【正文】 入感應槽的速度。9. 按上述順序操作，將浮球所測比重顯示於控制器上。2. 需進行DES首件製作及檢查，沒有問題才可進行量產(chǎn)。(2) 首件檢查依工單及製程管控表要求、量測線距、線寬符合要求才可進行量產(chǎn)。1kg/cm2；177。；顯影後中檢段放入蝕刻，2oz/1oz：(特殊蝕刻) 第一槽上噴全開、第一槽下噴全關(guān)、177。1. 當警示燈亮起時查看是那一段，並依警示燈做復歸及添加。3. 確認噴嘴無阻塞。1. 檢查吸水滾輪濕潤而無殘水。1. 去膜液鹼濃度：～﹪。1. 將清水加入標準位置。1. 每班添加。1. 檢查吸水滾輪濕潤而無殘水。1. 確認銅面是否有烘乾不良而造成氧化。3. 板材是否會透光。1. 上下沖模必須調(diào)整於同一位置上及卡榫必須卡於凹槽內(nèi)，以避免沖針斷裂。【內(nèi)層沖孔記錄表】【PSC05F22】1. 核對工單料號版序與待測板料號版序是否相符。1. 實際板厚加3～10㏕均為理想之設定範圍。9. 操作人員應熟悉正確操作程序，以確保人員操作安全。4. 每一個治具都必須附有測試程式及點位圖。1. 核對工單料號與待檢修板料號是否相符。2. 點檢表。5. 電測完後之問題板將問題點之點位由印表機列印出來附於問題板上交由O/S檢修人員找點檢修。工單5. 表單與記錄保存期限：51. 內(nèi)層基板進料檢驗與轉(zhuǎn)入記錄（PSC05F136）。55. 內(nèi)層DES線生產(chǎn)作業(yè)及自主檢驗報表（PSC05F132）。附件51：內(nèi)層基板進料檢驗與轉(zhuǎn)入記錄。首 件 檢 查 表(含樣品記錄)日期 DATE料 號P/NERV層別抽樣數(shù)SAMPLE Q39?！跞瞻?day) □夜班(night) 年(Y) 月(M) 日(D)A作業(yè)開始時間Start Time料號Part No.批號Lot No層別批量生產(chǎn)數(shù)樣品首件檢查數(shù)量自主檢查數(shù)量AOI檢查人工檢查速度銅厚(OZ)銅厚(mil)1234567線寬規(guī)格B顯影蝕刻去膜斷路短路缺口殘銅層間對準度縮影導體破洞ABABAB總計PSC05F132 審核： 作業(yè)者工號： 姓名：附件56：內(nèi)層VRS/目視檢驗檢驗報表。58. 沖孔記錄表（PSC05F22）。54. 內(nèi)層曝光作業(yè)及自主檢驗報表（PSC05F135）。序號流程產(chǎn)品、設備、製程重要之管制特性／作業(yè)條件參數(shù)作業(yè)標準／重點／注意事項首件、自主、必要檢查／檢查方法、工具、頻率相關(guān)文件、表單、推移圖、SPC1. 檢查生產(chǎn)流程管控表上之作業(yè)日期時間、數(shù)量、檢驗量測記錄及作業(yè)者是否都有填寫並過帳。、並以紅色三角標籤標示打線位置。6. 檢查CCD光源是否足夠。1. AOI之完成板同一批量，工單應隨PCB用藍色內(nèi)層平?；@裝好放置於待VRS區(qū)。2. 使用膠帶及螺絲將治具固定於機臺上，必須固定牢固，否則會影響往後測試之準確性。7. AOI檢測之人員於收放板時應輕拿輕放，避免板面刮撞傷造成斷路及缺口。1. 工單。1. 同一批量，工單應隨PCB，並以藍色內(nèi)層平?；@裝好放於沖孔完成區(qū)或待AOI區(qū)待測AOI。1. 工單。1. 檢查鉚合孔是否會破邊。10℃。2. 每班更換清水。1. 槽體積：300公升添加硫酸98％ ㏄?！舅幩治鼋Y(jié)果與添加量報告】【PSC06F87】～101. 177。㎏/㎝2。1. 確認參數(shù)是否在設定內(nèi)。1. 將清水加入標準位置。2. 蝕刻後發(fā)現(xiàn)蝕刻不淨，輕微可以微蝕，但線寬線距應符合工單要求。；：177。5。酸性正片蝕刻，由p side面朝下蝕刻第一次，sold side面朝下蝕刻第二次。2. 異常時紅燈是否有亮。7. 按corr。d. 溫度控制：50177。2. 修補完成乾燥後抽2 PNL蝕刻後以50倍高腳鏡自主檢查修補之位置是否完全。2. 乾膜修補使用印刷油墨。2. 確認循環(huán)水是否打開。3. 氯化銅試驗：將顯影完之PCB泡在氯化銅3sec輕輕搖晃，拿起無亮點，則表示無顯影不良。PEMYLAY作業(yè)方向應由左邊往右邊拉起作業(yè)。2. 每次添加顯影液，須確認攪拌器是否正常運作。酸鹼度電極校正：1. 按下stdby健，chk是否在ph測量檔。6. 藥水液位不可超過水洗槽。2. 開啟加熱器前先檢查液味是否在配槽液位高度。4. 所有內(nèi)層板如果是假層均應以目視檢查進行首件檢查／末件檢查／自主檢查，看是否有銅面破洞之情形。2. 搬運時輕拿輕放，避免將乾膜刮傷。6. AOI首件檢查人員如發(fā)現(xiàn)有對準度不符合規(guī)格時，應向單位幹部或主管反應是否可作業(yè)。1. 曝光完應在72 hr內(nèi)顯影蝕刻，超過應退洗重工。自動每30片使用黏塵滾輪清潔以減少落塵造成的缺口、及斷線1. 在曝光畫面，將底片清潔設定作業(yè)30片後停機清潔後按重新啟動才可再繼續(xù)曝光作業(yè)。 2. 兩片偵測是否正確，警示是否會響。2. 黑色底片曝光數(shù)，2500～3000PNL。2℃，相對濕度55177。2. 註明壓膜日期、時間、乾膜型號。2. 壓膜滾輪於每卷膜用完即用無塵紙沾酒精擦拭乾淨.1. 依點檢表點檢及一般保養(yǎng)做保養(yǎng)。9. 壓膜後板溫度50177。3. 壓著計時2177。1. 定位速度2～3sec。.1. 板溫預熱:60177?；鍖挾龋娇蓧浩瑪?shù)。2. 作業(yè)中途發(fā)生停頓，可暫時將PCB儲放。序號流程產(chǎn)品、設備、製程重要之管制特性／作業(yè)條件參數(shù)作業(yè)標準／重點／注意事項首件、自主、必要檢查／檢查方法、工具、頻率相關(guān)文件、表單、推移圖、SPC1. 烘乾溫度：100177。.2. 清潔板面，避免各藥水槽藥水帶入。（w1w2）92900/420＝微蝕速率（標準10～30μ）4. 作業(yè)中如遇卡板時應先將傳動停止，並將所有藥水、及水洗開關(guān)停止，打開相關(guān)作業(yè)蓋子、取出板子後，至品保設有cmi面銅量測區(qū)全檢量淵。1. 將清水加入標準位置2. 確認循環(huán)水是否打開。序號流程產(chǎn)品、設備、製程重要之管制特性／作業(yè)條件參數(shù)作業(yè)標準／重點／注意事項首件、自主、必要檢查／檢查方法、工具、頻率相關(guān)文件、表單、推移圖、SPC1. 溫度控制：30177。2. 投入放板由計時器依基板寬度設定延遲時間放板。4. 只有經(jīng)單位主管訓練並認可之作業(yè)人員，才可進行藥液添加，以免發(fā)生意外。4. 課長及組長應了解每一個工作人員之專長，對於安排上線之料號，應安排適當?shù)娜俗鳂I(yè)。工單1. 檢查板面及孔邊是否有毛屑、顆粒、刮傷、撞傷、沒R角。槽體積：300公升。槽體積：1400Ｌ。2. 溫度：55177。2. 清除槽底污垢。槽體積約1000Ｌ。CO32：9～12 g/l。製程管控項目換槽／添加規(guī)定配槽量配槽說明酸洗槽換槽：（每班）1. 漏掉槽液。1. 將微蝕槽加入純水400公升。2℃換槽：（銅含量達35 g/l）1. 漏掉槽液。製程管控項目換槽／添加規(guī)定配槽量配槽說明脫脂槽換槽：（每星期）1. 漏掉槽液。2. 範圍：本操作規(guī)範適用於內(nèi)層課作業(yè)人員，於作業(yè)內(nèi)層板時使用。注意事項：1. 加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。5. 每日取樣依化驗室分析數(shù)據(jù)添加。3. 倒入硫酸50﹪2桶50㎏。注意事項：1. 加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。3. 待清洗完畢後，漏掉清潔劑，加入清水清洗2次，每次30分鐘，完成後更換濾心，即完成洗槽。2. 當完成配槽後、人員需做最後確認、開啟攪拌開關(guān)時、一定要打開預備槽，槽蓋確認攪拌器是否有動作，避免顯影濃度不均。注意事項：1. 加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2. 加入防白水40L，加滿水，空Run1小時。製程管控項目換槽／添加規(guī)定配槽量配槽說明抗氧化槽換槽：（每班）4. 漏掉槽液。先注入純水至槽內(nèi)1/2水位再倒入硫酸98％ 1 gal及抗氧化劑30㏄，再將水加入標準位置。1. 工單。3. 任何槽別補水時，人員不可離開。生產(chǎn)前準備與檢查事項：1. 確認所有藥水槽溫度、槽液液位是否到達設定值，（所有濃度、溫度、藥水添加均須記錄備查）。將第二片同樣放置在檢測sensor，按set2待out2燈閃爍，記憶（ch）閃爍完成第二片設定。1. 去除裸銅板上之污垢及油脂。1. 177。㎏/㎝21. 去除銅面上之氧化2. 確認噴嘴無阻塞。1. 檢查吸水滾輪濕潤而無殘水。1. 確認銅面是否有烘乾不良而造成氧化。鑽孔鍍銅or盲埋孔使用115外層乾膜。2. 檢查乾膜保存期限是否在6個月內(nèi)。5℃。序號流程產(chǎn)品、設備、製程重要之管制特性／作業(yè)條件參數(shù)作業(yè)標準／重點／注意事項首件、自主、必要檢查／檢查方法、工具、頻率相關(guān)文件、表單、推移圖、SPC1. ～。；177。壓膜滾輪每班以酒精清潔並檢查，有無刮痕壓膜滾輪每班以酒精清潔並檢查，有無刮痕、凹陷，有即更換，避免影響壓膜品質(zhì)。1. 翻板作用，是使壓膜後，迅速散熱，使之定形，不易流膠。1. 人員自收板機上將壓完之板子，由收板機上搬至臺車每50 PNL為一單位整齊排放在臺車上。1. 工單與底片核對需相同，其項目包括:板序、層別、發(fā)料尺寸、發(fā)料基材、板厚、銅厚。2. 基板輸送速度1030刻度。1. 清潔除塵，避免曝光前毛屑、髒點帶入。2. 確實清點每批批號數(shù)量、層別數(shù)量、OK後放置完成區(qū)待DES。1. 曝光人員於首/末件及批量100 PNL時各取2 PNL AOI自主檢查，如有固定缺口、斷線、則需顯影後補膜，補膜完畢確認線寬是否符