【正文】 VERIFICATION (SETUP GAUGE 50g mass) 調(diào)整步驟 : 4. 進(jìn)入 MAIN menu ? Setup menu ? Calibration menu ? Bond Force Calibration ? Force Calibration ? Force Calibration(2) 5. 移開 ETorch固定座和壓板 (Window Clamp) 6. 將 50g mass 套在 Transducer 上面并鎖緊 7. Bondhead 移至熱板上方并按 ”ENTER” 鍵 , 將 Capillary接觸到熱板 8. 等待機(jī)臺校正完畢后 , 按任何繼續(xù)下一步驟 9. 按 ”3” 輸入接觸補(bǔ)償數(shù)值 50g mass 移開 檢查步 驟 : 1. 按 ”2” (Verification)做驗(yàn)證 2. Bondhead 移至熱板上方并按 ”ENTER” 鍵 , 將 Capillary接觸到熱板 3. 輸入力量數(shù)值 (正常值大約為 10~400g) 并按 “ENTER” 鍵 4. 使用 Gram Gauge 將 Transducer 向上提高測量 , 直到感應(yīng)器顯示「 open」為止 5. 讀取 Gram Gauge 上之測量數(shù)值是否在規(guī)格內(nèi) , 并請重復(fù)步 10 , 11 檢查二次以上 6. 檢查測量完畢后 , 請按 “STOP” 鍵回到 MAIN menu , 裝回 ETorch并重新調(diào)整 ETorch之位置 規(guī)格範(fàn)圍 : 0 ~ 200g = +/ 3g 200 ~ 400g = +/ 5g 33 WIRE CLAMP FORCE CALIBRATION 調(diào)整步驟 : 1. 進(jìn)入 Main menu ? Setup menu ? Calibration ? Wire Clamp Calibration 2. 將顯微鏡提高 , 使其能看到 Wire Clamp前端 3. 用 gram gauge 測量 Wire Clamp活動邊的力量 步驟 (1) : 測量數(shù)值大約為 35g , 并輸入實(shí)際測量數(shù)值 步驟 (2) : 測量數(shù) 值大約為 125g , 并輸入實(shí)際測量數(shù)值 步驟 (3) : 測量數(shù) 值大約為 200g , 并輸入實(shí)際測量數(shù)值 4. 校正完畢后請按 STOP 回到 Main menu C h a n g eI n itial Sp r in gE v e r y Y e a r 34 WIRE CLAMP OPENING GAP CHECK amp。 3. 調(diào) 整至接觸面沒有空隙后 , 將 Clamping screw 用 鎖緊（如圖四）。R Yele (2) 調(diào)整 Y motor的補(bǔ)償值 3. 進(jìn)入 WH menu? Service, 設(shè)定 mag clamp in Y=250 (130 default) mag clamp open (Y)=170~200 (100 default) 1~ ~1 24 TRANSDUCER 水平之檢查與校正 安裝步驟： 1. 將加熱器（ Heater Block）關(guān)閉。 6. 如果沒有 ,請重復(fù)步驟 2,3,4。CALIBRATION 檢查步驟： 1. 進(jìn)入 WH menu?Diagnostic?Mv Mtr Home 2. 選擇 Lindex 或 Rindex,將 indexer 歸位。 2. M1 和 M2 之間的差應(yīng)該小一點(diǎn)，如此才能在輸送（ index）不準(zhǔn)確漏真空時，讓感應(yīng)器的警報(bào)器快速反應(yīng)。 (圖一 ) 4. 關(guān)閉熱壓板 ,檢查調(diào)整后之位置是否正確 ,如正確請將 SCREW A amp。 2. 前后水平調(diào)整： 放松 SET SCREW二個固定螺絲 ,調(diào)整 SCREW Camp。 調(diào)整步驟 : 1. 將固定熱板基座之 2 個螺絲放松 2. 使用 “一 ” 字起子調(diào)整基座高度之 OFFSET PIN 3. 重新測量基準(zhǔn)平面熱板之高度是否正確 4. 如高度調(diào)整正確后 , 固定 OFFSET PIN 并鎖緊 2 個固定螺絲 5. 進(jìn)入 Main Menu ? Shift + O/C Trk 將軌道關(guān)閉 10 WINDOWS CLAMP HOLDER 校準(zhǔn) 檢查 window clamp holder plate 水平 1. 拆 下 window clamp holder 2. 拆下 transducer capillary tool 并裝上 window clamp holder plate alignment jip (Part NO. P26D89007 , P26D89008 , 2677741 ) 3. 重復(fù) 熱板檢查水平步驟 的 2,3,4 4. 進(jìn)入 Set up menu Ctact search 5. 移動 Table 使 capillary tip 在 window clamp holder plate 正上方 6. Press “ 1” ( Ctact die ) Bond head 將會作 contact 并顯示 Contact Level 7. 檢查 window clamp plate 四個角落 contact level 不可超過 3 parameter step , 異常請調(diào)整 檢查 window clamp holder 彈力 1. 拆下 window clamp 使用 Push Pull Gauge 測量 left / right spring force 達(dá)到 1 Kg 檢查 window clamp level 1. indexing L/F 至軌道中 2. 調(diào)整 window clamp 高度使 window clamp holder 壓制鋼珠的平面 (SURFACE A)與 SURFACE B 對齊 11 完成圖 SURFACE A SURFACE B 12 壓板高度及水平檢查與調(diào)整 檢查步驟： 1. 確認(rèn)熱板之位置與高度均在正確位置。 4. 再放入厚薄規(guī)檢查。 ,推或拉導(dǎo)線架 ,其讀數(shù)不可小于 350g。 SCREW B。 SCREW A amp。 (leadframe)于軌道內(nèi)的預(yù)熱區(qū)。 3. 如果間隙不正確則須松開 SCREW B 調(diào)整 HOOK 位置。 3 右邊輸送器右爪之力量檢查與調(diào)整 M2 .6 SO C H D SCREWADJ UST N U TSO L E NO I D P ADHOOKSP RINGSH AF TE DG E AUP P E R J AWL O WE R J AWSCRE W BSCRE W A 檢查步驟： (leadframe)約 。 調(diào)整步驟： ( 閉合位置調(diào)整 ) 1. 檢查上下勾爪是否密合 (無導(dǎo)線架時 ), 如沒有密合須將 SCREW A 的兩個螺絲松開調(diào)整。 VERIFICATION (SETUP GAUGE 50g mass)…………………………………. 32 WIRE CLAMP FORCE CALIBRATION…………………. 33 WIRE CLAMP OPENING GAP CHECK amp。 CALIBRATION………….. 20 ALIGNMENT OF ELEV amp。 2 左邊輸送器左右爪及右邊輸送器左爪之力量檢查與調(diào)整 SC R EW ALO WER J A WHOOKSC R EW B 檢查步驟： (leadframe)約 。 2. 移動厚薄規(guī)檢查間隙是否正確。 3. 啟動電磁閥檢查力量是否正常 ,并視情況調(diào)整電磁閥高度。 2. 調(diào)整滑輪至適當(dāng)位置 ,并鎖緊 SCREW A。 SCREW B。 ,則須調(diào)整平臺之高度。 。 ( 打開位置調(diào)整 ) 1. 放入 之間。 5. 移動 XY table 使 Bondhead 置于基準(zhǔn)平面熱板上方。 2. 調(diào)整至熱壓板之間沒有空隙。 調(diào)整步驟： ( 前后調(diào)整 ) 1. 打開熱壓板。 (圖二 ) 4. 關(guān)閉熱壓板 ,檢查調(diào)整后之位置是否正確 ,如正確請將 SCREW B amp。 4. 移開導(dǎo)線架，記錄讀數(shù)，讓讀數(shù)保持為 “–22”。 3. 用手移動調(diào)整 indexer 至正確位置。 ELEV CTR ALIGN JIG ASSY于升降臺 (Elevator) 中 2. 調(diào)整 JIG 與升降臺 Y軸之黑色橡皮墊（已先接觸到的橡皮墊為準(zhǔn)）的間距必須為 3. 放入 W/H SETUP GAUGE于 JIG 與軌道 (WorkHold) 中間 ,移動 JIG 檢查升降臺是否與軌道平行 調(diào)整步驟 : 1. 將 Elevator之 Kicker module 拆下 2. 放松升降臺之固定螺絲 3. 手動調(diào)整升降臺之前后與角度 ,讓 W/H SETUP GAUGE 能在 JIG 與軌道中間平順移動 4. 鎖緊升降臺之固定螺絲 5. 重新調(diào)整升降臺之定位板 SETUP ELEVATOR XAXIS amp。 6. 用手將 Transducer 下壓至香菇頭與標(biāo)準(zhǔn)平臺 ()接觸為止。 Pg Up”調(diào)整 BondHead 高度 ,讓 Capillary能夠置放于Step Gauge “” 的位置 (此時 Bond Head Position約為 320~300,倘若此時 Capillary無置放于Step Gauge “” 的位置 ,請重復(fù) Step3 , Step4) ”Enter” 使其 Bond Head 執(zhí)行校正 (Spec:2500+4) , 倘若校正數(shù)值不在 Spec 內(nèi) , 調(diào)整Sensor amp的 Trim POT旋鈕 , 同時重復(fù) Step8 , 直到合于 Spec (至少重復(fù) 5次以上 , 并且每次都須合于 Spec) 9. 按 ”3”選擇 ”Verification , 按 ”Pg Dn amp。 C 鎖緊 S C R E W BS C R E W CE T OR C H T I P 38 OPTICAL ALIGNMENT 調(diào)整步驟 : Main menu ? Setup menu ? Bond Tip Offset “1” 「 Press 1 to enter offset」輸入補(bǔ)償基本數(shù)值 Enter Offset X : 18000 Enter Offset Y :– 2020 “ENTER”「 Press ENTER to continue」做對針印 (capmake) 之動作 XY Table 歸位 Capillary 移動至釘腳上方并按 “ENTER” 作一個針印 XY Table Optical 的四個固定螺絲 Optical 的位置使屏幕上的十字坐標(biāo)對準(zhǔn)針印中心 Optical 的四個固定螺絲 , 并按 “ENTER” “ENTER” 重作一次 Bond Tip Offset , 此時須使用軌跡球?qū)?XY Table 移動對正針印中心 , 請按 “STOP” 回到 MAIN menu 四個固定螺絲 39 XY TABLE VERIFICATION AND TUNING 檢查步驟 : Main menu ? Setup menu ? Calibration menu ? Tune Table 「 Tune X Axis」或「 Tune Y Axis」 ( password : 3398 ) , 按 “3” ( Verification )做驗(yàn)證檢查 , 驗(yàn)證結(jié)果會顯示于屏幕上 ( 如圖所示 ) A , B : Pass , C : Fail Block 驗(yàn)證結(jié)果為 ”C”, 則必須做調(diào)整