《無塵車間培訓(xùn)教材》ppt課件-全文預(yù)覽
【正文】 凈室除外 ) 送 風(fēng) 量 氣流流經(jīng)室內(nèi)斷面風(fēng)速 (m/s) 不小于 不小于 換氣次數(shù)(次 /h) 不小于 25 不小于 15 不小于 12 氣流組織型式及換氣次數(shù) 潔凈室設(shè)計(jì)基礎(chǔ) 16 氣流流型及換氣次數(shù) — 摘自 GB500732022 17 潔凈室設(shè)計(jì)基礎(chǔ) 比色法效率測(cè)試 : 比色法效率也稱 ASHRAE（美國采暖、制冷與空調(diào)工程師協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)）效率，試驗(yàn)塵源為高濃度標(biāo)準(zhǔn)人工塵，測(cè)量塵源為大氣塵。 (2)潔凈管道 (Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。 垂直 單 方向流方式 FFU 12 層流式典型結(jié)構(gòu)形式 適用潔凈等級(jí) 1100級(jí) 13 混流方式 復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。 缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲需達(dá)到設(shè)定要求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。 7 一般微粒粒徑對(duì)比 m 微塵粒徑 人類頭發(fā) (15μ m) 肉眼可視 (5μ m) 感性認(rèn)知 8 1,000 10,000 外大氣 層 大氣 層 田園地 帶 街市區(qū) 10,000,000 1,000,000 100,000 工 業(yè) 地 帶 一般自然界氣體等級(jí) 感性認(rèn)知 9 非 單 方向流方式 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器 (HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。 6 美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)（ USA Federal Standard） 209E（ 1992年） 1m3=。 Cn 是以四舍五入至相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位數(shù)。 ? 潔凈工作服 ：為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。 4 相關(guān)術(shù)語 ? 懸浮微粒 ：一般指懸浮于空氣中的固態(tài)和液態(tài)微粒，其粒徑尺寸范圍約在～ 5μm 之間。無塵車間培訓(xùn)教材 摘 要 一、潔凈室基礎(chǔ)知識(shí) 三、潔凈室管控手段 二、潔凈室設(shè)計(jì)簡(jiǎn)介 潔凈室分類（形式） 潔凈室設(shè)計(jì)基礎(chǔ) ?氣流組織型式及換氣次數(shù) ?濾網(wǎng)過濾流程 ?送風(fēng)量及 FFU數(shù)量計(jì)算 ?濾網(wǎng)壽命 ?溫濕度控制 ?正壓 四、潔凈室人員管理 潔凈室最主要的污染源 ?發(fā)塵源及量 ?人的污染 發(fā)菌量 潔凈室人員管理規(guī)定 3 潔凈室之定義 潔凈室 (Clean Room),也稱為無塵室。 因此，潔凈室是保證諸如醫(yī)藥、半導(dǎo)體、太陽能電池板等對(duì)環(huán)境要求較高之行業(yè)進(jìn)行批量生產(chǎn)所必備之條件要求。 ? 風(fēng)淋室：氣閘室的一種，通過安裝風(fēng)機(jī)、過濾網(wǎng)及控制系統(tǒng)等對(duì)入室人員進(jìn)行周身吹掃通道，它是減少外來污染的有效途徑之一。 5 潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn) 國家標(biāo)準(zhǔn) GB500732022 式中 ： Cn— 大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度 (pc/m3)。 — 常數(shù)，其量綱為 μm。 但目前半導(dǎo)體行業(yè)中普遍采用的均為千級(jí)（ 6級(jí)）或萬級(jí)（ 7級(jí)），只有局部區(qū)域的高自動(dòng)化作業(yè)才要求百級(jí)（ 5級(jí)）甚至更高。 優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室擴(kuò)充比較容易 缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。 優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)
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