單晶制絨設(shè)備培訓(xùn)ppt課件(存儲(chǔ)版)
【正文】 概 述? 第一部分：?jiǎn)尉逑丛O(shè)備的組成? 第二部分：?jiǎn)尉逑丛O(shè)備的開(kāi)機(jī)? 第三部分：?jiǎn)尉逑丛O(shè)備操作? 第四部分：?jiǎn)尉逑丛O(shè)備的關(guān)機(jī)單晶清洗設(shè)備的組成一、單晶制絨機(jī) 單晶制絨槽式主體 /一臺(tái) 上下料臺(tái) /各一個(gè) NaOH、 IPA補(bǔ)液系統(tǒng) /一套 純水預(yù)熱槽 /一個(gè) 電控柜 /一個(gè)二、酸洗機(jī) 酸洗槽式主體 /一臺(tái) 上下料臺(tái) /各一個(gè) 電控柜 /一個(gè)三、去 PSG機(jī) 去 PSG槽式主體 /一臺(tái) 上下料臺(tái) /各一個(gè) 電控柜 /一個(gè)四、甩干機(jī)單晶清洗設(shè)備功能介紹單晶槽式制絨機(jī)： 用堿性溶液（ NAOH）清洗硅片表面的污 損， 并在硅片表面刻蝕出金字塔形的絨面。時(shí)間、溫度、速度設(shè)置 單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作第三步：設(shè)置好工藝參數(shù)后，點(diǎn)擊 “返回 ”按鈕，即可返回主菜單，然后點(diǎn)擊 “報(bào)警畫(huà)面 ”，確認(rèn)是否有報(bào)警。 單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作鼓泡加水手動(dòng)畫(huà)面 手動(dòng)補(bǔ)液設(shè)置點(diǎn)擊 “鼓泡閥 ON”或 “加水閥 ON可對(duì)所需槽進(jìn)行鼓泡或加水。DI水閥CDA閥N2閥 甩干機(jī)運(yùn)行及操作第一步：打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，在觸摸屏 “參數(shù)設(shè)置 ”畫(huà)面中設(shè)置工藝參數(shù)，并點(diǎn)擊 “低溫開(kāi) ”、 “高溫開(kāi) ”按鈕。?That’s all .Thank you. / 謝謝 ，再見(jiàn)。正面圖 背面圖中聯(lián)酸洗機(jī)熱風(fēng)烘干系統(tǒng)加熱鼓風(fēng)設(shè)備中聯(lián)酸洗機(jī)的運(yùn)行操作打開(kāi)電源后，按觸摸屏下方的 “電源啟動(dòng) ”按鈕，啟動(dòng)后按 “運(yùn)轉(zhuǎn)準(zhǔn)備 ”按鈕，等待觸摸屏進(jìn)入操作主畫(huà)面。 單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作第五步：進(jìn)入 “主菜單 ”，點(diǎn)擊 “系統(tǒng)啟動(dòng)畫(huà)面 ”在
范文總結(jié)相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1