鉭靶材、鉭環(huán)件成品加工技術(shù)改造項目建議書(存儲版)
【正文】 ??????????? 20 切入市場價格情況?????????????????? 20 七、安全與環(huán)境評價 ????? ??????????????? 20 八 、項目風(fēng)險分析????????????????????? 21 附件 1： 主管部門簽字 ?????????????? ????? 22 附件 2：靶材廠房規(guī)劃平面示意圖?????????????? 23 4 一、項目的意義和必要性 項目意義 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進步，計算機芯片集成化程度越來越高，當(dāng)芯片線寬由原來的 180～ 130nm 減小到 90～ 45nm 時，會出現(xiàn) Cu 鍍膜中的 Cu 向 Si 片的原子擴散現(xiàn)象，為改變此現(xiàn)象，芯片鍍膜工藝上就采用了 Ta 來作為防止 Cu 向 Si 擴散的阻擋層材料，從而也使得濺射靶材由原來的 Al/Ti 系列向 Cu/Ta 系列發(fā)展，這也是半導(dǎo)體芯片鍍膜技術(shù)發(fā)展的必由之路，因此，半導(dǎo)體濺射用高性能鉭靶材及環(huán)件產(chǎn)品，就成為了計算機芯片鍍膜的關(guān)鍵耗材之一。所以，我們進行高性能鉭靶材和鉭環(huán)件的成品加工，不但可以提升我們企業(yè)的技術(shù)水平，增加利潤，增強抵御市場的風(fēng)險能力，完善鉭材加工產(chǎn)業(yè)鏈，還可以為中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供堅實的材料基礎(chǔ)，意義重大。中色 XX 集團已經(jīng)以項目主承擔(dān)單位的身份，和其他八家企業(yè)和大學(xué)聯(lián)合承擔(dān)完成國家在 Al、 Ti、 Cu、Ta 超高純大尺寸靶材產(chǎn)業(yè)技術(shù)開發(fā)項目。 取得的技術(shù)突破： 化學(xué)成份和力學(xué)性能均符合 ASTM B 7082021 標準，其中： 7 純度：≥ % 晶粒度：控制在 40μ m～ 75μ m 之間，并且均勻一致； 再結(jié)晶度：≥ 98%； 平整度：≤ ； 粗糙度： Ra≤ m； 結(jié)晶取向：在厚度方向呈｛ 111｝＜ 112＞織構(gòu)。詳細銷售情況見表 22，表 23： 表 22 2021 年至 2021 年 9 月鉭條銷售表 項目 時間 2021 2021 2021 2021 2021 合計 重量（ Kg） 銷售額（萬元） 表 23 2021 年至 2021 年 9 月鉭環(huán)件銷售表 項目 時間 2021 2021 2021 2021 2021 合計 重量（ Kg） 銷售額（萬元） 高性能能鉭靶材和鉭環(huán)件成品加工技術(shù)基礎(chǔ) 通過自治區(qū)科技攻關(guān)項目“高性能鉭靶材成品加工工藝研究”和公司科技攻關(guān)項目“ U 型鉭靶材生產(chǎn)工藝研究”、“濺射鉭環(huán)件生產(chǎn)工藝研究”，獲得成品鉭靶材、 U 型鉭靶材和鉭環(huán)件的加工工藝。 取得的技術(shù)突破 鉭環(huán)件內(nèi)外表面滾花工藝，獲得 80TPI 菱形花紋，并均勻； 鉭環(huán)件端頭滾花工藝，獲得 80TPI 菱形花紋，和表面花紋一致； 鉭環(huán)件和鉭凸結(jié)體焊接工藝， 焊接滿足 AMS 2681A 標準 ； 清洗、噴砂工藝，滿足美國應(yīng)用材料公司標準。 焊接后靶材成品車削 3 數(shù)控車床（?。? 1 臺 回轉(zhuǎn)直徑 160mm通用臥式數(shù)控車床。熱等靜壓機和三座標檢測設(shè)備現(xiàn)在公司都有，可共用。 50% 1800） （ 7247。 50% 1800） （ 247。 盈虧平衡分析 正常生產(chǎn)年以生產(chǎn)能力利用率計 算的盈虧平衡點為 13%，即技術(shù)改造項目完成后達到設(shè)計能力的 13%（銷售 13 套靶材， 26 套環(huán)件）即可達到不盈不虧。 TSMC（臺積電）：靶材約 800 塊 /年，環(huán)件約 1600 件 /年，產(chǎn)值約 億。 切入市場價格情況：（以一種規(guī)格的產(chǎn)品舉例） 鉭靶目前市場上的采購價格是 $11500/塊，我們最低以 $8625/塊切 入； 鉭環(huán)目前市場上的采購價格是 $8800/件，我們最低以 $6600/件切入。由于半導(dǎo)體行業(yè)的特性，一般情況他們不會輕易改變供應(yīng)商，除非出現(xiàn)成本壓力、政策導(dǎo)向或較強的人脈關(guān)系。 項目產(chǎn)品屬公司自主研發(fā)的高新技術(shù)產(chǎn)品，技術(shù)含量高，且技術(shù)已經(jīng)成熟，沒有技術(shù)風(fēng)險。 臺積電公司： 是全球最領(lǐng)先、規(guī)模最大的專業(yè)集成電路制造服務(wù)公司， 1987 年成立于臺灣，在大陸有其獨資子公司“臺積電 上海有限公司”。 100 100%=15% 項目完成后可實現(xiàn)新增產(chǎn)值 一期完成后，按照 100 件鉭靶材， 200 套環(huán)件計算，預(yù)計可實現(xiàn) 18 新增產(chǎn)值約 2021 萬元，二期完成后 ，按照 500 件鉭靶材， 1000 套環(huán)件計算，預(yù)計可實現(xiàn)新增產(chǎn)值約 1 億元。 每套靶材的水電汽成本 =20247。 45% 90） （ 247。 投資使用方案 投資構(gòu)成 投資 構(gòu)成見表 41： 表 41 投資構(gòu)成表 五、經(jīng)濟效益分析（一期） 成本計算 序號 設(shè)備名稱 數(shù)量 用途 金額（萬元） 1 電子束焊機 1 臺 U靶焊接及環(huán)件焊接 180 2 數(shù)控車床（大） 2 臺 焊接后靶材成品車削 160 3 數(shù)控車床（?。? 1 臺 鉭環(huán)用鉭凸結(jié)體成品車削 50 4 鏜銑加工中心
法律信息相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1