【正文】 段、主要工藝流程、采用的關(guān)鍵設(shè)備、基本的操作規(guī)程、產(chǎn)品質(zhì)量檢驗方法、產(chǎn)品產(chǎn)生缺陷原因、消除缺陷的方法以及相關(guān)的計算原理。分述如下：俄羅斯技術(shù)：俄羅斯技術(shù)的提供方是位于莫斯科的俄羅斯稀有金屬研究設(shè)計院（簡稱稀有院），該院的前身是蘇聯(lián)國立稀有金屬研究設(shè)計院，成立于1931年。這七家工廠規(guī)模很小，工藝落后，到了20世紀90年代中期均因市場不景氣而陸續(xù)停產(chǎn)。峨眉739遼寧凌海（這個項目停了）除了俄羅斯稀有院之外，烏克蘭國立鈦研究設(shè)計院也聲稱對外轉(zhuǎn)讓多晶硅工藝包。但是無論如何，我們可以說，正如我國的軍事工業(yè)一樣，俄羅斯技術(shù)在我國多晶硅產(chǎn)業(yè)的起步階段起到了一個引路人的作用！博主和這兩家公司均有深入的交流，現(xiàn)簡介如下：1）PE公司：該公司成立于2005年，合伙人是兩個在MEMC工作多年的技術(shù)專家：Marangoni先生和Ragaini先生。Ragaini先生1955年畢業(yè)意大利米蘭大學化學工程系，1955年在氯堿廠工作，任項目工程師，1984年進入MEMC，曾任多晶硅工廠項目擴建主管。這家工廠位于重慶萬州，大全集團要求天辰公司（化一院）獨家提供詳細設(shè)計，現(xiàn)已經(jīng)投產(chǎn)。據(jù)其解釋SolMic是Solar和Microeletronics兩個英文單詞前三個字母的組合，Mozer博士的背景是德國著名多晶硅生產(chǎn)企業(yè)Wacker的前技術(shù)主管之一。在多晶硅項目上，兩家公司優(yōu)勢互補，有錢大家賺。2008年博主拜訪Centrotherm公司時攝于寫字樓前專業(yè)分工明確，但是費用相當高。由于在國內(nèi)訂單很多，原廠早已無法安排生產(chǎn)了，設(shè)備全部外包。SCC — 美國硅化學公司：SCC成立于1985年，至今已經(jīng)24年的歷史，由美國知名的多晶硅技術(shù)專家Gary Phillips先生100%持股。這是UCC被兼并后出了一本紀念冊，里面很多人都是當今活躍在美國多晶硅業(yè)界的技術(shù)專家，紀念冊的第一張照片就是Robert Hewitt先生，SCC的當家人也在其中。在國內(nèi)，目前僅中美合資內(nèi)蒙古大陸電子材料有限公司獨家引進了SCC的工藝包：值得一提的是，PPP/PPPE的共同投資商是美國KIG國際公司，這家公司在硅材料行業(yè)具有30多年經(jīng)驗及令人尊敬行業(yè)地位。在PPPE的意大利工廠里和技術(shù)人員就設(shè)備驗收做交流在PPPE的制造廠里驗收還原爐和氫化爐電氣控制設(shè)備而見證和參與美國多晶硅這三個階段全過程的就是PST公司—美國多晶硅技術(shù)有限公司的掌門人—Leo C Rogers先生。上海棱光實業(yè)有限公司在上世紀七十年代引進的美國摩托羅拉公司淘汰下來的年產(chǎn)150噸多晶硅工廠的二手設(shè)備，就是出自Leo C Rogers先生之手。鎖港有一個船閘，據(jù)說這是當時最大的船閘，這個船閘曾經(jīng)令鎖港人著實自豪過一陣，至今仍在使用，也是鎖港的一個景點，這個船閘也許暗涵著“鎖港”這個地名的來歷。鎖港有一家從事化工氣體分離的、很不起眼的小公司，只有30人左右，進去后看到上班工作的人數(shù)不會超過10人。 液化天然氣凈化系統(tǒng) 氫氣凈化及回收系統(tǒng)這是CDI辦公室不起眼的大門業(yè)內(nèi)人士稱她為“大CDI”，而把布法羅的CDI稱之為“小CDI”。讓我們就沿著這條線出發(fā)，看看能發(fā)現(xiàn)一些什么：從西雅圖開車約3小時就可以到達華盛頓州Grant郡的Moses Lake，這是一個只有18310人口的小城：這是半沙漠地區(qū)，本應(yīng)是一個缺水的區(qū)域。當時，這里曾經(jīng)是美國西部最大的銅都。而這些離職人員有不少日后成為全球多晶硅狂潮中炙手可熱、身價不菲的行業(yè)精英，其中一些為國人所熟悉。Missoula市中心在休倫湖一側(cè)有一個美麗的湖灣，名叫Saginaw灣，這里又是一處多晶硅藏龍臥虎之地。來到Midland，我作為一個化工大學畢業(yè)的工程技術(shù)人員帶著一種敬仰的心情首先拜訪了這家年營業(yè)額達600多億美元、有4萬3千多名員工的老牌化工企業(yè)。硅粉的存儲與干燥裝置由于這兩家工廠的落戶，這里衍生出了化工園區(qū)以及一大批靠這兩家企業(yè)贏利的服務(wù)商?；て肺锪鞴具@個廠與所在地同名，它就是全球著名多晶硅生產(chǎn)企業(yè)赫姆洛克半導體有限公司，英文縮寫HSC。和HSC“墻對墻”的道康寧三氯氫硅中轉(zhuǎn)庫TCS精餾塔群Cabot（卡博特）是一家氣相白炭黑制造商，它所用的原材料正是道康寧和HSC的副產(chǎn)物四氯化硅。線的兩側(cè)，這是偶然的巧合還是因為資源和自然地理環(huán)境而做出的必然選擇？這和美國早期多晶硅企業(yè)前赴后繼、勇于進取而奠定下來的厚實基礎(chǔ)分不開的。一批中國留美學生借助全球多晶硅浪潮，也在這個自由開明的舞臺上演出了一幕幕波瀾壯闊的活劇?，F(xiàn)代多晶硅工廠的基本構(gòu)成sog所以國內(nèi)很多聲稱電子級的多晶硅工廠，實際上是流于口號，投資人和建廠人壓根就沒有想過要建成一個真正的電子級多晶硅工廠。用于做CPU的高純硅料，全球的需求量也就1萬多噸，重點集中在23個廠家采購。多難??！所以不要輕言建電子級多晶硅工廠，即便要建電子級多晶硅工廠也要把級別搞清楚，做細致的市場調(diào)研、工藝技術(shù)研究和投入產(chǎn)出論證，否則極易虧損，達不到建廠目的。太陽級（SOG）多晶硅在業(yè)界沒有統(tǒng)一的標準，SOG多晶硅和EG多晶硅也沒有明確的界限。下面分享國外一些用戶對SOG多晶硅的指標要求（摘錄）：否則，高額的固定資產(chǎn)折舊，低下的產(chǎn)出投入效率，會壓垮很多企業(yè)。比如：ASiMI對用于直拉單晶（CZ）的塊狀（Nugget）多晶硅分為：超純級（ultrapur grade）、無金屬級（metalsfree grade）、標準級（standard grade）和光伏級（PV grade）。建綠色的多晶硅工廠：很多學生家長都熱衷于為自己的孩子打聽“目前學什么專業(yè)最熱門”，可以毫不猶豫的回答“綠色技術(shù)—Green Technology”！建設(shè)多晶硅工廠也不例外，要建就建一個綠色的多晶硅工廠。后面兩個系統(tǒng)是作為應(yīng)急方案。這里有大型煉油廠、采油設(shè)備工廠、石油化工設(shè)備制造企業(yè)和800家以上與石油有關(guān)的公司和機構(gòu)。同時，也和多晶硅工藝包提供商合作為國內(nèi)完成了第一套“熱氧化工藝處理氯硅烷殘液+HCl回收裝置”的工藝包和基礎(chǔ)設(shè)計資料。：耐腐蝕高溫旋流自冷卻燃燒器現(xiàn)場考察化工殘液處理及回收的中試裝置1）硅芯沉積法；本文重點談?wù)動霉栊境练e工藝（Filament Deposition）制備高純度多晶硅。這種方法也叫化學汽相沉積（CVD），這種鐘罩式容器也叫CVD反應(yīng)器，也就是我們常說的還原爐或裂解爐（硅烷裂解爐也是一種CVD反應(yīng)器）。2）從生產(chǎn)成本來看：硅烷的成本最高，二氯二氫硅次之，三氯氫硅最低，基本是硅烷裂解生產(chǎn)成本的50%多一點。6）從沉積速率來看：三氯氫硅沉積速率最快，二氯二氫硅次之，硅烷最慢。以三氯氫硅為原料的鐘罩式CVD反應(yīng)器實物（攝于PPPE意大利工廠）目前，四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅比較成熟的工藝無非就是以下兩種：一、高溫低壓工藝，即所謂的熱氫化：工藝原理：經(jīng)氯硅烷分離提純工序精制的四氯化硅，送入氫化工序的四氯化硅汽化器，被熱水加熱汽化。在氫化爐內(nèi)通電的熾熱電極表面附近（1250 C176。出爐筒夾套的高溫熱水送往熱能回收工序，經(jīng)廢熱鍋爐生產(chǎn)水蒸汽而降溫后，循環(huán)回本工序各氫化爐夾套使用。以上，超過了碳鋼的石墨化溫度。應(yīng)當說，國內(nèi)自主開發(fā)冷氫化的基礎(chǔ)不一定比國外的差，尤其是性價比我個人認為肯定是優(yōu)于國外現(xiàn)有的工程公司，關(guān)鍵看業(yè)主如何組織和整合。當然實際系統(tǒng)比這個要復(fù)雜很多，包括硅粉稱重、配比及加料系統(tǒng)、含硅粉殘渣的廢棄氯硅烷處理系統(tǒng)、加壓及冷凍裝置等，必要時還要增加精餾提純系統(tǒng)。下圖顯示了多晶硅生產(chǎn)過程中的六個主要步序，其中有四個步序（6）都涉及到流化床技術(shù)：早在七十年代美國政府就啟動了一個國家級項目，旨在把當時超高純硅的生產(chǎn)成本下降90%以上。這個項目的最后一個步序4從硅烷SiH4到多晶硅，當時UCC迫于時間上的壓力，采用了日本小松（Komatsu）的CVD工藝，即硅烷裂解后在熾熱硅芯上沉積多晶硅（上圖步序5）。投入流化床的多晶硅粉末作為籽晶，產(chǎn)生的粒狀多晶硅的平均尺寸為8001500μm，此時反應(yīng)接近平衡，據(jù)報道此工藝電耗為每公斤多晶硅120MJ，下圖是為該工藝所設(shè)計的多種流化床反應(yīng)器之一的示意圖。