【正文】 線是否正確；冷凍機(jī)和鍋爐是否能達(dá)到設(shè)計(jì)要求；空調(diào)器中表冷器的降溫去濕能力、加濕器的加濕能力等等進(jìn)行單體檢查、考核。如水泵、變壓器、配電箱、開關(guān)等。 （二）單機(jī)試車 單機(jī)試車是對(duì)工程 中的所有的設(shè)備、配件等單體進(jìn)行試車。 ②調(diào)試所用的器材、工具的準(zhǔn)備。 ④高效過濾器安裝檢漏合格后再對(duì) 凈化空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行第二次空吹。系統(tǒng)空吹后可以安裝高效過濾器。 ②安裝粗效、中效過濾器進(jìn)行第一次空吹。并對(duì)施工、加工、安裝等質(zhì)量問題逐一填寫“缺陷明細(xì)表”，提出整改意見，限期（正式調(diào)試之前）整改完畢。 在調(diào)試小組的領(lǐng)導(dǎo)組織下，有建設(shè)單位、設(shè)計(jì)單位、施工單位、監(jiān)理單位的有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和技術(shù)人員參加，對(duì)施工現(xiàn)場(chǎng)、施工質(zhì)量進(jìn)行全面會(huì)檢。調(diào)試大綱是調(diào)試工作的指導(dǎo) 性文件。④潔凈室的性能測(cè)試和綜合評(píng)價(jià)。 三．潔凈室的竣工驗(yàn)收調(diào)試，性能測(cè)試和潔凈室的綜合評(píng)價(jià) 竣工驗(yàn)收的調(diào)試工作要分以下四個(gè)步驟進(jìn)行。因?yàn)?，建造潔凈室的目的是為使用，是為了得到高成品率合格產(chǎn)品。如潔凈室的圍護(hù)、裝修等；第三是可變而且容易改變 的部分。因此，在設(shè)計(jì)和建造潔凈廠房時(shí)，就要考慮到工藝的發(fā)展、變更，就要考慮到潔凈廠房的靈活性和適應(yīng)性。折合每年單位面積的運(yùn)行費(fèi)用為 7659 元 /m2 年。單核心部分的 10000 m2 的潔凈室的建造費(fèi)用就高達(dá) 6000 萬美元（約 5 億人民幣）（日本三機(jī)株式會(huì)社施工），折合每平方米建造費(fèi)用約 50000元人民幣 / m2。 就拿已投產(chǎn)的上海華虹 NEC 超大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)線潔凈室舉例來說，華虹 NEC 為月投片 30000 片 8硅片集成電路前工序生產(chǎn)線，有潔凈室面積約12020m2，其中 10000 m2 是在中心部位，另 2020 m2 在邊跨上。 ③ 根據(jù)工藝要求可確定 1~2 粒徑。原來我們熟悉的 100 級(jí)、 1000 級(jí)、 10000 級(jí)和 100000 級(jí)都是源自美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) FS 209B，現(xiàn)在它們分別被國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) ISO14644 標(biāo)準(zhǔn)中的 5 級(jí)、 6 級(jí)、 7 級(jí)和 8 級(jí)所替代。 人進(jìn)入要換鞋、更衣、淋浴、滅 菌；物進(jìn)入要擦拭、清洗、滅菌；空氣送入要過濾、滅菌，人物分流，潔污分流。 對(duì)潔凈室建筑 材料的要求 所有材料（墻、頂、地等）不產(chǎn)塵、不積塵、耐磨擦 所有材料應(yīng)耐水、耐腐且不能提供微生物孳生繁殖條件。 控制目標(biāo) 控制有害粒徑粒子濃度。 控制方法 凈化措施 主要是采取過濾方法。 ② 生物潔凈室：以 控制細(xì)菌（微生物）為主要對(duì)象。 表中的初投資包括潔凈廠房的圍護(hù)、冷凍供應(yīng)系統(tǒng)、空調(diào)凈化系統(tǒng)，不含土建結(jié)構(gòu)和自動(dòng)控制的投資。這種氣流的特點(diǎn)是將垂直單向流面積壓縮到最小，用大面積非單向流替代大面積單向流以利節(jié)省初投資和運(yùn)行費(fèi)。 ▲ 非單向流氣流的凈化原理是稀釋原理。但其初投資很高、運(yùn)行費(fèi)很高，工程中盡量將其面積壓縮到最小，用到必須用的部位。 ▲ 單向流氣流的凈化原理是活塞和擠壓原理，把灰塵從一端向另一端擠壓 14 出去，用潔凈氣流置換污染氣 流。 2．潔凈室的應(yīng)用和分類 當(dāng)今潔凈室已廣泛地應(yīng)用在電子、航天、機(jī)械、化工、制藥、食品、醫(yī)療、生物工程??各行各業(yè)。 空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的氣流組織形式主要有：上送下回，上送下側(cè)回，上送上回，側(cè)上送側(cè)下回等形式。 e. Wd→ e→ L1 e 空氣調(diào)節(jié)的氣流組織 空氣調(diào)節(jié)氣流組織設(shè)計(jì)的任務(wù)就是要合理地組織室內(nèi)空氣的氣流流動(dòng)，使工作區(qū)的溫度，濕度，氣流速度和潔凈度能很好地滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究以及人們舒適感的要求。 11 又如：冬季空調(diào)空氣處理過程可以有如下途徑來實(shí)現(xiàn)： a. Wd→ b→ L→ S 先用加熱器對(duì)室外空氣預(yù)熱再等溫加濕（噴蒸汽）然后用加熱器再熱。見圖十四。全新風(fēng)系統(tǒng)。 圖十 升溫加濕 過程 圖十一 混合過程 焓濕圖上幾種典型的空氣處理過程見圖十二。過程線見圖十。過程線見圖九。過程線見圖八。 圖六 等焓加濕過程 圖七 升溫去濕過程 e. 等溫加濕：空氣干球溫度不變條件下的加濕。即：固體吸濕劑吸收空氣中的水分發(fā)生化學(xué)反應(yīng)放熱使空氣溫度升高，絕對(duì)含濕量降低，相對(duì)濕度也降低。線， ε = 0，過程線見圖六。水吸收空氣中的熱量后部分水被蒸發(fā)成水蒸汽進(jìn)入空氣，空氣失去熱量溫度下降。此時(shí) ε 為負(fù)無窮大的過程線。 b. 等濕降溫：空氣含濕量不變條件下的降溫。環(huán)境空氣的干球溫度升高，相對(duì)濕度降低。 對(duì)于醫(yī)院的潔凈手術(shù)部的潔凈手術(shù)室的熱濕比大約在 1800~2400大卡 /kg。也就是空氣中的水蒸汽分壓力隨空氣溫度降低不斷升高，達(dá)到飽和狀態(tài)（ 100%）時(shí)的溫度叫露點(diǎn)溫度。 7 c. 相對(duì)濕度：空氣中實(shí)際的水蒸汽的分壓力 與同溫度下飽和狀態(tài)空氣的水蒸汽的分壓力之比。也就是說將溫度計(jì)的水銀球用浸水的紗 布包裹起來，所測(cè)得的穩(wěn)定的空氣溫度。利用焓濕圖可以表示空氣調(diào)節(jié)處理過程中所發(fā)生的混合、加熱、冷卻、加濕、去濕等所有空氣處理過程，并且利用焓濕圖可以計(jì)算出空氣處理過程中所需要的冷量、加熱量、加濕量等各種用量。從某種意義上說調(diào)節(jié)濕空氣中水蒸汽的含量就是空氣調(diào)節(jié)的重要任務(wù)之一。 濕空氣焓濕圖及其應(yīng)用 ① 濕空氣的焓濕 濕空氣就是我們生活和工作的環(huán)境空氣，就是生產(chǎn)和科學(xué)研究的環(huán)境空氣。 舒適性空氣調(diào)節(jié)就是為了滿足人們的舒適要求而設(shè)置的空氣調(diào)節(jié)。一個(gè)房間或一個(gè)空間，在一般情況下除了有來自該房間內(nèi)部的圍護(hù)結(jié)構(gòu)，人員，照明燈具及設(shè)備產(chǎn)生的熱，濕，粒子，微生物或其他有害物的干擾外，同時(shí)還有來自房間外部的大氣，太陽(yáng)輻射等的干擾。 1 潔凈技術(shù)基礎(chǔ)培訓(xùn)教材 張利群 2 二 OO 六年十月 目 錄 一 . 空氣調(diào)節(jié)和空氣凈化的基礎(chǔ)知識(shí) （一）空氣調(diào)節(jié)的基本概念 1. 空氣調(diào)節(jié)及其分類 2. 濕空氣的焓濕圖及其應(yīng)用 ⑴ 濕空氣的焓濕圖 ⑵ 焓濕圖中的名詞定義 ⑶ 焓濕圖的應(yīng)用 ⑷ 焓濕圖應(yīng)用的舉例 3. 空調(diào)送回風(fēng)的氣流組織 （二）空氣凈化的基礎(chǔ)知識(shí) 1. 潔凈室及其四大要素 2. 潔凈室的應(yīng)用及其分類 3. 潔凈室與一般空調(diào)的差別 4. 工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別 5. 潔凈室潔凈度的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn) 二．潔凈室的建造特點(diǎn) （一） 建造的潔凈室必須保證生產(chǎn)工藝所要求的各項(xiàng)參數(shù) （二） 建造的潔凈室要具有一定的靈活性 （三） 建造潔凈室需要較大的投資 （四） 潔凈室運(yùn)行耗電量大運(yùn)行費(fèi)用高 三．潔凈室的竣工驗(yàn)收調(diào)試，性能測(cè)試和潔凈室的綜合評(píng)價(jià) （一）調(diào)試前的準(zhǔn)備工作 （二）單機(jī)試車 （三）聯(lián)動(dòng)調(diào)試 （四）潔凈室的性能測(cè)試和綜合評(píng)價(jià) 3 四． 潔凈室的性能測(cè)試 （一）潔凈室性能測(cè)試的目的 （二）潔凈室性能測(cè)試的內(nèi)容 （三）潔凈室性能測(cè)試的主要儀器和儀表 （四）潔凈室性能測(cè)試的方法 五．潔凈室維護(hù)管理的一問題 （一） 過濾器的基本知識(shí)及其維護(hù)管理 （二） 潔凈室的發(fā)塵源和潔凈室的清埽 （三） 潔凈室的空氣品質(zhì) （四） 潔凈工作服及其清洗 （五） 潔凈區(qū)廁所的設(shè)置 （六） 值班風(fēng)機(jī)的設(shè)置 （七） 吹淋室的設(shè)置及吹淋效果 （八） 潔凈室的正壓維持 （九） 潔凈室的消毒和滅菌 （十） 潔凈室的顏色處理 （十一）潔凈室的靜電和靜電的消除 （十二）潔凈室的防火和防爆 （十三）潔凈室的能耗和節(jié)能 （十四）潔凈室的竣工驗(yàn)收調(diào)試和在線測(cè)試 （ 十五）凈化空調(diào)系統(tǒng)的家濕問題 （十六）凈化空調(diào)系統(tǒng)的管道保溫和防結(jié)露問題 （十七）凈化空調(diào)系統(tǒng)的加熱問題 4 潔凈室工程師培訓(xùn)教材 一 . 空氣調(diào)節(jié)和空氣凈化的基礎(chǔ)知識(shí) （一）空氣調(diào)節(jié)的基本概念 空氣調(diào)節(jié)及其分類 空氣調(diào)節(jié)就是使房間或封閉空間的溫度，相對(duì)濕度，潔凈度，和氣流速度等參數(shù)均達(dá)到給定要求的技術(shù)。在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)中，空氣處理設(shè)備即空調(diào)器是實(shí)現(xiàn)空氣熱，濕交換和空氣過濾凈化的核心部分。 5 圖一 空氣調(diào)節(jié)原理圖 圖二 凈化空調(diào)原理圖 空氣調(diào)節(jié)按使用對(duì)象的不同又可劃分為舒適性空氣調(diào)節(jié)和工藝性空氣調(diào)節(jié)。不同的生產(chǎn)工 藝對(duì)環(huán)境空氣參數(shù)的要求也不相同。在濕空氣中雖然水蒸汽的含量非常少，但是它的作用卻非 6 常大。圖中有等溫度線、等相對(duì)濕度線、等含濕量線和等焓值線。 b. 濕球溫度：就是用濕球溫度計(jì)測(cè)出的 空氣溫度。濕球溫度也就是相對(duì)濕度 100%時(shí)的飽和溫度。 e. 露點(diǎn)溫度：是在一定大氣壓力的條件下，某含濕量下的未飽和空氣因溫度不斷地降低，相對(duì)濕度不斷增加，達(dá)到飽和狀態(tài)空氣中的水蒸汽凝結(jié)成水珠，從空氣中分離出來時(shí)的溫度叫露點(diǎn)溫度。 在電子工業(yè)產(chǎn)熱量大、產(chǎn)濕量小的潔凈廠房一般的熱濕比 8000~10000 大卡 /kg 趨近正無窮大。 a. 等濕加熱： 空氣含濕量不變條件下的加熱。見圖四。即送入表冷器中的冷凍水的初溫高于空氣露點(diǎn)。即空氣和水直接并充分地進(jìn)行熱交換的過程。過程線是 135186。固體化學(xué)去濕的過程就是生溫去濕的過程。過程線見圖七。空氣處理中常用的噴蒸汽、噴干蒸汽電極式、電熱式的加 9 濕器。這是空氣處理中最常用的降溫去濕的方法，也是冷凍去濕的方法。在工程中很少應(yīng)用。其過程線見圖十一。 圖十二 典型的空氣處理過程 圖十三 空氣狀態(tài)點(diǎn)參數(shù)的確定 ④焓濕圖的應(yīng)用舉例 一個(gè)潔凈室的室內(nèi)參數(shù)為 N，送風(fēng)參數(shù)為 S，熱濕比為 ε ，送風(fēng)溫差為 t? ?？梢圆扇∠旅娑喾N方法，對(duì)空氣進(jìn)行熱，濕處理都能達(dá)到同一個(gè)目的。 c. WS→ S 用噴淋液體吸濕劑做降溫、去濕、減焓處理。 d. Wd→ L→ S 先用噴熱水對(duì)室外空氣升溫加濕然后再熱。因此回風(fēng)口的位置對(duì)室內(nèi)氣流組織的影響比較小。 潔凈室的四大技術(shù)要素就是：粗效，中效和高效三 級(jí)過濾，足夠的凈化送風(fēng)量，室內(nèi)正壓的建立和維持，以及終端高效或超高效過濾器的設(shè)置。 13 圖十六 單向流氣流流型 ② 非單向流（亂流）潔凈室 圖十七 非單向流氣流流型 ③ 混合流潔凈室 圖十八 混合流氣流流型 ④ 矢流（對(duì)角流）潔凈室 圖十九 矢流氣流流型 ⑤ 各種氣流的特點(diǎn)、創(chuàng)造的潔凈度、應(yīng)用范圍和投資運(yùn)行費(fèi)。這種氣流能創(chuàng)造 100 級(jí)、 10 級(jí)、 1 級(jí)或更高潔凈級(jí)別。其初投資和運(yùn)行費(fèi)低于垂直單向流流型。 ▲ 混合流氣流是將垂直單向流和非單向流兩種氣流組合在一起構(gòu)成的氣流流型。 表中冷量指標(biāo)一般指電子工業(yè)潔凈廠房。用于電子、航天、機(jī)械、化工、化學(xué)制藥??。 微生物、病菌等活的粒子不斷生長(zhǎng)繁殖，會(huì)誘發(fā)二次污染 17 （代謝物、糞便）。過濾和滅菌等。 有害的微生物達(dá)到一定的濃度以后才能夠成危害。人和物要分流，潔污要分流。 5．潔凈度的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn) ISO14644 18 ISO14644 是國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，現(xiàn)在美國(guó)、歐洲、日本、俄羅斯和我國(guó)都采用此標(biāo)準(zhǔn)，美國(guó)原來應(yīng)用的是美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209A、 B、 C、 D、 E，現(xiàn)在美國(guó)也不用了。 ② 本標(biāo)準(zhǔn)不適用于表征懸浮粒子的物理、化學(xué)、放射及生命性。 表五 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) ISO14644 與各國(guó)標(biāo)準(zhǔn)的比較表 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) 中國(guó)標(biāo)準(zhǔn) 美國(guó)標(biāo)準(zhǔn) 俄國(guó)標(biāo)準(zhǔn) 日本標(biāo)準(zhǔn) 德國(guó)標(biāo)準(zhǔn) 19 ISO14644 GB 50073 FS 209E TOCT 50766 TIS 9920 / / / P0 / / 1 1 / P1 1 1 2 2 / P2 2 2 3 3 P3 3 3 4 4 P4 4 4 5 5 P5 5 5 6 6 P6 6 6 7 7 P7 7 7 8 8 P8 8 8 9 9 / P9 / 9 二．潔凈室的建造特點(diǎn) （一）建造投資費(fèi)用高 高級(jí)別潔凈室的建造費(fèi)用很高，一般來說， 100 級(jí)垂直單向流的潔凈室，其室內(nèi)裝修（墻、頂、地、門、窗等）和空調(diào)凈化系統(tǒng)（包括制冷空調(diào)設(shè)備和管道配件、凈化設(shè)備和配件等）的初 投資大約為 10000 元人民幣 /m2；如果加上純水制備設(shè)備和系統(tǒng)管道，純氣發(fā)生和系統(tǒng)管道，廢水治理設(shè)備和管道，消防系統(tǒng)，供配電和自控系統(tǒng)，真空清掃系統(tǒng)等等，其單位面積的建造投資費(fèi)用要高達(dá)25000~30000 元人民幣 / m2。 該項(xiàng)目總投資約 100 億人民幣，其中動(dòng)力設(shè)備和土建投資為 20 億人民幣，占總投資的五分之一。全年空調(diào)凈化系