精密與特種加工技術(shù)第八章電子束加工和離子束加工-文庫(kù)吧在線文庫(kù)
【正文】 場(chǎng)對(duì)電子束的強(qiáng)度、位置、聚焦等進(jìn)行直接控制，可加工出斜孔、彎孔及特殊表面，便于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)。 電子束加工設(shè)備基本結(jié)構(gòu)示意圖 1 — 移動(dòng)工作臺(tái)； 2 — 帶窗真空室門(mén)窗； 3 — 觀察筒； 4 — 抽氣； 5 — 電子槍； 6 — 加速電壓控制； 7 — 束流強(qiáng)度控制板； 8 — 束流聚焦控制； 9 — 束流位置控制； 10 — 更換工件用截止閥； 11 — 電子束； 12 — 工件；13 — 驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)； 14 — 抽氣 7 電子束加工應(yīng)用 1. 打孔 電子束打孔已在生產(chǎn)中實(shí)際應(yīng)用。電子束熱處理的加熱速度和冷卻速度都很高，在相變過(guò)程中，奧氏體化時(shí)間很短，只有幾分之一秒乃至千分之一秒，奧氏體晶粒來(lái)不及長(zhǎng)大，從而能獲得一種超細(xì)晶粒組織，可使工件獲得用常規(guī)熱處理不能達(dá)到的硬度，硬化深度可達(dá) ~。 (2) 加工應(yīng)力小、變形小。 15 離子束加工的應(yīng)用 1. 離子刻蝕 離子刻蝕是從工件上去除材的濺射過(guò)程。 離子注入是半導(dǎo)體參雜的一種新工藝，在國(guó)內(nèi)外都很普遍。 16 2. 離子鍍覆 離子鍍覆時(shí)工件不僅接受靶材濺射來(lái)的原子，同時(shí)還受到離子的轟擊，這使離子鍍覆有許多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)：鍍覆面積大(所有被暴露在外的表面均能被鍍覆 )、鍍膜附著力強(qiáng)、膜層不易脫落、提高或改變材料的使用性能。但是，要增加抽真空裝置，不僅投資費(fèi)用較大，而且維護(hù)也麻煩。 11 離子束
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