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當代多晶硅生產(chǎn)工藝技術(shù)概論(存儲版)

2025-07-07 00:25上一頁面

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【正文】 ,%。尾氣回收裝置這樣多晶硅的制造在這方圓20英里的地盤上形成了一條完整的產(chǎn)業(yè)鏈,這個產(chǎn)業(yè)鏈布局完美、合理,真是令國內(nèi)多晶硅廠家羨慕!在此深感國內(nèi)整個基礎(chǔ)化工產(chǎn)業(yè)還存在著巨大的差距,上下游無法合理配套,產(chǎn)業(yè)鏈難以有效延伸和規(guī)劃,從而造成產(chǎn)品生產(chǎn)成本居高不下,浪費現(xiàn)象極為嚴重!引用網(wǎng)站圖片:Hoku在愛達荷州的在建多晶硅項目—還原車間廠房鋼結(jié)構(gòu) (20100818 15:01:40)轉(zhuǎn)載標簽:投資多晶硅工廠首先面臨的選擇就是生產(chǎn)什么級別的多晶硅產(chǎn)品,這個問題不解決好,建成的多晶硅工廠投入產(chǎn)出肯定不會達到預(yù)期的效果,尤其在多晶硅價格大幅波動的今天,稍不留神工廠就會虧損。如果抱著這樣的想法去建多晶硅廠,建成后的工廠投資回報率肯定是極為低下的,甚至發(fā)生巨額虧損。就單項指標而言,高端SOG和低端EG產(chǎn)品各有重疊之處。還原和氫化尾氣的分離與回收已有多種工藝,由于這些工藝在我國多晶硅企業(yè)的運行歷史都不長,各家工廠都在探索之中,目前簡單地評價孰優(yōu)孰劣為時尚早。+HCl回收系統(tǒng)投運后不僅可以做到多晶硅主裝置基本沒有化學液體廢棄物排放,同時氯氣的用量可以節(jié)省30%40%。2)流化床法;3)從安全角度來看:三氯氫硅最高,硅烷和四氯化硅最低。以硅烷為原料的鐘罩式CVD反應(yīng)器簡圖(美國專利)熱氫化工藝的核心設(shè)備是氫化爐(英文:STC Converter),氫化爐的結(jié)構(gòu)形式有多種,各有利弊,后面章節(jié)會詳細評述。這是某制造廠為國內(nèi)多晶硅企業(yè)生產(chǎn)的仿俄羅斯氫化爐80年代我國曾經(jīng)打算引進冷氫化技術(shù),將多晶硅工廠副產(chǎn)四氯化硅轉(zhuǎn)化成三氯氫硅返回系統(tǒng)循環(huán)使用,但是經(jīng)過多年的努力竟未能實現(xiàn)。其它公司開發(fā)的冷氫化工藝與之相比,雖原理相同,但在系統(tǒng)的配置及設(shè)備設(shè)計方面有一些差別,在后面的章節(jié)中會詳細論述。該項目優(yōu)選了10項工藝,其中5項涉及流化床反應(yīng)器。從原理上看,該工藝實際上是基于三氯氫硅的西門子硅芯積淀技術(shù)的延伸(上圖步序6)。有關(guān)流化床的詳細內(nèi)容將在后續(xù)相關(guān)章節(jié)中描述。美國專利:用無內(nèi)部換熱裝置的流化床反應(yīng)器生產(chǎn)TCS流化床反應(yīng)器及其單元裝置在多晶硅工廠的應(yīng)用:上圖是AdRM的冷氫化流程框圖,由STC氫化反應(yīng)器內(nèi)置旋風除塵器氣流分布板淋洗沉降塔STC蒸發(fā)器過熱器6及預(yù)熱器7等設(shè)備組成。從取得的大量實驗數(shù)據(jù)來看,四氯化硅氫化的一次轉(zhuǎn)化率可達25%左右。冷氫化也是多晶硅工廠就地處理四氯化硅的一種極其有效的工藝,說是“冷”氫化,其實并不“冷”,反應(yīng)段溫度也在500C176。因此,尾氣分離和四氯化硅的回收已經(jīng)成為多晶硅工廠必不可少的裝置,國內(nèi)的實踐也表明,沒有尾氣分離和四氯化硅轉(zhuǎn)化裝置的多晶硅工廠,生產(chǎn)將難以為繼!國內(nèi)外的廠家和研究人員經(jīng)過很多年的探索與生產(chǎn)實踐,綜合了各方面的因素,得出了基本一致的共識:硅芯沉積法是生產(chǎn)電子級多晶硅的最佳工藝三氯氫硅是硅芯沉積法制備多晶硅的最佳原料二氯二氫硅不建議存儲,硅烷只能作少量存儲,而三氯氫硅和四氯化硅可以允許存儲數(shù)月之久。1)從產(chǎn)品純度來看:目前多晶硅制備的常用工藝有三種:我們關(guān)心的石油化工廢氣和殘液處理裝置設(shè)計制造商也在這里,這家企業(yè)是全球知名的石油化工廢氣和殘液處理裝置設(shè)計制造商,擁有最先進、最完善的石油化工廢氣和殘液處理及回收的中試裝置。現(xiàn)為全美石油工業(yè)主要中心,有“世界油都”之稱。淋洗→水解→中和→排放;對于大型多晶硅企業(yè),氯硅烷殘液的處理國外通常在一個工廠同時設(shè)置三套處理方案:ASiMI的多晶硅分級企業(yè)標準(截選)建什么級別的多晶硅工廠(續(xù)):他們大多都是簡單地向技術(shù)提供方用一句話表示,“要建電子級多晶硅廠”,很多人天真地認為,“萬一達不到電子級那就降格為太陽級的產(chǎn)品也行,如果按照太陽級的產(chǎn)品建廠,萬一達不到太陽級,產(chǎn)品就賣不出去了”。他們是:North American Polysilicon Technology的陳寶生博士LX Engineering的蕭杰博士.............別了,Midland!第二章讓我們記住美國這些早期的多晶硅生產(chǎn)企業(yè):Du PontBell LaboratoriesMonsantoUnion CarboneMotorolaFoote MineralMallincrodtInternational TelephoneTexas InstrumentsTransitronGreat Western SiliconMerck Chemical總體來說,美國在多晶硅技術(shù)領(lǐng)域存量大、人才多、歷史悠久、實力雄厚。有趣的是RECMoses Lake、RECASiMI、Dow Corning、HSC這幾家美國的多晶硅企業(yè),包括美國Hoku公司在愛達荷州Pocatello在建的多晶硅廠,基本上都分布在北緯45176。廢棄氯硅烷干法回收氯化氫系統(tǒng)如果不是有一家全球最大的多晶硅廠,幾乎沒有什么人會光顧到這里。眾多的服務(wù)商云集園區(qū)—這是我們非常熟悉的自動化設(shè)備供應(yīng)商:而道康寧更是以科技創(chuàng)新而聞名,該企業(yè)擁有數(shù)千名科學家和工程師,4000多項至今還有效的專利技術(shù),企業(yè)年銷售額的67%用于研發(fā)投資,在行業(yè)中十分出名。這家企業(yè)上世紀三十年代就進入中國大陸,我在上大學期間就對陶氏化學如雷貫耳。美國東北部的密歇根州地處五大湖湖心位置,東臨休倫(Lake Huron),西頻密歇根湖(Lake Michigan)。更為驚嘆的是,聲稱“高污染”的多晶硅工廠,完全沒有打擾這里蔥郁的森林、一望無際的牧場、清澈的河流和皚皚的雪山,這恰恰是值得中國多晶硅從業(yè)人員所重視的東西!不珍愛自己祖國的大好河山,就沒有資格在這個行業(yè)工作!Missoula的西部風光蒙州遠眺Butte第一任市長、城市創(chuàng)始人ASiMI和SGS被挪威的REC收購以后,據(jù)說原廠的一些從事技術(shù)和管理的團隊與新股東有分歧,造成部分人員離職。已經(jīng)到達ASiMI廠區(qū)門口的大道ASiMI廠區(qū)對面的大片土地已經(jīng)被圈為硅工業(yè)技術(shù)園區(qū)正對廠大門的是熱分解車間精餾裝置美國廣袤的西北部,從華盛頓州的Moses Lake到蒙大拿州的Butte,600英里左右的路程令無數(shù)多晶硅業(yè)內(nèi)人士投去神往的目光。CDI提供的多晶硅工廠尾氣分離與回收裝置寧靜的鎖港街頭尼亞加拉大瀑布依舊是那么的迷人在CDI的會議室里,隨處可見中國多晶硅企業(yè)贈送的紀念品。 石化尾氣凈化及回收系統(tǒng)過往船閘的船只至今仍往來不息在美國東北部,和加拿大多倫多市比鄰,有一個屬于紐約州的城市叫布法羅(Buffalo),這個城市的另一個名稱叫水牛城,這里有三處非常著名的地方:他經(jīng)歷了美國多晶硅發(fā)展的各個階段,主持設(shè)計和建設(shè)了美國早期的多家多晶硅工廠。中規(guī)模階段:也叫百噸級階段,工廠的產(chǎn)能規(guī)模在年產(chǎn)100噸1000噸之間,一般是外購TCS和金屬硅作為原料,尾氣的處理不僅回收氫氣H2和TCS,STC通過流化床反應(yīng)爐在現(xiàn)場轉(zhuǎn)化為TCS得以回收,所得的副產(chǎn)物為HCl外銷。該公司目前有40多人,老中青結(jié)合,是目前全球頗具實力、為數(shù)不多的能夠整體提供代表歐美多晶硅先進技術(shù)的企業(yè)之一。更加難能可貴的是,美國的開放性和多樣化,使得很多華人在這塊土地上,以自己的祖國為背景,在全球性的多晶硅浪潮中搏擊起航、嶄露頭角,掘得了滿滿的第一桶金,在這個過去素昧平生的行業(yè)中有了屬于個人的一席之地,同時也奠定了自己在海外的事業(yè)根基。但是他們通常只是做其中的一個工段,不具備技術(shù)牽頭的能力,就不在此贅述。MSA是慕尼黑的一家化工機械廠,很早就介入了國內(nèi)多晶硅市場,工廠很小,早年為Wacker提供12對棒的還原爐,在成都有辦事處。德國的企業(yè)在技術(shù)上相互依存,SolMic提供工藝包并牽頭整個技術(shù)協(xié)調(diào)工作,Centrotherm負責還原和氫化單元,AEG提供還原和氫化單元的電氣部分,Siemens公司提供還原和氫化單元的控制部分。SolMic成立不久就與德國2006年上市的太陽能電池成套生產(chǎn)線知名供應(yīng)商Centrotherm互換股權(quán),這樣Centrotherm也就成為SolMic工藝包還原和氫化單元技術(shù)和設(shè)備的指定提供方。該公司成立于200
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