mems光開關(guān)講述-預(yù)覽頁
【正文】 方向以實現(xiàn)光路通斷的功能，將電、機(jī)械和光集成為一塊芯片,能透明地傳送不同速率、不同協(xié)議的業(yè)務(wù)。,MEMS光開關(guān)的基本原理,第六頁，共二十八頁。,平行板電容靜電驅(qū)動,第九頁，共二十八頁。靜電梳狀驅(qū)動力與下方梳齒個數(shù)成線性關(guān)系，若使用相當(dāng)多的梳齒可以產(chǎn)生較大的靜電力。,3.MEMS光開關(guān)的分類及原理,開關(guān)呈直通狀態(tài)，此時銅線圈中通有正向電流，線圈產(chǎn)生的磁場方向與永磁體磁場方向相反，線圈與其下方永磁體之間產(chǎn)生排斥力，懸臂梁帶動雙面反射棱鏡移出光路，因此由光纖準(zhǔn)直器輸出的光信號直接通過光開關(guān)而不被反射. 開關(guān)呈反射狀態(tài)，此時銅線圈中通有反向電流，線圈與永磁體之間產(chǎn)生的吸引力將懸臂梁吸附在基座上，光信號被雙面反射棱鏡的一面反射到窄帶濾光片上，而從濾光片返回的光信號則通過雙面反射棱鏡的另一個反射面反射回到光纖準(zhǔn)直器中.,電磁驅(qū)動,第十一頁，共二十八頁。,移動棱鏡式：,3.MEMS光開關(guān)的分類及原理,移動其他部件的光開關(guān),1,2,3,第十五頁，共二十八頁。,整個器件尺寸約l~2mm，材料由金、氮化硅和多晶硅組成，并由體硅工藝加工出懸臂梁。但串?dāng)_比較大，隔離度不高，一般用于組成光纖線路倒換系,3.MEMS光開關(guān)的分類及原理,光路遮擋型MEMS光開關(guān),第十九頁，共二十八頁。,3.MEMS光開關(guān)的分類及原理,第二十頁，共二十八頁。通過移動適當(dāng) 位置的反射鏡使其反射光束可將任 意輸入光束耦合為輸出信號。通過將反射鏡偏轉(zhuǎn)至合適的角度，在三維空間反射光束，可將任意輸入反射鏡／光纖與任意輸出反射鏡／光纖交叉連接。這種保護(hù)通常只需要最簡單的12光開關(guān)。 光開關(guān)可用于光纖通信系統(tǒng)，光纖網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)，光線測量系統(tǒng)或儀器以及光纖傳感系統(tǒng)。,人有了知識，就會具備各種分析能力， 明辨是非的能力。,第二十六頁，共二十八頁。2.光開關(guān)以及MEMS光開關(guān)的概念。根據(jù)組成OXC矩陣的方法，可以把利用微鏡反射原理的光開關(guān)分成二維數(shù)字逼近方式和三維模擬逼近方
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