【正文】 腐蝕處理過程中會有氟化氫和氮氧化物氣體逸出至空氣中，故用風(fēng)機(jī)通過罩于酸腐蝕處理槽上方的風(fēng)罩抽吸含氟化氫和氮氧化物的空氣，然后將該氣體送往吸附裝置進(jìn)行處理，達(dá)標(biāo)排放。從槽頂逸出的氣體，引入尾氣處理塔。 廢氣廢氣主要為正常時廢氣處理工序尾氣、產(chǎn)品后處理和硅芯制備工序酸性廢氣等，主要廢氣污染物為 HCl、NOx、氯硅烷、HF 等。本項目主要噪聲狀況見表 264?！?9。 地形地貌樂山市區(qū)域南北長 ，東西寬 164km；幅員面積為 12826 km178。占全市面積的 %。③白堊系上統(tǒng)夾關(guān)組軟質(zhì)巖石：磚黃色細(xì)中粒砂巖夾薄層粉砂巖，粘土巖互層，表層承載力標(biāo)準(zhǔn)值為 250～350kPa。大渡河是岷江的主要支流，發(fā)源于牟尼芒山和工來邛崍山脈，從樂山市峨邊縣西來，在樂山市中心城區(qū)南面的肖公咀匯入岷江。/s，最大洪峰流量為 18700m179。/s，洪峰主位，最枯流量 179。 行政區(qū)劃與人口樂山市歷史源遠(yuǎn)流長，在 3000 年前的巴蜀時期，即是蜀區(qū)開明故都，樂山建制已有 2500 多年，筑城 1430 年，為歷代縣、州、府、郡治所。全年民營經(jīng)濟(jì)增加值 億元，增長 %，民營經(jīng)濟(jì)對 GDP 增長的貢獻(xiàn)率為36 / 96%，占 GDP 的 %，民營經(jīng)濟(jì)工業(yè)增加值 億元，增長 %，占工業(yè)增加值的 %。城郊型農(nóng)村經(jīng)濟(jì)特色突出。樂山高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)幅員面積 (納入土地利用總體規(guī)劃面積為)，其中包括車子鄉(xiāng)的茶山村、魚農(nóng)村、惠安村、白埝村及安谷鎮(zhèn)的龍口村、雙水村、鄭明村、英雄村的部份村社。截止 2022 年底新的區(qū)域已成功引進(jìn) 44 個項目，投資總額達(dá) 億元。風(fēng)景區(qū)共有景點 44 個，其中特級 10 個，占 23%；一級 21個，占 48%；二級 13 個，占 29%。樂山市納入環(huán)境統(tǒng)計的較大污染源企業(yè)有 400 家，工業(yè)總產(chǎn)值為 萬元，有鍋爐 214 臺（1184 蒸噸），爐窯 729 座，耗煤 萬 t/a（其中原料煤耗量 萬 t/a），燃料油 萬 t/a，天然氣 49014 萬 m3，排放工業(yè)廢氣 5087588 萬 m3/a，二氧化硫 ，煙塵 ，粉塵。表 341 樂山市 2022年環(huán)境空氣日均值監(jiān)測結(jié)果 mg/m 3項目 SO2 NO2 PM10日均值濃度范圍 ～ ～ ～標(biāo)準(zhǔn)值 樂山大佛景區(qū)超標(biāo)率（%） 日均值濃度范圍 ～ ～ ～標(biāo)準(zhǔn)值 超標(biāo)率（%） 日均值濃度范圍 ～ ～ ～標(biāo)準(zhǔn)值 市第三水泥廠超標(biāo)率（%） 日均值濃度范圍 ～ ～ ～標(biāo)準(zhǔn)值 2022市環(huán)境監(jiān)測站超標(biāo)率（%） 表 342 樂山市 2022～2022 年環(huán)境空氣年均濃度監(jiān)測結(jié)果 mg/m 3項目 2022 2022 2022SO2 標(biāo)準(zhǔn)值 超標(biāo)倍數(shù) NO2 標(biāo)準(zhǔn)值 超標(biāo)倍數(shù) PM10 標(biāo)準(zhǔn)值 超標(biāo)倍數(shù) 由表 341 可以看出：樂山市 4 個例行監(jiān)測點 2022 年 SO2 和 NO2 日均值濃度滿足相應(yīng)的《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB30951996)一級、二級標(biāo)準(zhǔn)要求。（4）監(jiān)測因子40 / 96SONO 2 和 PM10 共計 3 項。（4）外圍協(xié)調(diào)區(qū)：本區(qū)不屬于風(fēng)景區(qū)范圍，而是為保證風(fēng)景區(qū)有一個良好的過渡環(huán)境，對風(fēng)景區(qū)周邊的城市進(jìn)行景觀風(fēng)貌要求的區(qū)域，包括嘉州古城區(qū)、39 / 96樂山舊城區(qū)、肖壩小區(qū)、高新技術(shù)開發(fā)區(qū)等，要求這些片區(qū)在建筑、色彩、環(huán)境等城市景觀塑造上與樂山大佛風(fēng)景區(qū)協(xié)調(diào)。其景觀人文與自然結(jié)合，互為映襯，具有極高的文化價值，其特征可概括“壯、雅、清、逸”。樂山高新區(qū)良好的政策優(yōu)勢、區(qū)位優(yōu)勢和軟硬環(huán)境優(yōu)勢吸引了一批高素質(zhì)人才、高科技成果和項目在此聚集。規(guī)劃中的樂雅、樂自高速公路、峨宜、峨自鐵路和樂山機(jī)場將使未來的樂山交通更為方便。全年肉類總產(chǎn)量 47 萬噸，增長 %。三次產(chǎn)業(yè)分別拉動經(jīng)濟(jì)增長 %、%和 %，對經(jīng)濟(jì)增長的貢獻(xiàn)率分別為—、%和 。廠址一帶地形北高南低，存在自然沖溝，暴雨有匯流出口，故廠址一帶不受內(nèi)35 / 96澇影響。岷江樂山段全長 263km，河流落差 137m，平均比降‰，多年平均流量為 470～2700m179。青衣江，又名雅河，也是岷江的主要支流之一，發(fā)源于寶興縣巴郎山、夾金山麓，流經(jīng)樂山市夾江縣，在樂山市中心城區(qū)西面的水口鄉(xiāng)草鞋渡與大渡河匯合后注入岷江。34 / 96樂山市市中區(qū)主導(dǎo)風(fēng)向為 N 風(fēng)，次主導(dǎo)風(fēng)向為 NW 風(fēng)，多年平均風(fēng)速為，靜風(fēng)頻率 38%。 ②第四系上更新統(tǒng)沖洪積物：以黃褐粘土及薄層粘土夾卵礫石層組成，該層厚度達(dá) 25m 以上。；占全市面積的 %，丘陵面積 178。規(guī)劃的開發(fā)區(qū)背山面水，東臨大佛風(fēng)景保護(hù)區(qū)，花團(tuán)錦簇，微波粼粼，環(huán)境優(yōu)美，是一處投資環(huán)境極佳的經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)。北緯 28。多晶硅裝置固體廢物排放狀況見表 263。B．Ⅱ 類廢液處理來自硅芯制備工序和產(chǎn)品整理工序的廢氫氟酸和廢硝酸，用堿液中和，生成的氟化鈉和硝酸鈉溶液，進(jìn)行蒸發(fā)、濃縮和結(jié)晶。然后用氮氣將液體壓出，送進(jìn)灌注有10%堿液的殘液處理槽。 產(chǎn)品整理工序在還原爐內(nèi)制得的多晶硅棒被從爐內(nèi)取下，切斷、破碎成塊狀的多晶硅。氫化氣干法分離的原理和流程與三氯氫硅合成氣干法分離工序十分類似。 四氯化硅氫化工序經(jīng)氯硅烷分離提純工序精制的四氯化硅，送入本工序的四氯化硅汽化器，被熱水加熱汽化。從三氯氫硅汽化器來的三氯氫硅與氫氣的混合氣體，送入還原爐內(nèi)。塔底釜液是含有高沸點雜質(zhì)的四氯化硅，用泵連續(xù)送往 11 級精餾塔。塔底釜液為含高沸點雜質(zhì)的三氯氫硅，用泵送至二級三氯氫硅槽。塔頂餾出含有二氯硅烷和三氯氫硅的冷凝液，靠位差流至二級三氯氫硅槽；塔底釜液為三氯氫硅，用泵送入 4 級精餾塔。原料氯硅烷液體、還原氯硅烷液體和氫化氯硅烷液體分別用泵抽出，送入氯硅烷分離提純工序的不同精餾塔中。出塔底的氯硅烷用泵增壓，大部分經(jīng)冷凍降溫后循環(huán)回塔頂用于氣體的洗滌，多余部份的氯硅烷送入氯化氫解析塔。在三氯氫硅合成爐內(nèi)，硅粉與氯化氫氣體形成沸騰床并發(fā)生反應(yīng)，生成三氯氫硅，同時生成四氯化硅、二氯二氫硅、金屬氯化物、聚氯硅烷、氫氣等產(chǎn)物，此混合氣體被稱作三氯氫硅合成氣。除氧后的氫氣通過一組吸附干燥器而被干燥。 工藝廢料處理工序A．Ⅰ類廢液處理來自氯化氫合成工序的廢酸、液氯汽化工序的廢堿、廢氣殘液處理工序和22 / 96廢硅粉處理的廢液等在此工序進(jìn)行混合、中和后，經(jīng)過壓濾機(jī)過濾。 HClSilSiCl???324 氫化氣干法分離工序從四氯化硅氫化工序來的氫化氣經(jīng)此工序被分離成氯硅烷液體、氫氣和氯化氫氣體，分別循環(huán)回裝置使用。主反應(yīng)： 233HSiCllSi???44253。故本項目 1500 噸/年電路級多晶硅裝置采用改良西門子法生產(chǎn)多晶硅。擬建廠前區(qū)，設(shè)辦公樓和倒班宿舍等。 三氯氫硅(SiHCl 3，副產(chǎn)物) 性質(zhì)三氯氫硅 無色液體。一般認(rèn)為純度在 %左右。（1）工程分析；（2）環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀調(diào)查與評價；（3）環(huán)境空氣影響預(yù)測與評價；（4）污染防治措施及其技術(shù)可行性分析。表 163 地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) (mg/L，pH 除外)序號 污染物 Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)限值 序號 污染物 Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)限值1 pH 6～9 6 氨氮 ≤2 溶解氧 ≥5 7 石油類 ≤3 高錳酸鹽數(shù) ≤6 8 揮發(fā)酚 ≤4 BOD5 ≤4 9 氟化物 ≤5 COD ≤20 10 總磷 ≤（3）地下水評價區(qū)域地下水執(zhí)行《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T1484893 ）Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)，標(biāo)準(zhǔn)值見表 164。② 評價范圍廠界外延 1000m（5）環(huán)境風(fēng)險評價工作等級和評價范圍① 評價等級本項目原料、輔助材料、中間產(chǎn)品、產(chǎn)品等主要物料中，三氯氫硅、氟化氫等為有毒物質(zhì)，存在有毒物料泄漏發(fā)生人員傷亡的危險，硝酸為具有腐蝕性的物料，具有較強(qiáng)的腐蝕性，對人有灼傷危害。（2）水環(huán)境評價工作等級和評價范圍① 評價等級地表水：根據(jù)《環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則－地面水環(huán)境》（HJ/）劃分，本項目廢水經(jīng)廠區(qū)污水處理站后，達(dá)到《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB89781996 一級標(biāo)準(zhǔn)，通過白灘堰排入岷江，排水量約 149m3/d，污水中含 COD、鹽等，水質(zhì)復(fù)雜程度簡單，岷江多年平均流量 470～2700m 3/s，屬于大河。 項目文件（1）《關(guān)于樂山高新區(qū) 3000t/a 多晶硅項目環(huán)境影響評價執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的函 》，四川省環(huán)境保護(hù)局，川函[2022]75 號；（2）《關(guān)于 3000t/a 多晶硅項目取水申請的批復(fù)》 ，樂山市水利局，2022年 8 月；（3）《關(guān)于樂山市中心城區(qū) 2022 年第二批城市建設(shè)用地的批復(fù)》，四川省人民政府，川府土[2022]188 號；5 / 96（4）《關(guān)于樂山市 2022 年第一批城市建設(shè)用地的批復(fù)》，四川省人民政府，川府土[2022]57 號；（5）《四川省國土資源廳關(guān)于樂山市中心城區(qū) 2022 年第二批城市建設(shè)用地的批復(fù)》，四川省國土資源廳，川國土資建[2022]38 號；（6）《關(guān)于對四川省樂山市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)區(qū)域環(huán)境影響報告書的批復(fù)》，四川省環(huán)境保護(hù)局，川環(huán)函[2022]121 號；（7）《關(guān)于樂山大佛風(fēng)景名勝區(qū)總體規(guī)劃的函》，中華人民共和國建設(shè)部，建城函[2022]344 號；（8）《關(guān)于樂山高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)控制性詳細(xì)規(guī)劃的批復(fù)》，樂山市人民政府，樂府函[2022]92 號；（9）《關(guān)于四川省樂山高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)年產(chǎn) 3000 噸多晶硅配套渣場項目環(huán)境影響報告表的批復(fù)》，樂山市環(huán)境保護(hù)局，樂市環(huán)建管[2022]413 號。為在樂山高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)進(jìn)一步發(fā)展多晶硅產(chǎn)業(yè)，形成樂山市的“硅產(chǎn)業(yè)鏈”，樂山市計劃在高新區(qū)抓緊推進(jìn)3000t/a 的多晶硅項目的實施。在世界各國，尤其是美、日、德等發(fā)達(dá)國家先后發(fā)起的大規(guī)模國家光伏發(fā)展計劃和太陽能屋頂計劃的刺激和推動下，世界光伏工業(yè)近年來保持著年均30％以上的高速增長，全球目前多晶硅缺口在 6000t 左右，專家預(yù)測，光伏發(fā)電將在新世紀(jì)前半期超過核電成為最重要的基礎(chǔ)能源之一。接受委托后，評價單位詳細(xì)收集和分析與工程項目有關(guān)的基礎(chǔ)資料，通過大量調(diào)查、監(jiān)測和模擬，在系統(tǒng)深入的研究基礎(chǔ)上，編制了“ 樂山高新區(qū)3000t/a 多晶硅項目環(huán)境影響報告書 ”，提交環(huán)境保護(hù)主管部門審查。 評價原則本著實事求是、客觀公正的精神，根據(jù)本項目工程及環(huán)境影響復(fù)雜的特點，確定評價原則為：（1）遵守國家和四川省相關(guān)法律法規(guī)，符合相關(guān)部門規(guī)范性文件規(guī)定，滿足環(huán)評技術(shù)導(dǎo)則要求；（2）客觀、公正、全面、科學(xué)地分析本項目對環(huán)境的各種影響；（3）通過現(xiàn)場調(diào)查和監(jiān)測獲得第一手?jǐn)?shù)據(jù)，保證資料數(shù)據(jù)的代表性、準(zhǔn)確性和時效性，評價方法力求先進(jìn)、定量、可靠，情景和工況設(shè)定盡量接近實際情況，評價結(jié)論中提出的對策措施具有可操作性；（4）貫徹“產(chǎn)業(yè)政策 ”、“滿足規(guī)劃”、“清潔生產(chǎn)” 、“ 達(dá)標(biāo)排放”、“總量控制”、“循環(huán)經(jīng)濟(jì) ”的原則；（5）以多種形式進(jìn)行公眾參與。② 評價范圍地表水評價范圍：岷江開發(fā)區(qū)段廢水總排口上游 1km，下游 5km。罐區(qū)存在著發(fā)生重大火災(zāi)、爆炸或毒物泄漏，對環(huán)境造成嚴(yán)重污染事故的可能性。表 167 大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn) （mg/Nm 3）污染物最高允許排放濃度mg/m3排氣筒高度 m排放速率kg/h無組織監(jiān)控濃度限值mg/m3備注15 30 15SO2 55040 2515 30 NOX（以NO 2 計） 24040 15 20 顆粒物12030 2315 20 HCl10030 HF（參照氟化物標(biāo)準(zhǔn)） 15 GB162971996 表 2 中二級12 / 9630 40 表 168鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)鍋爐類別 煙塵 煙氣黑度 SO2 NOX燃?xì)忮仩t 燃?xì)?10 Ⅰ 100 400169 工業(yè)爐窯大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)爐窯類別 煙塵加熱爐 非金屬加熱爐 200（2）水污染物本項目生產(chǎn)過程中排出的工藝污水先進(jìn)入廠區(qū)的污水處理站，處理達(dá)標(biāo)后通過白灘堰排入岷江。、規(guī)格及用途 多晶硅(Si，產(chǎn)品) 性質(zhì)多晶硅 具灰色金屬光澤，熔點 1410℃、沸點 2355℃、密度 ～，溶于氫氟酸和硝酸的混酸中，不溶于水、硝酸和鹽酸。是電子工業(yè)中廣泛用于制造半導(dǎo)體收音機(jī)、錄音機(jī)、電冰箱、彩電、錄像機(jī)、電子計算機(jī)等的基礎(chǔ)材料。本項目多晶硅生產(chǎn)裝置以及配套的公用工程和輔助設(shè)施詳見表 241。另有硅烷法多晶硅生產(chǎn)工藝，是用硅烷進(jìn)行熱分解生成多晶硅。三種技術(shù)均可選，在技術(shù)談判和商務(wù)談判階段需進(jìn)一步綜合比較方可選定。20 / 96 氯硅烷分離提純工序氯硅烷的分離和提純是根據(jù)加壓精餾的原理，通過采用合理節(jié)能工藝來實現(xiàn)的。21 / 96 產(chǎn)品整理工序用氫氟酸和硝酸對塊狀多晶硅進(jìn)行腐蝕處理，再用超純水洗凈多晶硅塊，然后對多晶硅塊進(jìn)行干燥。蒸發(fā)冷凝液循環(huán)利用（配置 NaOH 溶液），結(jié)晶固體氯化鈉等外售或填埋。出氧氣貯罐的氧氣送去裝瓶或放空。出合成爐頂部挾帶有硅粉的合成氣，經(jīng)三級旋風(fēng)除塵器組成的干法除塵系統(tǒng)除去部分硅粉后，送入濕法除塵系統(tǒng)，被四氯化硅液體洗滌，氣體中的部分細(xì)小硅塵被洗下；洗滌同時，通入濕氫氣與氣體接觸，氣體所含部分金屬氧化物發(fā)生水解而被除去。氫氣流經(jīng)氫氣緩沖罐，然后