【正文】 200 單元 進行 再 利 用。打開閥門 V9200T300UC808， HCl冷 凝器 V9200T300AW180開始運行 。 4) 逐漸加熱 HCl解析塔 V9200T300AK110的塔釜液 。 8) 開始用 V9200T300FIRC110,111和 118串聯(lián)調(diào)控 蒸汽 供 應 （控制閥V9200T300UC811） 。335開始 運行 。初 級 冷 凝單元 所含的設備 ： 1) 還原 爐尾氣預 冷 凝 器 V9200T100AW100A 2) 氫化 爐尾氣預 冷 凝 器 V9200T100AW100B/C 3) 氯硅烷回流罐 V9200T100AB110 和 160 4) 冷凝單元的 氯硅烷凝液泵 V9200T100AP100A/B和 V9200T100AP105A/B 在 充 入 STC 的 過程 中 ， 氯硅烷凝液泵 V9200T100AP100A/B、氯硅烷凝液循環(huán)泵 V9200T100AP105A/B、 以及 控制 器 V9200T100LICSA177。在 充 入 STC期間 ， 要 開啟氯硅烷凝液輸送泵 V9200T100AP110A/B和控制 器 V9200T100LICSA177。 3) 冷凝器 V9200T100AW110B開始運行 。 7) 打開氯硅烷回流槽 V9200T100AB160通向 氫化單元 V1500的閥門 。202 。 2. 氯硅烷精餾單元 T400 的開車 步驟 。 調(diào)整 蒸汽流量后，塔可穩(wěn)定 運行 。 尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 20 5) 當氯硅烷精餾塔 V9200T400AK120內(nèi)的溫度 達到 預定 溫度后， 開始 串 聯(lián)調(diào)節(jié) V9200T400FQRC101和 FQ106。 到此 ， V9200 裝置可 視 正常 運行 。 V9200T100AW100B/C 出 口的蒸汽與來自 HCl 解吸塔塔V9200T300AK110 的 HCl 蒸汽流相連。冷卻器通過 V9200T100AW110A 的溫度控制器 V9200T100TIC408 和V9200T100AW110B 的溫度控制器 V9200T100TIC410 調(diào)節(jié)冷卻介質(zhì)的流量，使尾氣的出口溫度保持在所要求的水平。尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 21 第二級冷凝器 V9200T100AW110A/B 的冷卻介質(zhì)是甲苯，它 的供應溫度為 20℃，返回溫度是 15 176。 冷凝單元 T100 T100 冷凝單元包含以下設備： 1) 還原爐尾氣預冷凝器 V9200T100AW100A 2) 氫化爐尾氣預冷凝器 V9200T100AW100B/C 3) 尾氣冷凝液罐 V9200T100AB110 和 160 4) 冷凝單元的氯硅烷冷凝泵 V9200T100AP100A/B 和 105A/B 5) 反應氯硅烷冷卻器 V9200T100AW110A 6) 氫化氯硅烷冷卻器 V9200T100AW110B 7) 氯硅烷冷凝液緩沖槽 V9200T100AB150 8) 氯硅烷冷凝液輸送泵 V9200T100AP110A/B 9) 旋風分離器 V9200T100AF110A/B 初 級 和 二 級 冷 凝 器 V9200T100AW100A/B/C 和V9200T100AW110A/B 進 入冷凝單元第一級冷凝器 V9200T100AW100A/B/C 的尾氣的溫度大約在200℃（反應溫度） ，被冷卻到溫度大約為 36℃。405和 V9200T400FIRC105。 4) 液位計 V9200T400LIRCA177。 1) 流向氯硅烷冷凝器 V9200T400AW230A/B的 冷卻水仍然保持打開。304。 氯硅烷精餾單元 T400 1. TCS 精餾單元 T400 的目的是 ： 從塔底部 產(chǎn)品 STC 中， 分離出 TCS 和 DCS。 5) 打開開關閥 V9200T100US800和 805。二級冷凝 單元 包含如下設備： 1) 還原 爐尾氣 冷凝器 V9200T100AW110A 2) 氫化 爐尾氣 冷凝器 V9200T100AW110B 3) 尾氣 凝液罐 V9200T100AB150 4) 冷凝單元的 凝液輸送泵 V9200T100 AP110A/B 5) 旋流分離器 V9200T100AF110A/B 尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 19 6) 排空槽 V9200T100AB118 2. T100 冷 凝 單元的開車 步驟 1) 預冷器 V9200T100AW100A/B/C開始運行。205開啟。238)的 液位達到預定 高度 后 ， 溫度計 V9200T300TICA+426開始 控制，液態(tài)氯化氫進入氯化氫 蒸發(fā) 器 200T300AW205。213開始 運行 ，從塔 頭 產(chǎn) 物 送 至 HCI緩沖罐 V9200T300AB210。 6) 溫度計 V9200T300TIC411開始 工作 。 尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 18 3) 打開控制閥 V9200T300UC811，解析塔再沸器 V9200T300AW210開始運行 。 2. HCl 解析單元的啟動步驟 1) 關閉 解析塔 回流罐至氯化氫緩沖槽 V9200T300AB210線路。 通過 冷凝器將 HCl 充 入 解析塔回流 罐 V9200T300AB130， 在液位計 V9200T300LIRCA177。 在壓縮單元 啟動時， 壓力計 V9200T300PIRCZA177。309開始 控制 。 9) 在 控制閥 V9200T200UC809下游 的 氫氣 回收 管 線 與 廢氣處理單元 之間 做尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 17 一個 臨時 連 接 ，將氫氣流直接導入廢氣處理單元， 直至 氫氣 將 剩余在吸收塔內(nèi)的氮氣 完全吹出 。403和 V9200T200TIC425分別顯示為設定的溫度 65176。 6) V9200T200TIC403 和 V9200T200TIC425開始 運行 ， 并冷卻 STC循環(huán)液 。 2) 重新開始 向 氯硅烷回流罐 V9200T100AB160充入 STC， 并 轉(zhuǎn) 輸?shù)?HCI解析塔 V9200T300AK110。 氯化氫 吸收單元 T200 1. T200 氯化氫 吸收 單元的目的是 ： 吸收 尾氣中 除氫氣以外所有的組分 ，并提純氫氣。304開始 運行。 5) 當 壓縮機吸氣 口 達到 所需 的 5barg壓力 后 ，其中的一 臺 壓縮機開始 運行 。 3) 打開 V5500與 V9200的 補充 氫氣 手動 閥門。壓縮單元 T100 由 如下設備組成： 1) 尾氣壓縮機 V9200T100AV100,101和 102 2) 冷卻器 V9200T100AW111,112和 113 3) 壓縮機入口 緩沖 器 V9200T100AB111,113和 115 4) 壓縮機出口 緩沖 器 V9200T100AB112,114和 116 2. 壓縮 機 單元 T100 的啟動 。 6) 當吸附塔 V9200T500AK130達到預定 溫度后 ， 閥門 V9200T500US803和804關閉。 2) 關閉開關閥 V9200T500US814A和 824A。 由于 吸附過程 要在 低溫 下進行 ，冷卻工序的目的是 ： 使 三個吸附塔中的一個 在 開始工作 時， 活性炭的 溫 度 為 60176。 15) 關閉電加熱器 V9200T500GC104， 用常溫 氮氣 進行吹掃 ， 至 到 溫度計顯示每個吸附塔的溫度 都 低于 30176。 12) 流量 計 V9200T500FIC103開始 工作。 9) 開關閥 V9200T500US804A打開 ,814A和 824A，保持 關閉 。 5) 關閉開關閥 V9200T500US801,811和 821。 1) 開始 向 吸附單元輸送氮氣 。為實現(xiàn)這一目的， 在 吸附塔裝 填了 活性炭。 尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 14 16) 繼續(xù)供給 STC， 流量控制器 V9200T300FIRC120開始工作 ， 設定值不 得大于向尾氣冷凝液罐 V9200T100AB160供料的流 量 。212 檢 測 液 位 達 到 預 定 值 后 ，泵V9200T300AP140A/B開 始 運行 。 13) 液位計 V9200T100LICZA177。205 開 始 工作 ， STC 進入氯 硅烷凝液槽V9200T100AB110。 此外， 因為在最后 的 步 驟中沖入 1 barg的氫氣，所以 V9200設備為正壓運行，必須采取 特殊 措施 。202使 罐中的液位保持在正常 運行 的 高度 。202檢 測液位達到預定值后 ，精餾塔釜液泵V9200T400AP160A/B開始 運行 。202檢 測液位達到預定值后 ， 將 氯硅烷凝液輸送泵 V9200T100 AP110A/B設置為運行狀態(tài)。 初次需注入的 STC 約需 25m3。 11) 給 蒸汽冷凝 液 罐 V9200T980AB120注入 2m3的 超 量 鍋爐 用 水 。 8) 控制 器 V9200T980PIRCA177。持續(xù)對給蒸汽冷凝罐 V9200T980AB120提供 鍋爐用 水 ， 直到 蒸汽供給裝置 E2020管道全部 裝滿 。 3) V9200T980LICA177。C時可認為冷卻系統(tǒng)準備好。 7) 根據(jù)制冷機組供應商的 操作手冊 ，將 冷卻單元 V9200T600GC100,102和103設置到運行狀態(tài)。 3) 將 冷凍劑泵 V9200AP170A/B, 190A/B and 200A/B設置到運行狀態(tài)。制冷機組 T600 包含如下設備： 1) 制冷機組 V9200T600GC103 (提供冷凍劑 1) 2) 冷凍劑 1泵 V9200T600AP190A/B 3) 用于冷凍劑 1的膨脹罐 V9200T600AB200 4) 制冷機組 V9200T600GC102 (提供冷凍劑 2) 5) 冷凍劑泵 2V9200T600AP200A/B 6) 用于冷凍劑 2的膨脹罐 V9200T600AB190 7) 制冷機組 V9200T600GC100 (提供冷凍劑 3) 8) 冷凍劑 3泵 V9200T600 AP170A/B 9) 用于冷凍劑 3的膨脹罐 V9200T600AB180 2. T600 制冷單元 驟啟動步驟 。 系統(tǒng)中用氫氣 置換 氮氣的程序 ， 大體上與前 述 的系統(tǒng)惰性化 過程 相同 ； 再次從 與 V9200 連接的 V1500 尾氣 管道 開始 。 用氮氣置換完所有設備和管道后，關閉所有出口閥門，給系統(tǒng)充入氮氣，保持微正壓，防止外界空氣進入。 氮氣置換過程中， 必須關閉連接下游設備的所有閥門，隔離尾氣回收設備，然后用氮氣置換。 14) 通知 消防隊、鍋爐房 和所有 供給 尾氣回收系統(tǒng) 操作 物料 的車間 ，這不 局限于工作開始時。此外，冷卻系統(tǒng)、 蒸汽產(chǎn)生單元 E2020 和尾氣處理單元 V9100 必須就位 ，以便能夠提供所需的服務。這 同樣 也適用于氣流，例如氫氣，加熱 的蒸汽流和工藝氣體。 6) 必須檢查設備和 管道的所有排氣口和放空 口，并按要求關閉。先在設備的空閑管口連接了一個壓力記錄裝置，然后用氮氣給設備加壓。 4) 所有安全閥門都應處于運行狀態(tài)，與安全閥門連接的管道不得 堵塞。 尾氣回收系統(tǒng) 首次啟動 在 啟動之 前， 必須進 行以下 工作，以 保證安全操作 和設備的 良好運行。 壓力容器 所有 壓力容器 的設計 壓力 都 高于其內(nèi)部可能產(chǎn)生的壓力值 ， 例如：塔或換熱器 。 塔 在塔 V9200T300AK110 和 V9200T400AK120 的出料 管線 和進料管線中裝有雙 重 開關 閥 ，以防止 塔內(nèi)過壓。內(nèi)部和外部管道大約有 70%的表面是相接觸的。 安全常規(guī) 應該在所有的單獨系統(tǒng)組分和安全設施通過安全測試 達到技術要求 后 ，方可尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 9 運行 尾氣回收 單元 。系統(tǒng)出現(xiàn)波動要及時匯報和處理，確保裝置“安、穩(wěn)、長、滿、優(yōu)”運行。雜質(zhì)為 HCl： %。這些粗 STC 送到 V1400 單元相應的儲罐。這類化合物遇水很容易發(fā)生反應產(chǎn)生二氧化硅固體。 尾氣回收工藝操作規(guī)程（絕密） 6 工藝流程圖 3 工藝指標 VRG 尾氣回收來自還原氫化車間的 尾氣，包括：氫氣、氯化氫、二氯二氫硅、三氯化硅和四氯化硅。 大部分經(jīng)氫氣過濾器 AF120AB 過濾后，返回至增壓尾氣預冷器 T200AW120AB及增壓尾氣冷卻器 T200AW121AB冷卻壓縮機出口的混合氣后，一部分回流至尾氣壓縮機 AV100/AV101/AV102 入口補壓，另一部分經(jīng)氫氣緩沖罐 T700AB909，至還原及氫化和三氯氫硅合成工序。冷凝液流入解吸塔回流 槽 T300AB130，回流槽的液體通過解吸塔冷凝液回流泵 T300AP130AB 加壓，一部分作為解吸塔塔頂回流液，另一部分進入氯化氫緩沖罐 T300AB210,經(jīng)氯化氫汽化器 T300AW205 汽化，氣體進入氯化氫冷凝器 T300AW208 進行氣液分離，液體回到氯化氫汽化器 T300AW205中，氣體氯化氫至三氯氫硅合成工序。 經(jīng)過深冷、除沫以后的還原及氫化反應尾氣進入 尾氣壓縮機入口緩沖罐AB111/AB113/AB115，經(jīng)過尾氣壓縮機 AV100/AV101AV102 壓縮升壓至