【正文】 等高真空泵的前級(jí)泵，相對(duì)于旋片式真空泵，H型滑閥泵比較耐用，使用壽命長(zhǎng)。由于結(jié)構(gòu)上的特點(diǎn)，使得這種泵具有能夠長(zhǎng)期在較高壓強(qiáng)和較差的抽氣條件下工作、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，在各個(gè)領(lǐng)域(例如真空冶煉、真空干燥、真空鍍膜、真空浸潰等其他真空作業(yè)領(lǐng)域)都得到了廣泛的應(yīng)用。與一般旋片式真空泵一樣，滑閥式真空泵也有單級(jí)與雙極之分，當(dāng)然根據(jù)它的結(jié)構(gòu)特征還有立式和臥式兩種不同的結(jié)構(gòu)形式。7．滑閥式真空泵 滑閥式真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)滑閥式真空泵是工業(yè)領(lǐng)域常用的一種油封式真空泵。 旋片式真空泵的使用特點(diǎn)抽氣速率： 4~100L/S (升/秒)極限壓強(qiáng)： ≤6*102Pa (帕)極限真空： ≤ (帕)氣體類型： 常溫?zé)o其它混合物的清潔干燥空氣，不許有含其它粉塵及水分的空氣。（5）設(shè)有自動(dòng)防返油雙重保險(xiǎn)裝置。 性能特點(diǎn)旋片真空泵是由旋片分隔的泵腔工作室容積周期性變化以實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵，當(dāng)采用工作液來(lái)進(jìn)行潤(rùn)滑并填充泵腔死隙，分隔排氣閥和大氣時(shí)，即為通常所稱的迅達(dá)真空泵的旋片真空泵，在性能上有如下特點(diǎn)：（1）體積小、重量輕、噪音低。接通被抽系統(tǒng)閥門(mén)時(shí)不要開(kāi)得太快，防止大量噴油。如有氣鎮(zhèn)裝置的泵，可抽除一定地的可凝汽體。 旋片式真空泵是抽除氣體的基本設(shè)備之一，它可單獨(dú)使用，也可與增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵等超高泵連接在一起作為前級(jí)泵使用。④一般供應(yīng)的電動(dòng)機(jī)不防爆，如要求防爆或其它特殊要求時(shí)電動(dòng)機(jī)必須符合相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)。②入口壓力范圍：100Pa—100000 Pa，超出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。泵由空氣冷卻。 旋片式真空泵的特點(diǎn)及適用范圍（1）特點(diǎn)：真空泵吸氣口安裝有金屬絲網(wǎng)的粗過(guò)濾器。泵主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片等組成，轉(zhuǎn)子被偏心地裝入定子腔內(nèi)。旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。這意味著真空噴射泵的初始揣吸量必須很大(幾千kg/h)。（4）同樣，涉及大體積流的情況是在煉鋼脫氣的真空產(chǎn)生中。（3）在煉油廠，水蒸汽真空噴射泵同液環(huán)泵組合用于煉油廠的減壓精餾塔系統(tǒng)。（2）在化學(xué)工業(yè)中，如果不銹鋼不能滿足耐腐要求，可使用陶瓷/石墨的真空噴射泵來(lái)脫除腐蝕性氣體和水蒸汽。另外，由于冷凝液循環(huán)使用，無(wú)排放污染。操作安全可靠，無(wú)需保養(yǎng)。由于有機(jī)蒸汽的蒸發(fā)溫度低，在大多數(shù)情況下，這種操作方式比采用水蒸汽運(yùn)行更有利于節(jié)省能源。雖然量很小，而且即使把廢水的排放費(fèi)用考慮進(jìn)去，水蒸汽噴射泵仍是最經(jīng)濟(jì)的真空泵，但對(duì)真空噴射泵來(lái)說(shuō)總是有一定的負(fù)面影響。根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)合，采用直接接觸冷凝器或表面冷凝器。（2）用水蒸汽作為動(dòng)力介質(zhì)的噴射泵形成真空是一個(gè)重要應(yīng)用領(lǐng)域。噴射泵用于產(chǎn)生真空是另一個(gè)非常重要的應(yīng)用。能輸高溫的、腐蝕性的以及含有固體顆粒的流體。水噴射的速度，通常為15～30m/s左右。根據(jù)工作介質(zhì)是高壓空氣還是常壓空氣，可將其分為一般空氣噴射泵和大氣噴射泵。如圖11 15所示，其工作過(guò)程分為3個(gè)階段：一是絕熱膨脹階段，即工作蒸汽通過(guò)噴嘴絕熱膨脹的過(guò)程，工作蒸汽將其壓力能轉(zhuǎn)化為速度能，并以很高的速度噴射出。噴射式泵的工作流體可以是蒸汽，也可以是水，還可以是其他液體或氣體。（2）操作簡(jiǎn)單維修方便，不用專職人員看管。噴咀座板加工精密，精度較高，以便噴射水流準(zhǔn)確地聚集在同一的焦點(diǎn)。但目前生產(chǎn)水力噴射器的制造廠較小，品種亦不齊全。5．水噴射真空泵 水噴射真空泵原理與用途水噴射真空泵是一種具有抽真空、冷凝、排水等三種有效能的機(jī)械裝置。為了便于檢查和維修傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，機(jī)體兩側(cè)和后面裝有可拆卸的門(mén)蓋，在后蓋上裝有油窗以批示機(jī)體內(nèi)油池的油面高度 W型往復(fù)式真空泵的應(yīng)用w型往復(fù)式真空泵已被廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)部門(mén)，例如化工或食品工業(yè)中的真空蒸餾、蒸發(fā)、結(jié)晶、干燥和過(guò)濾，真空冶金工業(yè)中的除氣，電氣工業(yè)上的浸滲等。連桿把曲軸的軸頸和十字頭連接起來(lái)。W型往復(fù)式真空泵，是獲得粗真空的主要設(shè)備之一，它用于從密閉容器中或反應(yīng)鍋中抽除真空或其它氣體，它不適用于抽除腐蝕性的氣體或者帶有硬顆?；曳鄣臍怏w。往復(fù)式真空泵不適用于抽除含氧過(guò)高的、有爆炸性的、對(duì)金屬有腐蝕性的、以及含有顆粒塵埃的氣體，也不適用于把氣體從一個(gè)容器輸送到另一個(gè)容器，作輸送泵用。與水環(huán)式真空泵相比，效率稍高。食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮，食品包裝等。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。②中等條件下的抽氣，抽除工藝過(guò)程的反應(yīng)氣體，但無(wú)固體顆粒物。紡織、冶金等行業(yè) 在氨綸、芳綸、纖維、冶金等相關(guān)工藝中應(yīng)用干式真空泵， 具體應(yīng)用：真空脫泡、VOD真空吹氧脫碳法等。食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮，食品包裝等。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。螺桿式干式真空泵具有強(qiáng)制輸氣的特點(diǎn)，在寬廣的壓力范圍內(nèi)能保持較高的抽速，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響。（2）操作維護(hù)方便。②根據(jù)系統(tǒng)所需要的抽氣量正確選擇真空泵如果選定了真空泵或者真空機(jī)組的類型之后，還需要要根據(jù)系統(tǒng)所需的抽氣量來(lái)選用正確的型號(hào)。過(guò)大的汽蝕會(huì)導(dǎo)致泵體、葉輪等零部件的損壞，以致于真空泵無(wú)法正常工作。水環(huán)式真空泵正常工作以后需要注意的有兩點(diǎn)：①盡可能要求所選真空泵的真空度要求在高效區(qū)間內(nèi)，也就是在臨界所需真空度或臨界所需排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運(yùn)行，這樣才能保證真空泵能夠按照需要的條件和要求正常工作。（12）在設(shè)施處理中的應(yīng)用：烘干地板、水路管防腐保護(hù)、中央真空清潔系統(tǒng)。（8）在食品和飲料行業(yè)中的應(yīng)用：鮭魚(yú)清潔機(jī)、礦泉水除氣、色拉油及脂肪除臭、茶葉和調(diào)味品殺菌、香腸火腿生產(chǎn)、煙草制品濕化、真空蒸發(fā)器。（4）在紙漿和紙張生產(chǎn)中的應(yīng)用：黑液蒸發(fā)、粗漿洗漿機(jī)、石灰泥漿和過(guò)濾器、沉淀物過(guò)濾器、真空脫水機(jī)、原料和白水除氣系統(tǒng)、調(diào)漿箱壓縮機(jī)、吸水箱、伏輥、吸移輥和傳遞輥、真空壓榨、毛布吸水箱、防吹箱?？偟恼f(shuō)來(lái)，由于水環(huán)泵具有等溫壓縮和用水作封液，可以抽除易燃、易爆及腐蝕性氣體，還可以抽除含有灰塵和水分的氣體等突出優(yōu)點(diǎn)，所以得到了廣泛的應(yīng)用。⑤由于沒(méi)有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體及氣水混合物。用較小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得較大的排氣量。水環(huán)泵前面串聯(lián)大氣泵是為了提高極限真空，擴(kuò)大泵的使用范圍。（3） 雙級(jí)水環(huán)泵：雙級(jí)水環(huán)泵大多是單作用泵串聯(lián)而成。（2）單級(jí)雙作用水環(huán)泵：?jiǎn)渭?jí)是指只有一個(gè)葉輪，雙作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進(jìn)行二次。（8）核工業(yè)：零泄露爪泵可抽除UF6氣體。（4）科研院所：旋蒸、蒸餾、精餾、聚合、負(fù)壓抽濾、真空干燥、中試裝置、風(fēng)洞試驗(yàn)、真空環(huán)境模擬等。③能抽除易燃易爆氣體：如氧氣、氫氣、甲烷等。轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵腔內(nèi)部留有微小縫隙，轉(zhuǎn)子懸浮于泵腔使得過(guò)流部分無(wú)任何實(shí)質(zhì)性接觸摩擦，也不需要潤(rùn)滑，這就保證了爪泵可以長(zhǎng)期穩(wěn)定保持極限真空、抽速、壓縮比不變，壽命長(zhǎng)。如圖所示，四級(jí)泵腔依次串聯(lián)，每級(jí)泵腔內(nèi)各有一對(duì)共軛嚙合，做同步反向運(yùn)動(dòng)的爪型轉(zhuǎn)子。 爪型干式真空泵的結(jié)構(gòu)爪型干式真空泵的結(jié)構(gòu)，一般采用多級(jí)轉(zhuǎn)子串聯(lián)，或羅茨轉(zhuǎn)子與多級(jí)轉(zhuǎn)子串聯(lián)的形式，組成多級(jí)爪型干式真空泵。電動(dòng)機(jī)倒立安裝，經(jīng)過(guò)渡齒輪將動(dòng)力傳遞到轉(zhuǎn)子軸上，轉(zhuǎn)子軸由一對(duì)同步時(shí)限齒輪帶動(dòng)及調(diào)整和固定轉(zhuǎn)子的相位。②能抽除可凝性氣體：如酒精、汽油等。（3）食品行業(yè)：升華、干燥、脫水、真空蒸發(fā)、真空保鮮、真空包裝等。（7）冶金行業(yè)：浸漬、擠出、真空鍍膜、離子刻蝕、泥料脫氣、鋼水脫氣、分子束外延等。這種泵的極限真空較高，但抽速和效率較低。此種泵的抽速較大，效率也較高，但極限真空較低。（4）大氣水環(huán)泵：大氣水環(huán)泵實(shí)際是大氣噴射器串聯(lián)水環(huán)泵的機(jī)組。②結(jié)構(gòu)緊湊，泵一般與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，轉(zhuǎn)數(shù)較高。④泵腔內(nèi)壓縮氣體過(guò)程溫度變化很小，可認(rèn)為是等溫壓縮，故可以抽除易燃、易爆的氣體。這不僅是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。（3）在制行業(yè)中的應(yīng)用：干燥 (托盤(pán)、旋轉(zhuǎn)、翻轉(zhuǎn)、錐形和冷凍干燥器)、再生產(chǎn)/反應(yīng)堆干燥、蒸餾、除氣、晶化/汽化、加注和/或材料轉(zhuǎn)移。（7）在環(huán)保行業(yè)中的應(yīng)用：廢水處理、沼氣壓縮、真空加水、廢水凈化/活性污泥箱氧化、魚(yú)塘通風(fēng)、垃圾產(chǎn)生氣體回收(生物氣體)、沼氣回收 (生物氣體)、廢物處理機(jī)。（11）在海運(yùn)行業(yè)中的應(yīng)用：冷凝器排氣、中央真空抽水、船用低壓空氣壓縮機(jī)、渦輪機(jī)密封管排氣。 水環(huán)式真空泵的選擇要點(diǎn)（1）水環(huán)式真空泵類型的確定水環(huán)式真空泵的類型主要由所抽介質(zhì)、工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。對(duì)于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行，往往還會(huì)發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯現(xiàn)象是真空泵內(nèi)有噪音和振動(dòng)。如果真空度要求在710mmHg以上，可選用羅茨水環(huán)真空機(jī)組作為抽真空裝置。螺桿式干式真空泵零部件少，沒(méi)有易損件，因此它運(yùn)轉(zhuǎn)可靠，壽命長(zhǎng)。（4）適應(yīng)性強(qiáng)。 螺桿式干式真空泵的應(yīng)用螺桿式干式真空泵廣泛應(yīng)用于電子、核能、化工、醫(yī)