《激光干涉測長技術(shù)》ppt課件-全文預(yù)覽
【正文】 ? ? ? ???? ? ?21ikKk? ?四 、 非期望光的抑制 那些不反映被測量的光就稱為非期望光線或雜光 。 由此激光光束截面上的不同點 ， 有確定的位相關(guān)系 ， 所以激光光束截面上各點發(fā)出的光皆可產(chǎn)生干涉 。 MmMmIIkII???? ?s ink?? ? ?? ? ??? ? ??? ? ?又知 ， 光源的相干長度 δΔυ為 于是 ， 只要干涉系統(tǒng)的光程差等于或小于光源相干長度的四分之一 ，即以 代入對比度便可達(dá) 對于波長 λ=6328197。 當(dāng) k≥ ， 對比度是好的 。 M1每移動 λ/2k就有一個干涉條紋的位移 。 缺點是調(diào)整不方便 。 幾種典型布局 2． 整體式布局 。缺點是這種成對使用的角錐棱鏡要求配對加工 ， 而且加工精度要求高 。 一 、 基本測量公式 邁克爾遜雙光束干涉儀測長的公式為 （ 在真空中 ） （“增量法”測長） 當(dāng)介質(zhì)為空氣時 ， 上式變?yōu)? 式中 L為被測長度 ， n是空氣折射率 ， λ0是真空中的波長 ， N是干涉條紋明暗變化的數(shù)目 。 4． 降低了對光闌的要求 。 2． 無需補償板 。 建議將 “ 米 ” 定義為 “ 平面電磁波在 1/299792458秒的時間間隔內(nèi)在真空中傳播的距離 ” 。 激光干涉測量技術(shù)不僅被廣泛用于對物體長度 、 角度 、 形狀 、 位移等幾何量的測量 ， 還可利用其測量原理對物理量 （ 如形變 、 速度 、 振動等 ） 及光學(xué)系統(tǒng)特性 （ 如象差 ， 光學(xué)傳遞函數(shù) ） 等進(jìn)行測量 。 激光的出現(xiàn)和計算機(jī)技術(shù) ， 微電子技術(shù)的發(fā)展給光干涉技術(shù)注入了新的活力 ， 并已成為現(xiàn)代光學(xué)中一個重要的分支 。 在 1979年 6月召開的國際 “ 米 ” 定義咨詢委員會第六次會議上 ， 已提出了一個 “ 米 ” 定義的建議草案 。 1． 實現(xiàn)了條紋計數(shù)自動測量 。 由于反射光束和入射光束是非共軸的 ， 從而避免了反射光的干擾 。 5． 空氣折射率自動測量與修正 。 （ 1） 圖 （ a） 結(jié)構(gòu)的主要特點是反射光束不能反饋回激光器 。 所以也叫做雙光程干涉儀系統(tǒng) 。 特點：系統(tǒng)對外界的抗干擾性較好 。 為了提高干涉儀的靈敏度 ， 可以用光學(xué)倍頻 （ 也稱光程差放大器 ）的棱鏡系統(tǒng) ， 如圖
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