【正文】 茲分述如下：(1) 化學(xué)加藥混凝做前處理，伴隨后段處理單元設(shè)備：化學(xué)加藥混凝及膠羽作用是一種既有效又普遍的化學(xué)處理程序，包括借著帶相反電荷之無機(jī)及有機(jī)物質(zhì)表面電性中和及離子的中和作用，以使去穩(wěn)定化的溶解或懸浮固體物質(zhì)形成膠羽，并借著后段處理單元來移除 CMP 廢水中所含之懸符微顆粒、重金屬及一些有機(jī)物質(zhì)。包括動(dòng)態(tài)過濾膜(DYNAMIC LAYER)及陶瓷膜(CERAMIC TUBE FILTER)。(2) 直接使用超過濾或電膠凝處理方式：若不加任何化學(xué)藥品來混凝膠羽化 CMP 廢水中之溶解或懸浮微粒，或只加入少量 PH 調(diào)整劑來做為前處理加藥時(shí)，目前已被使用或被研發(fā)之處理系統(tǒng)有：超過濾(UF)、電膠凝/ 電透析(EC/ED)或外加電場微濾系統(tǒng)等。圖 41 為傳統(tǒng)化學(xué)加藥處理程序，后段并入氟系廢水處理，僅處理至放流水標(biāo)準(zhǔn)。另外重金屬廢水中若有鉻 Cr6+存在，則需先經(jīng)亞硫酸鹽還原或 Cr3+再加入 NaOH 使形成 Cr(OH)3 納入化學(xué)混凝單元處理。(C) 7KAIR 用以使脫水機(jī)中心孔道內(nèi)殘留之污泥吹回污泥槽。一般在調(diào)勻池前(含) 單元，以尖峰小時(shí)廢水量設(shè)計(jì)，調(diào)勻池以后單元?jiǎng)t以平均小時(shí)廢水量設(shè)計(jì)。范例：(廢水處理計(jì)算書 )(1) 各股廢水水量分析：LS = 3000 l/time，time/10day6 臺 /Floor x 2 Floor假設(shè)每 5 天排 6 臺為最大量則 5 天內(nèi)排 18m321 / 120CS = 循環(huán)水量 1400l/min每套廢水排放量，以循環(huán)水水量之 %計(jì)1400 x % = l/min3 套 (Max)C/T = m3/hr (數(shù)據(jù)源：空調(diào)系統(tǒng))DI System : 1. MMF 20CMD 20min 約每 1～2日一次2. 5CMD 20min 約每 1～2日一次3. Softner 10CM/Cycle 1hr 約每 1～2日一次制程廢水： 1. Parts clean 50 gpm ≒ m3/hr2. Wafer clean 30 gpm ≒ m3/hrDI System : 1. 濃縮水 120gpm x x 60 x = 6 m3/hr空調(diào)冷凝水 = 20～25 m3/day (數(shù)據(jù)源：空調(diào)系統(tǒng))(2) 已知各股廢水水質(zhì)：LS = 2022 ppm (砷系) as 2022mg/L Na2HasO4(3) 為使含砷廢水之含砷濃度勿過高，擬將放流水導(dǎo)入稀釋。I D 制作質(zhì)量平衡及功能計(jì)算完成后，廢水處理流程確定，為使廢水系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)正常，必須依據(jù)控制程序需求，決定必要的儀器以及管閥回路。I D 如圖 61 及 62 所示29 / 12030 / 12031 / 120 規(guī)格訂定規(guī)格訂定包括機(jī)械設(shè)備、儀表、控制系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)及土木(如需要)，如下：(1) 機(jī)械設(shè)備：槽體數(shù)量、尺寸、材質(zhì)、厚度、有效容積，其它特殊需求(如：加 BUFFE’PLATE，頂蓋….等)泵浦?jǐn)?shù)量、容量、型式、揚(yáng)程、材質(zhì)、使用電源、其他配件攪拌機(jī)數(shù)量、型式、材質(zhì)、使用電源、其他配件脫水機(jī)數(shù)量、型式、處理量及污泥餅含水率、設(shè)計(jì)及制造要求鼓風(fēng)機(jī)數(shù)量、型式、容量、使用電源、其他配件特定設(shè)備刮泥機(jī)、DAF、高分子泡藥設(shè)備、消毒設(shè)備等詳廠商型錄(2) 電氣設(shè)備：配電盤或馬達(dá)動(dòng)力中心依 EPC 項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)制作之低壓盤規(guī)范或既有規(guī)范(詳 SAMPLE)。特殊儀表：ORP 計(jì)、溶氧計(jì)、COD 分析儀、BOD 分析儀、SS 分32 / 120析儀、油膜檢知儀、F 分析儀，相關(guān)要求詳廠商型錄。〞規(guī)范除要求工程技術(shù)外，另外有關(guān)保固/保證、測試、承商需提供之文件圖面及責(zé)任義務(wù)均應(yīng)明確規(guī)定。(3) 排水管路及配管不得妨害作業(yè)通路，配管應(yīng)按裝于配管專用溝內(nèi)。(7) 長配管或預(yù)測配管內(nèi)可能沉積堆積物時(shí)，為求配管的容量清理及更換方便起見，應(yīng)于配管中設(shè)置突緣(或稱法蘭) 、雙接頭或單點(diǎn)接續(xù)器。(11) 制作程序或藥品變更時(shí)，應(yīng)檢查廢水之區(qū)分及配管路線，必要時(shí)應(yīng)予修正。在一些規(guī)定嚴(yán)格的晶圓廠會(huì)指定要求使用地下雙重貯藏設(shè)計(jì)。多數(shù)以鋼筋混凝土襯耐酸或耐堿材料定期實(shí)施內(nèi)部檢查注意及早修補(bǔ)。放入鋼筋混凝土槽，其內(nèi)側(cè)槽使用鋼板襯里、FRP 或PE 槽最容易管理，檢查簡單，但定期檢查仍屬需要注意及早修補(bǔ)。(4) 池型：正方型或矩型。若未設(shè)置，會(huì)因調(diào)勻池水位之變化導(dǎo)致?lián)P水量發(fā)生變化。為使溢流量保持定量，必須維持計(jì)劃槽內(nèi)固定水位，需設(shè)置將超量廢水回流入調(diào)勻槽之堰。因此，需有自動(dòng)調(diào)節(jié)加藥量之控制裝置。(4) 極少量之藥品與極大量之廢水，需在極短時(shí)間內(nèi)完全混合。陽離子與某些非離子聚合物 ~沒有改變做為助凝劑，加速混凝沉淀并加強(qiáng)膠羽的緊密性以利過濾，如污泥脫水之調(diào)理。漏斗型者處理量以100m3/d 為限凝聚力強(qiáng)的排水，一般使用于活性污泥處理水平流式沉淀槽長方形沉淀槽，一般機(jī)械式污泥刮泥機(jī)偏流，長寬比宜3：1~5：12底部坡度以1/100~ 2/100 為宜.大小規(guī)格皆適用42 / 120方式形狀及集泥方式注意事項(xiàng) 特征 概略圖圓形、正方形沉淀槽漏斗型，附污泥刮泥機(jī)流堰之距離若太近，處理效率降低，直徑及深度比為6：1~12 ：1為宜5/100~10/100 為宜中規(guī)模以上處理場使用43 / 120 沉淀槽重要設(shè)計(jì)參數(shù)A. 沉淀部內(nèi)之流速一般水平流式沉淀池之流速，以不大于沉淀速度之 9~12 倍為宜，亦即應(yīng)在 ~。C. 水深有效水深一般為 ~4m，小規(guī)模處理設(shè)施有較淺者。水面積負(fù)荷= ~ 子 之 沉 澱 速 度通常為達(dá)到固液分離的安定，水面積負(fù)荷應(yīng)較粒子之沉降速度小為宜。采用過濾程序時(shí)，將過濾前水質(zhì) SS 維持在 50mg/L 以下，以免固體物過多造成反洗頻率太快，則不符合經(jīng)濟(jì)及操作。損失水頭依過濾之時(shí)間，粒子之捕捉量的增加而增大，當(dāng)其達(dá)一定損失水頭時(shí)，過濾層就必須進(jìn)行反沖洗，俟損失水頭降低后，再行過濾之。為防止濾層在短時(shí)間內(nèi)阻塞，致濾程太短，濾料之種類多采復(fù)數(shù)層 2層或 3 層，盡可能使各層皆可發(fā)揮捕捉粒子的功能，并增長過濾持續(xù)時(shí)間。集水裝置的主要功能為收集過濾水與均勻入流之反沖洗水，使過濾及反沖洗之損失水頭均勻，集水設(shè)備之型式有下列各種：韋氏型：于濾床上設(shè)置支撐，而于其上置混凝土塊形成品字型。反沖洗次數(shù)以可考慮捕捉之粒子的腐敗，以每日一次為宜，反沖洗除可以差壓設(shè)定成定時(shí)自動(dòng)控制操作外，亦宜設(shè)有手動(dòng)操作方式。52 / 120 應(yīng)研讀之法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)、書籍或數(shù)據(jù)?水污染防制法及其施行細(xì)則?事業(yè)水污染防治措施管理辦法?放流水標(biāo)準(zhǔn)?下水道工程學(xué)，歐陽橋暉?水及廢水處理化學(xué)，楊萬發(fā)?Waste Water Engineering Treatment, Disposal, Reuse by Metealf amp。原條文科學(xué)工業(yè)園區(qū)污水處及污水下水道使用管理辦案修正法案原設(shè)置辦法已由行政院環(huán)境保護(hù)署于84年6月21日公告廢止。裝置場所：室內(nèi)。 技術(shù)說明 本規(guī)范書適用于 3∮ 4W 380/220V 或 208/120V 或 220/127V 60HZ 接地系統(tǒng)之低壓配電盤。73 / 120 配電盤之設(shè)計(jì)須容許未來之增設(shè)及在現(xiàn)場修改或重組內(nèi)部各單元。 受電盤及受電回路 受電盤至少需包括下列器具(a) 斷路器控制開關(guān)，歐﹑美制品﹐為二段式槍型。(e) 比流器，模鑄式，40VA 以上。 按附圖內(nèi)容部份饋線回路須裝比流器﹑轉(zhuǎn)盤式 KWH 表。 總線之相序排列及色澤依照 CNS 之規(guī)定。 接地總線須為銅材質(zhì)，尺寸不得小于 5mm25mm。 所有指示儀表必須具有高靈敏度和耐震力。 接線端子臺須裝于 600 伏特級且適合 平方公厘絞線之接線。所有銘牌須為壓克力制白底黑字，以不銹鋼螺絲固定于箱門上﹐且前后門均須各一只。其內(nèi)部顏色依廠家標(biāo)準(zhǔn)，外部顏色為 MUNSELL NOTATION 5Y7/1。 出廠前之檢查與試驗(yàn)，承包商應(yīng)于七天前通知業(yè)主派員會(huì)同實(shí)施，并提供業(yè)主三份廠內(nèi)會(huì)同試驗(yàn)報(bào)告書。(5) 列表說明所有斷路器﹑接觸器﹑電驛﹑設(shè)備儀表等之制造商及型號，并說明設(shè)備之額定值及檢附其詳細(xì)型錄。(2) 檢查和測試之報(bào)告書。 制造廠家必須保證所有設(shè)備性能完全合乎規(guī)范書之要求。 工程完成后承包商應(yīng)提供竣工圖面﹐磁盤片﹑備品耗材廠牌﹑規(guī)格各四份﹐才可辦理正式驗(yàn)收報(bào)告辦理驗(yàn)收。任何異于本規(guī)范要求者，承包商必須于標(biāo)書中提出。C) 有機(jī)溶劑收集系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)之液堿供給系統(tǒng)及藥品卸除區(qū)。 提供初次填裝之藥品及所有運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備所需之潤滑油，并裝置完全。 試車。承包商系統(tǒng)之設(shè)計(jì)須滿足 節(jié)處理水質(zhì)之要求。經(jīng) TK102 收集后，與定量之放流水混合，使稀釋 Na2HAsO4 濃度。另為稀釋高濃度含砷廢水，設(shè)計(jì)由定量泵浦將處理后之放流水打至 TK101。 TK102 含砷廢水調(diào)勻池A. V=10m3（有效容量）B. 尺寸： (real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體需加頂蓋。 TK304 放流水檢知池A. V=10m3（有效容量）B. 尺寸： (real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體需加頂蓋。 TK104 反應(yīng)槽A. V=，停留時(shí)間 20min，與 TK103 共構(gòu)B. 尺寸： (H)(real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體需加頂蓋。 TK106 沉淀槽A. 用途：將化學(xué)混凝后的處理水藉由傾斜板之比表面積使水中膠羽得以順利沉降。其整體結(jié)構(gòu)必須具有以下單元及功能：1. 傾斜板之有效沉降表面積必須能夠負(fù)荷5m 3/hr以上之水量，同時(shí)經(jīng)沉淀后的處理水懸浮固體含量必須低于30mg/L。89 / 120 TK303 第二 pH 調(diào)整槽A. V=，停留時(shí)間 10minB. 尺寸： (H)(real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，與 TK302 共構(gòu)槽體外壁需 1 底 2 度 Epoxy 防蝕處理，槽內(nèi)需 FRP 內(nèi)襯；其中槽體鋼板厚度，頂板側(cè)板不得小于 5mmt，底板不得小于7mmt。D. 可配合高壓清洗水泵選擇套裝設(shè)備。 FeCl3 藥槽(20%)A. V=2m3B. 尺寸：(H)C. 槽體材質(zhì)為 FRP，本貯槽必須由合格之專業(yè) FRP 制造廠家提供槽體，除需依設(shè)計(jì)預(yù)留加藥管、回液管、排氣管之法蘭口外，同時(shí)須附含有刻度以及保護(hù)套管。D. 驅(qū)動(dòng)設(shè)備：減速機(jī)應(yīng)為齒輪式，并有適當(dāng)潤滑裝置，適用于電源 380V，60HZ，3φ。 P201A/B Ca(OH)2 加藥機(jī)A. 型式：隔膜定量：32 Lpm(最大吐出量)，5 kg/cm2(最高吐出壓力 )C. 材質(zhì)：與液體接觸之部份能耐 1%Ca(OH)2D. 具底閥、逆止、泄壓及背壓閥之功能：380V／3?／60Hz P202A/B NaOH 加藥機(jī)：隔膜定量：1 Lpm(最大吐出量)，10 kg/cm2(最高吐出壓力 )：與液體接觸之部份能耐 45% NaOHD. 具底閥、逆止、泄壓及背壓閥之功能：380V／3?／60Hz P202 C/D NaOH 加藥機(jī)：隔膜定量： Lpm(最大吐出量)，7 kg/cm2(最高吐出壓力 )93 / 120C. 材質(zhì)：與液體接觸之部份能耐 45% NaOH、逆止、泄壓及背壓閥之功能E. 電源： 380V／3?／60Hz P202 E/F NaOH 加藥機(jī)A. 型式：隔膜定量B. 容量： Lpm(最大吐出量)，5 kg/cm2(最高吐出壓力)C. 材質(zhì)：與液體接觸之部份能耐 45% NaOHD. 具底閥、逆止、泄壓及背壓閥之功能E. 電源：380V／3?／60Hz P203A/B FeCl3 加藥機(jī)A. 型式：隔膜定量B. 容量：1 Lpm(最大吐出量)，10 kg/cm2(最高吐出壓力 )C. 材質(zhì)：與液體接觸之部份能耐 20% FeCl3D. 具底閥、逆止、泄壓及背壓閥之功能E. 電源：380V／3?／60Hz P204A/B Polymer 加藥機(jī)A. 型式：隔膜定量B. 容量： Lpm(最大吐出量)，5 kg/cm2(最高吐出壓力 )C. 材質(zhì)：與液體接觸之部份能耐 % PolymerD. 具底閥、逆止、泄壓及背壓閥之功能E. 電源：380V／3?／60Hz P205A/B HCl 加藥機(jī)A. 型式：隔膜定量B. 容量：16 Lpm(最大吐出量)，5 kg/cm2(最高吐出壓力)C. 材質(zhì)：與液體接觸之部份能耐 32%HClD. 具底閥、逆止、泄壓及背壓閥之功能E. 電源： 380V／3?／60Hz94 / 120 P205C/D HCl 加藥機(jī)A. 型式：隔膜定量B. 容量： Lpm(最大吐出量)，5 kg/cm2(最高吐出壓力)C. 材質(zhì)：與液體接觸之部份能耐 32%HClD. 具底閥、逆止、泄壓及背壓閥之功能E. 電源：380V／3?／60Hz P401 NaOH 補(bǔ)充泵A. 型式：陸上型式無軸封離心泵B. 容量：3m 3/h，H=22mC. 接液部材質(zhì)須為 Teflon 或同等級材質(zhì)