多晶硅生產(chǎn)工藝---改良西門子法-免費閱讀
【正文】 3) 該工藝中氨的循環(huán)量很大，需要補充大量的冷量，如何實現(xiàn)冷量和熱量的充分利用來降低能耗過高的問題需要做進一步改進。小松法制備硅烷工藝歷史上研究最多的工藝路線，實現(xiàn)過年產(chǎn) 5 噸規(guī)模的試驗性的生產(chǎn)裝置線。一般 3 到 5 年之內(nèi)會淘汰。氣態(tài)混合物的分離是復雜的、耗能量大的，從某種程度上決定了多晶硅的成本和該工藝的競爭力。 （ 3）第二步驟中產(chǎn)生的氣態(tài)混合物還需要進一步提純，需要分解 :過濾硅粉，冷凝 SiНС13,SiC14，而 氣態(tài) Н2,НС1 返回到反應中或排放到大氣中。尤其對于中國的企業(yè)，由于技術來源的局限性，選擇改良西門子法仍然是最現(xiàn)實的作法。改良西門子工藝是在傳統(tǒng)西門子工藝的基礎上，同時具備節(jié)能、降耗、回收利用生產(chǎn)過程中伴隨產(chǎn)生的大量 H HCI、 SiCI4等副產(chǎn)物以及大量副產(chǎn)熱能的配套工藝。這些公司的產(chǎn)品占全球多晶硅總產(chǎn)量 的 90%，它們形成的企業(yè)聯(lián)盟實行技術封鎖，嚴禁技術轉(zhuǎn)讓。把工業(yè)硅粉碎并用無水氯化氫(HCl)與之反應在一個流化床反應器中，生成擬溶解的三氯氫硅 (SiHCl3)。 這樣大約三分之一的三氯氫硅發(fā)生反應，并生成多晶硅。 3）減少污染：由于改良西門子法是一個閉路循環(huán)系統(tǒng)，多晶硅生產(chǎn)中的各種物 料得到充分的利用，排出的廢料極少，相對傳統(tǒng)西門子法而言，污染得到了 控制，保護了環(huán)境。美國 MEMC 公司采用該方法已經(jīng)大規(guī)模生產(chǎn)多晶硅，技術已經(jīng)很成熟，已經(jīng)在 20 年前用于年產(chǎn)千噸級以上的多晶硅生產(chǎn)線上。該方法用于大規(guī)模生產(chǎn)
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