【正文】 200 單元 進(jìn)行 再 利 用。打開閥門 V9200T300UC808， HCl冷 凝器 V9200T300AW180開始運(yùn)行 。 4) 逐漸加熱 HCl解析塔 V9200T300AK110的塔釜液 。 8) 開始用 V9200T300FIRC110,111和 118串聯(lián)調(diào)控 蒸汽 供 應(yīng) （控制閥V9200T300UC811） 。335開始 運(yùn)行 。初 級(jí) 冷 凝單元 所含的設(shè)備 ： 1) 還原 爐尾氣預(yù) 冷 凝 器 V9200T100AW100A 2) 氫化 爐尾氣預(yù) 冷 凝 器 V9200T100AW100B/C 3) 氯硅烷回流罐 V9200T100AB110 和 160 4) 冷凝單元的 氯硅烷凝液泵 V9200T100AP100A/B和 V9200T100AP105A/B 在 充 入 STC 的 過(guò)程 中 ， 氯硅烷凝液泵 V9200T100AP100A/B、氯硅烷凝液循環(huán)泵 V9200T100AP105A/B、 以及 控制 器 V9200T100LICSA177。在 充 入 STC期間 ， 要 開啟氯硅烷凝液輸送泵 V9200T100AP110A/B和控制 器 V9200T100LICSA177。 3) 冷凝器 V9200T100AW110B開始運(yùn)行 。 7) 打開氯硅烷回流槽 V9200T100AB160通向 氫化單元 V1500的閥門 。202 。 2. 氯硅烷精餾單元 T400 的開車 步驟 。 調(diào)整 蒸汽流量后，塔可穩(wěn)定 運(yùn)行 。 尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 20 5) 當(dāng)氯硅烷精餾塔 V9200T400AK120內(nèi)的溫度 達(dá)到 預(yù)定 溫度后， 開始 串 聯(lián)調(diào)節(jié) V9200T400FQRC101和 FQ106。 到此 ， V9200 裝置可 視 正常 運(yùn)行 。 V9200T100AW100B/C 出 口的蒸汽與來(lái)自 HCl 解吸塔塔V9200T300AK110 的 HCl 蒸汽流相連。冷卻器通過(guò) V9200T100AW110A 的溫度控制器 V9200T100TIC408 和V9200T100AW110B 的溫度控制器 V9200T100TIC410 調(diào)節(jié)冷卻介質(zhì)的流量，使尾氣的出口溫度保持在所要求的水平。尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 21 第二級(jí)冷凝器 V9200T100AW110A/B 的冷卻介質(zhì)是甲苯，它 的供應(yīng)溫度為 20℃，返回溫度是 15 176。 冷凝單元 T100 T100 冷凝單元包含以下設(shè)備： 1) 還原爐尾氣預(yù)冷凝器 V9200T100AW100A 2) 氫化爐尾氣預(yù)冷凝器 V9200T100AW100B/C 3) 尾氣冷凝液罐 V9200T100AB110 和 160 4) 冷凝單元的氯硅烷冷凝泵 V9200T100AP100A/B 和 105A/B 5) 反應(yīng)氯硅烷冷卻器 V9200T100AW110A 6) 氫化氯硅烷冷卻器 V9200T100AW110B 7) 氯硅烷冷凝液緩沖槽 V9200T100AB150 8) 氯硅烷冷凝液輸送泵 V9200T100AP110A/B 9) 旋風(fēng)分離器 V9200T100AF110A/B 初 級(jí) 和 二 級(jí) 冷 凝 器 V9200T100AW100A/B/C 和V9200T100AW110A/B 進(jìn) 入冷凝單元第一級(jí)冷凝器 V9200T100AW100A/B/C 的尾氣的溫度大約在200℃（反應(yīng)溫度） ，被冷卻到溫度大約為 36℃。405和 V9200T400FIRC105。 4) 液位計(jì) V9200T400LIRCA177。 1) 流向氯硅烷冷凝器 V9200T400AW230A/B的 冷卻水仍然保持打開。304。 氯硅烷精餾單元 T400 1. TCS 精餾單元 T400 的目的是 ： 從塔底部 產(chǎn)品 STC 中， 分離出 TCS 和 DCS。 5) 打開開關(guān)閥 V9200T100US800和 805。二級(jí)冷凝 單元 包含如下設(shè)備： 1) 還原 爐尾氣 冷凝器 V9200T100AW110A 2) 氫化 爐尾氣 冷凝器 V9200T100AW110B 3) 尾氣 凝液罐 V9200T100AB150 4) 冷凝單元的 凝液輸送泵 V9200T100 AP110A/B 5) 旋流分離器 V9200T100AF110A/B 尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 19 6) 排空槽 V9200T100AB118 2. T100 冷 凝 單元的開車 步驟 1) 預(yù)冷器 V9200T100AW100A/B/C開始運(yùn)行。205開啟。238)的 液位達(dá)到預(yù)定 高度 后 ， 溫度計(jì) V9200T300TICA+426開始 控制，液態(tài)氯化氫進(jìn)入氯化氫 蒸發(fā) 器 200T300AW205。213開始 運(yùn)行 ，從塔 頭 產(chǎn) 物 送 至 HCI緩沖罐 V9200T300AB210。 6) 溫度計(jì) V9200T300TIC411開始 工作 。 尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 18 3) 打開控制閥 V9200T300UC811，解析塔再沸器 V9200T300AW210開始運(yùn)行 。 2. HCl 解析單元的啟動(dòng)步驟 1) 關(guān)閉 解析塔 回流罐至氯化氫緩沖槽 V9200T300AB210線路。 通過(guò) 冷凝器將 HCl 充 入 解析塔回流 罐 V9200T300AB130， 在液位計(jì) V9200T300LIRCA177。 在壓縮單元 啟動(dòng)時(shí)， 壓力計(jì) V9200T300PIRCZA177。309開始 控制 。 9) 在 控制閥 V9200T200UC809下游 的 氫氣 回收 管 線 與 廢氣處理單元 之間 做尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 17 一個(gè) 臨時(shí) 連 接 ，將氫氣流直接導(dǎo)入廢氣處理單元， 直至 氫氣 將 剩余在吸收塔內(nèi)的氮?dú)?完全吹出 。403和 V9200T200TIC425分別顯示為設(shè)定的溫度 65176。 6) V9200T200TIC403 和 V9200T200TIC425開始 運(yùn)行 ， 并冷卻 STC循環(huán)液 。 2) 重新開始 向 氯硅烷回流罐 V9200T100AB160充入 STC， 并 轉(zhuǎn) 輸?shù)?HCI解析塔 V9200T300AK110。 氯化氫 吸收單元 T200 1. T200 氯化氫 吸收 單元的目的是 ： 吸收 尾氣中 除氫氣以外所有的組分 ，并提純氫氣。304開始 運(yùn)行。 5) 當(dāng) 壓縮機(jī)吸氣 口 達(dá)到 所需 的 5barg壓力 后 ，其中的一 臺(tái) 壓縮機(jī)開始 運(yùn)行 。 3) 打開 V5500與 V9200的 補(bǔ)充 氫氣 手動(dòng) 閥門。壓縮單元 T100 由 如下設(shè)備組成： 1) 尾氣壓縮機(jī) V9200T100AV100,101和 102 2) 冷卻器 V9200T100AW111,112和 113 3) 壓縮機(jī)入口 緩沖 器 V9200T100AB111,113和 115 4) 壓縮機(jī)出口 緩沖 器 V9200T100AB112,114和 116 2. 壓縮 機(jī) 單元 T100 的啟動(dòng) 。 6) 當(dāng)吸附塔 V9200T500AK130達(dá)到預(yù)定 溫度后 ， 閥門 V9200T500US803和804關(guān)閉。 2) 關(guān)閉開關(guān)閥 V9200T500US814A和 824A。 由于 吸附過(guò)程 要在 低溫 下進(jìn)行 ，冷卻工序的目的是 ： 使 三個(gè)吸附塔中的一個(gè) 在 開始工作 時(shí)， 活性炭的 溫 度 為 60176。 15) 關(guān)閉電加熱器 V9200T500GC104， 用常溫 氮?dú)?進(jìn)行吹掃 ， 至 到 溫度計(jì)顯示每個(gè)吸附塔的溫度 都 低于 30176。 12) 流量 計(jì) V9200T500FIC103開始 工作。 9) 開關(guān)閥 V9200T500US804A打開 ,814A和 824A，保持 關(guān)閉 。 5) 關(guān)閉開關(guān)閥 V9200T500US801,811和 821。 1) 開始 向 吸附單元輸送氮?dú)?。為實(shí)現(xiàn)這一目的， 在 吸附塔裝 填了 活性炭。 尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 14 16) 繼續(xù)供給 STC， 流量控制器 V9200T300FIRC120開始工作 ， 設(shè)定值不 得大于向尾氣冷凝液罐 V9200T100AB160供料的流 量 。212 檢 測(cè) 液 位 達(dá) 到 預(yù) 定 值 后 ，泵V9200T300AP140A/B開 始 運(yùn)行 。 13) 液位計(jì) V9200T100LICZA177。205 開 始 工作 ， STC 進(jìn)入氯 硅烷凝液槽V9200T100AB110。 此外， 因?yàn)樵谧詈?的 步 驟中沖入 1 barg的氫氣，所以 V9200設(shè)備為正壓運(yùn)行，必須采取 特殊 措施 。202使 罐中的液位保持在正常 運(yùn)行 的 高度 。202檢 測(cè)液位達(dá)到預(yù)定值后 ，精餾塔釜液泵V9200T400AP160A/B開始 運(yùn)行 。202檢 測(cè)液位達(dá)到預(yù)定值后 ， 將 氯硅烷凝液輸送泵 V9200T100 AP110A/B設(shè)置為運(yùn)行狀態(tài)。 初次需注入的 STC 約需 25m3。 11) 給 蒸汽冷凝 液 罐 V9200T980AB120注入 2m3的 超 量 鍋爐 用 水 。 8) 控制 器 V9200T980PIRCA177。持續(xù)對(duì)給蒸汽冷凝罐 V9200T980AB120提供 鍋爐用 水 ， 直到 蒸汽供給裝置 E2020管道全部 裝滿 。 3) V9200T980LICA177。C時(shí)可認(rèn)為冷卻系統(tǒng)準(zhǔn)備好。 7) 根據(jù)制冷機(jī)組供應(yīng)商的 操作手冊(cè) ，將 冷卻單元 V9200T600GC100,102和103設(shè)置到運(yùn)行狀態(tài)。 3) 將 冷凍劑泵 V9200AP170A/B, 190A/B and 200A/B設(shè)置到運(yùn)行狀態(tài)。制冷機(jī)組 T600 包含如下設(shè)備： 1) 制冷機(jī)組 V9200T600GC103 (提供冷凍劑 1) 2) 冷凍劑 1泵 V9200T600AP190A/B 3) 用于冷凍劑 1的膨脹罐 V9200T600AB200 4) 制冷機(jī)組 V9200T600GC102 (提供冷凍劑 2) 5) 冷凍劑泵 2V9200T600AP200A/B 6) 用于冷凍劑 2的膨脹罐 V9200T600AB190 7) 制冷機(jī)組 V9200T600GC100 (提供冷凍劑 3) 8) 冷凍劑 3泵 V9200T600 AP170A/B 9) 用于冷凍劑 3的膨脹罐 V9200T600AB180 2. T600 制冷單元 驟啟動(dòng)步驟 。 系統(tǒng)中用氫氣 置換 氮?dú)獾某绦?， 大體上與前 述 的系統(tǒng)惰性化 過(guò)程 相同 ； 再次從 與 V9200 連接的 V1500 尾氣 管道 開始 。 用氮?dú)庵脫Q完所有設(shè)備和管道后，關(guān)閉所有出口閥門，給系統(tǒng)充入氮?dú)?，保持微正壓，防止外界空氣進(jìn)入。 氮?dú)庵脫Q過(guò)程中， 必須關(guān)閉連接下游設(shè)備的所有閥門，隔離尾氣回收設(shè)備，然后用氮?dú)庵脫Q。 14) 通知 消防隊(duì)、鍋爐房 和所有 供給 尾氣回收系統(tǒng) 操作 物料 的車間 ，這不 局限于工作開始時(shí)。此外，冷卻系統(tǒng)、 蒸汽產(chǎn)生單元 E2020 和尾氣處理單元 V9100 必須就位 ，以便能夠提供所需的服務(wù)。這 同樣 也適用于氣流，例如氫氣，加熱 的蒸汽流和工藝氣體。 6) 必須檢查設(shè)備和 管道的所有排氣口和放空 口，并按要求關(guān)閉。先在設(shè)備的空閑管口連接了一個(gè)壓力記錄裝置，然后用氮?dú)饨o設(shè)備加壓。 4) 所有安全閥門都應(yīng)處于運(yùn)行狀態(tài)，與安全閥門連接的管道不得 堵塞。 尾氣回收系統(tǒng) 首次啟動(dòng) 在 啟動(dòng)之 前， 必須進(jìn) 行以下 工作，以 保證安全操作 和設(shè)備的 良好運(yùn)行。 壓力容器 所有 壓力容器 的設(shè)計(jì) 壓力 都 高于其內(nèi)部可能產(chǎn)生的壓力值 ， 例如：塔或換熱器 。 塔 在塔 V9200T300AK110 和 V9200T400AK120 的出料 管線 和進(jìn)料管線中裝有雙 重 開關(guān) 閥 ，以防止 塔內(nèi)過(guò)壓。內(nèi)部和外部管道大約有 70%的表面是相接觸的。 安全常規(guī) 應(yīng)該在所有的單獨(dú)系統(tǒng)組分和安全設(shè)施通過(guò)安全測(cè)試 達(dá)到技術(shù)要求 后 ，方可尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 9 運(yùn)行 尾氣回收 單元 。系統(tǒng)出現(xiàn)波動(dòng)要及時(shí)匯報(bào)和處理，確保裝置“安、穩(wěn)、長(zhǎng)、滿、優(yōu)”運(yùn)行。雜質(zhì)為 HCl： %。這些粗 STC 送到 V1400 單元相應(yīng)的儲(chǔ)罐。這類化合物遇水很容易發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)生二氧化硅固體。 尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 6 工藝流程圖 3 工藝指標(biāo) VRG 尾氣回收來(lái)自還原氫化車間的 尾氣，包括：氫氣、氯化氫、二氯二氫硅、三氯化硅和四氯化硅。 大部分經(jīng)氫氣過(guò)濾器 AF120AB 過(guò)濾后，返回至增壓尾氣預(yù)冷器 T200AW120AB及增壓尾氣冷卻器 T200AW121AB冷卻壓縮機(jī)出口的混合氣后，一部分回流至尾氣壓縮機(jī) AV100/AV101/AV102 入口補(bǔ)壓，另一部分經(jīng)氫氣緩沖罐 T700AB909，至還原及氫化和三氯氫硅合成工序。冷凝液流入解吸塔回流 槽 T300AB130，回流槽的液體通過(guò)解吸塔冷凝液回流泵 T300AP130AB 加壓，一部分作為解吸塔塔頂回流液，另一部分進(jìn)入氯化氫緩沖罐 T300AB210,經(jīng)氯化氫汽化器 T300AW205 汽化，氣體進(jìn)入氯化氫冷凝器 T300AW208 進(jìn)行氣液分離，液體回到氯化氫汽化器 T300AW205中，氣體氯化氫至三氯氫硅合成工序。 經(jīng)過(guò)深冷、除沫以后的還原及氫化反應(yīng)尾氣進(jìn)入 尾氣壓縮機(jī)入口緩沖罐AB111/AB113/AB115，經(jīng)過(guò)尾氣壓縮機(jī) AV100/AV101AV102 壓縮升壓至