《蒸鍍車間一周總結(jié)》ppt課件-全文預(yù)覽
【正文】 如下圖。 蒸發(fā)鍍膜 濺射鍍膜 離子鍍膜 真空鍍膜 蒸發(fā)鍍膜 ? 通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為蒸發(fā)鍍膜。 而形成的 e型槍應(yīng)用最廣），膜料放入水冷銅坩堝中，電子束自源發(fā)出，用磁場(chǎng)線圈使電子束聚焦和偏轉(zhuǎn)，對(duì)膜料進(jìn)行轟擊和加熱，如下圖。 影響 ITO導(dǎo)電性的因素 面電阻 R□ 電阻率 ρ 膜厚 d 沉積時(shí)間 沉積速率 載流子濃度 n 載流子遷移率 τ 氧含量 錫含量 結(jié)晶狀態(tài) 晶體結(jié)構(gòu) 缺陷密度 濺射電壓 沉積溫度 成膜條件
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