些。冷凝器設(shè)在 B 處。 （ 2）機組的操作順序： 1）機組中無旁通閥時，應(yīng)先開動水環(huán)泵，被抽系統(tǒng)中的氣體由羅茨泵（氣體推動羅茨泵轉(zhuǎn)子自行轉(zhuǎn)動，如同流量計一般）進(jìn)入水環(huán)泵后再排至大氣，待水環(huán)泵的吸入壓力（如串聯(lián)有大氣泵，則為大氣泵的吸入壓力）達(dá)到羅茨泵的起初規(guī)定值時（即允許排氣壓力），始啟動羅茨泵，機組正式運轉(zhuǎn)，開始工作。即： P0＝ (Q1+Q2+Q3)/δ 式中： P0－極限壓力； δ－抽氣速率； Q1－返流量 ； Q2－泄漏量； Q3－放氣量。由此可見，前級泵對機組性能有相當(dāng)大的影響。如果羅茨泵排出壓力允許值在 100Torr 以上，則前級的水環(huán)泵也可以作為羅茨泵的前級泵的前級泵，這 就大大地擴充了前級泵的應(yīng)用范圍。當(dāng)大氣逐漸通過大氣泵流進(jìn)水環(huán)泵，壓差閥兩端壓力又逐漸減小，以致關(guān)閥，于是大氣泵隨即開始正常工作，壓差閥的作用是為了縮短大氣泵正常工作前的預(yù)抽時間。所有部件在制造，安裝期間的精密度，用于發(fā)揮更大效能的公差許可范圍。 ? 加裝機械助力泵浦，可提高排氣效率，節(jié)省電力。由於葉輪轉(zhuǎn)動，液體受離心力作用，在機殼內(nèi) 形成一液封環(huán)，使葉片間產(chǎn)生空間而吸入氣體，吸滿氣體後，其空間又逐漸縮小，至充滿液體，而排出氣體。曾任真空泵事業(yè)部部長十五年，從事真空泵、真空系統(tǒng)的設(shè)計、研究二十五年，設(shè)計成功國內(nèi)最大型渦輪 分子泵，主持消化、吸收引進(jìn)的直接泵技術(shù)，并開發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的直聯(lián)泵。 3. 操作氣體的性質(zhì)：氣體的種類，氣體常數(shù)，氣體之腐蝕性，混合液之特性及含量。 3. 操作氣體的性質(zhì)：氣體的種類、成分及其性質(zhì)。 ? 裝置容器內(nèi)所發(fā)生之氣體量，配管及容器之洩漏氣體量，保持操作真空必要之排氣速度。 中國最大的管理資源中心 (大量免費資源共享 ) 第 27 頁 共 47 頁 德國 BECKER 真空泵作為我公司主要代理產(chǎn)品之一 ,目前在國內(nèi)已廣泛推廣 ,應(yīng)用行業(yè)涉及電子，食品 ,化工 ,包裝 ,產(chǎn) 業(yè)機械等等 . 貝克公司自 1885 年開始設(shè)計及生產(chǎn)真空泵，至今已有差不多 120 年真空獲得產(chǎn)品的制造歷史。機組中各泵的技術(shù)參數(shù)如下表。如果某機組中羅茨泵最大允許的排氣壓力為10Torr，則用水作液環(huán)時還須加大氣泵才能作為該羅茨泵的前級泵，若改用礦物油作液環(huán)則不加大氣泵即可作為前級泵，這樣可以簡化裝置。機組 2 的曲線大致相同。 1）由于羅茨泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與殼體之間存在著間隙，因此有返流存在，而這種返流受進(jìn)口壓力和出口壓力的影響，即使是同一臺羅茨泵，使用不同的前級泵時，其抽氣速率也會有所不 中國最大的管理資源中心 (大量免費資源共享 ) 第 25 頁 共 47 頁 同。在壓力很低時，水蒸汽的比容相當(dāng)大，這些可凝性蒸汽冷凝后，泵所需要的抽氣量顯然就大為降低了。 2）為 了使蒸汽在到達(dá)真空泵之前冷凝，就要在位于 A處裝一個冷凝器和一個功率為 30000kcal/h的冷卻裝置，如 圖 4 所示。真空干燥時，先用水環(huán)泵進(jìn)行預(yù)抽，直至水蒸汽大量減少時，再開動氣鎮(zhèn)機械真空泵，切斷水環(huán)泵。為了提高前級泵的極限真空度，還可以使水環(huán)泵與大氣泵組合使用。這類聯(lián)合機組，大致有如下幾種類型。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到 135176。在0176。 羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似。一般來說，羅茨泵具有以下特點： ? 在較寬的壓強范圍內(nèi)有較大的抽速； ? 起動快，能立即工作； ? 對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感； ? 轉(zhuǎn)子不必潤滑，泵腔內(nèi)無油； ? 振動小，轉(zhuǎn)子動平衡條件較好，沒有排氣閥； ? 驅(qū)動 功率小，機械摩擦損失??； ? 結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積?。? ? 運轉(zhuǎn)維護費用低。當(dāng)空間 A與吸氣口隔絕 中國最大的管理資源中心 (大量免費資源共享 ) 第 21 頁 共 47 頁 時，即轉(zhuǎn)至空間 B 的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最后與排氣口相通。旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。 總之，由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除易燃、易爆的氣體。 ? 壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。水環(huán)泵也可用作壓縮機，稱為水環(huán)式壓縮機，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍為 1~2105Pa 表壓力。 (2)前級泵： 用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。 2低溫真空泵 利用 20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。 1水環(huán)真空泵 泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán)。 1電離真空計（又收熱陰極電離計） 由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。單位為升 /秒（ L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強差。 1 托＝ 1/760 大氣壓＝ 1毫米汞柱 托與帕的轉(zhuǎn)換 1 托＝ 帕 或 1 帕＝ 179。3 165177。10 7 1真空油脂的主要性能 名稱 成分 20℃ 時飽和蒸氣壓 (托 ) 最高使用溫度 (℃) 2 高分子碳 179。10 6 常用壓強單位換算表 中國最大的管理資源中心 (大量免費資源共享 ) 第 10 頁 共 47 頁 帕 Pa 托 Torr 微米汞柱 μmHg 微巴 μbar 毫巴 mbar 大氣壓 atm 工程大氣壓 am 英寸汞柱 inHg 磅 /英寸2 lb/in2 1 Pa 1 103 10 102 179。10 1~106 超高真空 108~1012 106~1010 極高真空 ＜ 1012 ＜ 1010 長度：公制 英制對照表 單位 米 (m) 英尺 (ft) 英寸 (in) 1 米 (1m) 1 1 英尺 (1ft) 1 1 英寸 12 1 重量：公斤 磅 央士對照表 單位 公斤 (kg) 英磅 (Ib) 央士 (oz) 1 公斤 1 1 磅 1 16 1 央士 1 各種真空 計及規(guī)管對照表 真空計名稱 電阻真空計 熱偶真空計 計 冷陰極碰控 真空計 中真空計 超高真空 計 規(guī)管名稱 電阻規(guī)管 熱偶規(guī)管 電離規(guī)管 冷陰極規(guī) 管 中真空規(guī) 管 BA 規(guī)管 中國最大的管理資源中心 (大量免費資源共享 ) 第 9 頁 共 47 頁 規(guī)管型號 ZJ52T ZJ51(DL3) ZJ53 ZJ27(DL9) ZJ2(DL2) ZJ10(DL5) M014 DL5 DL8 ZJ32 ZJ32BC ZJ12 絕對溫度、攝氏、華氏溫度對照表 溫度形式 K(絕對溫度 ) ℃( 攝氏 ) 176。(Υ0/Υm)+Pa△ Vt 其中 V0－滴管和真空膠管的原始容積 (升 ) L－滴管刻度部分的長度 (mm) n－滴管刻度部分的格數(shù) (格 ) Υ0－油的比重 (克 /厘米 3) Υm－汞的比重 (克 /厘米 3) Pa－當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?(托 ) △ Vt－滴管的刻度上的一格的對應(yīng)的容積 (升 /格 ) 1旋片真空泵的幾何抽速計算公式： S＝ πZnLKv(D2d2)/(24104) (l/s) 式中： Z 為旋片數(shù)， n 為轉(zhuǎn)速 (轉(zhuǎn) /分 )， L 為泵腔長度， D 為泵腔直徑， d 為轉(zhuǎn)子直徑 (cm)， Kv 為容積利用系數(shù) (一般取 95％ )。l/s) V－系統(tǒng)容積 (l) P1－真空泵停止時系統(tǒng)中壓強 (mmHg) P2－真空室經(jīng)過時間 t 后達(dá)到的壓強 (mmHg) t－壓強從 P1 升到 P2經(jīng)過的時間 (s) 1粗抽泵的抽速選擇： S＝ Q1/P 預(yù) (l/s) S=V ＝常數(shù) 一定質(zhì)量的氣體，當(dāng)溫度不變時，氣體的壓強與氣體的體積成反比。