led芯片制造的工藝流程教材(存儲(chǔ)版)
【正文】 MOCVD方法在 LiAlO2襯底上實(shí)現(xiàn)非極化 GaN/InGaN量子阱生長(zhǎng)和LED器件制備，成果達(dá)到同期國(guó)際水平；研制的新型半導(dǎo)體 InN材料其相關(guān)技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平；制備高質(zhì)量的用于紫外探測(cè)器結(jié)構(gòu)材料性能指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先水平。 ? 外延片是 LED生產(chǎn)的上游產(chǎn)業(yè)，在光電產(chǎn)業(yè)中扮演重要的角色。 ? 影響完整性的因素：不同的外延技術(shù)、同一外延技術(shù)不同的設(shè)備，同一設(shè)備不同的操作人員。 但進(jìn)行進(jìn)行合金化的過(guò)程也會(huì)對(duì) p型電極產(chǎn)生影響，保持 p型電極在對(duì) n型電極進(jìn)行合金化的過(guò)程中保持不變非常重要。 07:02:2207:02:2207:02Saturday, April 1, 2023 ? 1乍見(jiàn)翻疑夢(mèng)，相悲各問(wèn)年。 07:02:2207:02:2207:024/1/2023 7:02:22 AM ? 1成功就是日復(fù)一日那一點(diǎn)點(diǎn)小小努力的積累。 上午 7時(shí) 2分 22秒 上午 7時(shí) 2分 07:02: ? 楊柳散和風(fēng)，青山澹吾慮。 2023年 4月 上午 7時(shí) 2分 :02April 1, 2023 ? 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 :02:2207:02:22April 1, 2023 ? 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 4月 上午 7時(shí) 2分 :02April 1, 2023 ? 1少年十五二十時(shí)，步行奪得胡馬騎。 上午 7時(shí) 2分 22秒 上午 7時(shí) 2分 07:02: ? 沒(méi)有失敗，只有暫時(shí)停止成功！。 07:02:2207:02:2207:024/1/2023 7:02:22 AM ? 1以我獨(dú)沈久，愧君相見(jiàn)頻。 五、 LED芯片電極 P極和 N極的制作 pn結(jié)電極的制作工藝 ? 光刻 ? 真空電子束蒸發(fā) ? 濕法腐蝕 ? 剝離 五、 LED芯片電極 P極和 N極的制作 pn結(jié)電極材料 ? p型電極：鎳 /銅（ Ni/Au） —— 良好的透光性和電學(xué)特性。 四、 LED對(duì)外延片的技術(shù)要求 p型 n型兩種外延材料的電導(dǎo)率要高 ? 影響電導(dǎo)率的因素：摻雜濃度、溫度、均勻性。 ? “ GaN基發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)表征方法” ? “基于 MOCVD生產(chǎn)的高功率光電子器” ? “ MOCVD硬件及維護(hù)” ? “用于產(chǎn)品監(jiān)測(cè)的光學(xué)在位測(cè)量技術(shù)發(fā)展近況” 一、 LED芯片制造設(shè)備 設(shè)備的操作與維護(hù)及其重要 重要的 MOCVD ? MOCVD已經(jīng)成為工業(yè)界主要使用的鍍膜技術(shù)。在高亮度的藍(lán)光發(fā)光二極管 (LED)、激光器 (LD)、日盲紫外光電探測(cè)器、高效率太陽(yáng)能電池、高頻大功率電子器件領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用。 因此是一種鍍膜技術(shù)，是鍍膜過(guò)程。 二、 LED芯片襯底材料的選用 硅襯底 ? 應(yīng)用：目前有部分 LED芯片采用硅襯底 ，如上面提到的 GaN材料的藍(lán)光 LED 二、 LED芯片襯底材料的選用 碳化硅襯底 ? 美國(guó)的 CREE公司專門(mén)采用 SiC材料作為襯底 二、 LED芯片襯底材料的選用 碳化硅襯底特點(diǎn) ? 電極： V型電極設(shè)計(jì)，電流是縱向流動(dòng)的，兩個(gè)電極分布在器件的表面和底部，所產(chǎn)生的熱量可以通過(guò)電極直接導(dǎo)出；同時(shí)這種襯底不需要電流擴(kuò)散層，因此光不會(huì)被電流擴(kuò)散層的材料吸收，這樣又提高了出光效率。 ? 藍(lán)寶石的硬度非常高，在自然材料中其硬度僅次于金剛石，但是在 LED器件的制作過(guò)程中卻需要對(duì)它進(jìn)行減薄和切割（從 400nm減到 100nm左右）。 下面分別介紹三種材料的特點(diǎn) 二、 LED芯片襯底材料的選用 藍(lán)寶石襯底 藍(lán)寶石襯底的優(yōu)點(diǎn)： ? 生產(chǎn)技術(shù)成熟、器件質(zhì)量好； ? 穩(wěn)定性很好，能夠運(yùn)用在高溫生長(zhǎng)過(guò)程； ? 機(jī)械強(qiáng)度高，易于處理和清洗。 ? 電極制作設(shè)備：光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)等。 ? LED的制造工藝和其它半導(dǎo)體器件的制造工藝有很多相同之處。 ? 電極 —— 對(duì) LED外延片做電極（ P極， N極） 。 ? LED芯片質(zhì)量依賴于這些設(shè)備和操作這些設(shè)備的人員。 ? （ 2）無(wú)
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