干式渦旋真空泵的發(fā)展與關(guān)鍵問(wèn)題-預(yù)覽頁(yè)
【正文】 ②波紋管結(jié)構(gòu)提供了防止動(dòng)盤自轉(zhuǎn)的作用，替代了常用的曲拐防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，使得結(jié)構(gòu)更緊湊；③波紋管結(jié)構(gòu)可以根據(jù)動(dòng)盤受力的變化提供軸向和徑向的補(bǔ)償；④由于波紋管的扭動(dòng)，增大了扭矩，電機(jī)功率增加?！ ≈袊?guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心有限公司的雙面單頭渦旋齒渦旋真空泵，抽速較高，由于其動(dòng)渦旋結(jié)構(gòu)具有對(duì)稱性，所以其可自平衡軸向氣體力，簡(jiǎn)化了主軸的受力情況。與單面相比，雙面渦旋泵有較高的抽速和自平衡軸向力的優(yōu)點(diǎn)，但是由于很高的結(jié)構(gòu)對(duì)稱性要求，雙面渦旋盤的加工制造比較困難；在雙面渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)中，動(dòng)渦旋中心要安裝兩個(gè)軸承，軸承和真空室直接相連，即使使用動(dòng)密封，也會(huì)造成返油現(xiàn)象，污染真空環(huán)境和影響極限真空度，要考慮軸承因真空引起的變形，使用真空軸承，軸承長(zhǎng)期在真空條件下工作，會(huì)降低軸承的壽命；雙面渦旋真空泵中要求曲軸較長(zhǎng)，增大了曲軸的加工制造難度和成本，如果曲軸稍有變形，就會(huì)在很大程度上影響側(cè)向間隙，從而影響極限真空度，甚至出現(xiàn)碰齒現(xiàn)象?！ ?3) 渦旋齒圈數(shù)多，密封效果增強(qiáng)，清潔度和極限真空度高，壓縮比大?！ ?4) 主軸偏心距小，偏心轉(zhuǎn)子易平衡，動(dòng)力特性好?！ ≡诙鄿u旋齒渦旋盤結(jié)構(gòu)參數(shù)設(shè)計(jì)中，齒數(shù)Z的確定極為重要，應(yīng)根據(jù)多渦旋齒渦旋盤幾何模型得出不同齒數(shù)下的渦旋盤結(jié)構(gòu)參數(shù)組合，通過(guò)多方案比較，確定最佳的渦旋齒數(shù)和渦旋盤結(jié)構(gòu)參數(shù)。但目前的修正方法還不是很成熟，如果參數(shù)設(shè)計(jì)不合理，仍然會(huì)出現(xiàn)干涉問(wèn)題，所以設(shè)計(jì)時(shí)一定要進(jìn)行三維運(yùn)動(dòng)模擬，查看修正后的型線是否存在干涉問(wèn)題?！ ⑤S向間隙和齒頂密封 軸向間隙為動(dòng)渦旋盤齒頂端與靜渦旋盤盤面以及靜渦旋盤齒頂端與動(dòng)渦旋盤盤面之間存在的間隙。目前常用的密封材料為摻入特殊材料的聚四氟乙烯混合物。齒側(cè)密封即為兩壓縮腔之間的間隙密封，密封范圍從最小間隙處開(kāi)始，沿順時(shí)針、amp。圖1 軸向間隙和齒頂密封 圖2 徑向間隙和齒側(cè)密封 極限真空度是渦旋真空泵的主要性能指標(biāo)，齒頂密封和齒側(cè)密封是影響極限真空度的主要因素。pi。所以,研究表征渦旋型線本質(zhì)特性的通用渦旋型線的整機(jī)全性能耦合效應(yīng)和多學(xué)科協(xié)同優(yōu)化設(shè)計(jì)理論與方法, 對(duì)于建立渦旋型線的完整理論, 并根據(jù)實(shí)際情況構(gòu)造出具有最佳性能的渦旋真空泵具有重大的意義和工業(yè)價(jià)值[18
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