先進(jìn)表面工程技術(shù)ppt課件-免費(fèi)閱讀
【正文】 ? 其優(yōu)點(diǎn)是高的能量密度與低的總功耗、低的沉積溫度、低的內(nèi)應(yīng)力、良好的界面結(jié)合、有利于提高成品率，減少浪費(fèi)。 SiC、 GaN、 AlN膜 ? SiC膜具有優(yōu)越的高溫電子學(xué)性能， 90年代以來(lái)，SiC膜在硅片上的外延已成功，并實(shí)現(xiàn)了小批量生產(chǎn)，但價(jià)格十分昂貴，影響了其廣泛應(yīng)用。 ? 根據(jù)中國(guó)的現(xiàn)實(shí)情況， MCrAlY既用作熱障涂層的粘結(jié)底層，更多是單獨(dú)用作抗熱腐蝕涂層。 6 先進(jìn)表面工程技術(shù)的發(fā)展前沿 離子鍍高性能耐磨涂層 ? 作為離子鍍高性能耐磨涂層的一種類(lèi)型， TiN系多層硬質(zhì)膜正在向納米多層膜發(fā)展，其中包括 TiN／Ti(C， N)納米多層膜； TiN／ (Ti， A1)N納米多層膜， TiN／ CrN納米多層膜， Ti／ TiN納米多層膜，Ti／ Ti(C， N)納米多層膜 Ti／ (Ti， Al)N納米多層膜， Ti／ CrN納米多層膜。 ? 目前，納米薄膜技術(shù)已發(fā)展成納米科技重要組成部分，開(kāi)始為信息、生物、微電子、航天、航空、新能源、新材料等其它前沿及高新技術(shù)領(lǐng)域服務(wù)；為傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)改造服務(wù)，為推進(jìn)納米科技的發(fā)展作出了巨大貢獻(xiàn)。另一方面，高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)和傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的改造提升，為三大前沿及高新技術(shù)領(lǐng)域，提供了前所未有的巨大發(fā)展空間。 ? 脈沖等離子體鞘層中歸一化勢(shì)場(chǎng)分布的時(shí)間演變、 ? 脈沖等離子體鞘層輪廓的時(shí)空演變、 ? 鞘層中電子和離子密度的空間分布、 ? 鞘層中俘獲塵埃的密度分布等。 因而有可能逐步發(fā)展成更為常用的方法。 ? 如包鍍、熱浸、表面燒結(jié)。 ? 先進(jìn)表面工程技術(shù)在 高性能防護(hù)涂層 方面的應(yīng)用，仍在繼續(xù)發(fā)展，成為現(xiàn)代高新技術(shù)領(lǐng)域和先進(jìn)制造業(yè)的重要前沿之一。 ? 在先進(jìn)表面工程技術(shù)中采用遠(yuǎn)離平衡態(tài)鍍膜技術(shù)、等離子體技術(shù)、激光技術(shù)、納米技術(shù)等均取得了良好的應(yīng)用效果。 ② 顆粒沉積 ? 是指利用宏觀(guān)顆粒狀態(tài)的物質(zhì)，沉積所需薄膜的方法。 ? 薄膜技術(shù)和刻蝕技術(shù)從整體上構(gòu)成了當(dāng)代微細(xì)加工技術(shù)的主體，并提供了向納米加工進(jìn)軍的扎實(shí)可靠途徑。 ? 真空及氣體放電物理和技術(shù)的采用，是作好表面工程技術(shù)的關(guān)鍵。 ? 第三個(gè)層次是傳統(tǒng)科學(xué)技術(shù)，目前正處于急劇走向現(xiàn)代化的演變之中。 低維組元 ? 把具有上述尺寸效應(yīng)特征的物質(zhì)稱(chēng)為低維組元，納米厚度的薄膜為二維組元，納米纖維為一維組元，納米粒子為零維組元。 5 先進(jìn)表面工程技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化 先進(jìn)表面工程事例 ? 塑料薄膜或紙張基片上鍍鋁制成的薄膜電容器； ? 新型復(fù)合包裝材料； ? 老式鍍膜幕墻玻璃； ? 高效太陽(yáng)能薄膜集熱器； ? TiN系 (包括 Ti(c， N)、 TiC等高硬膜， (Ti， Al)N等抗高溫氧化膜， CrN耐磨耐蝕膜， ZrN高溫高強(qiáng)膜及其多層復(fù)合涂層 )耐磨涂層刀具、模具和量具； ? 液晶顯示器用 ITO透明導(dǎo)電膜。 燃?xì)廨啓C(jī)葉片
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