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中芯國際集成電路制造天津有限公司驗收評價報告-全文預覽

2024-09-17 13:59 上一頁面

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【正文】 ,必須與爆炸物品、氧化劑、易燃物品、自燃物品、腐蝕性物品隔離貯存。性質相抵觸的化學危險品嚴禁放在一起。 SJ3000292 √ 貯存氧化劑、易燃易爆物質的貯存室地面為不發(fā)火花地面。 √ 該庫安全要求。 公安部 6號令第 41條 √ 庫房內照明開關、用電設備控制都在庫外的電氣間。 化學危險品庫的通風管應采用非燃燒材料制作。 化學危險品庫房,必須安裝通風 設備。應采取隔熱、通風、防止陽光直射措施,保證庫內空氣流通、干燥涼爽,應避免可燃氣體積聚,并根據物品的種類、性質,采取相應的防爆、泄壓、防火、滅火、防雷、報警、調溫、防潮、消除靜電、防護圍堤等安全措施。 貯存化學危險品的建筑物,不得 有地下室或其它地下建筑。 2 建筑物及設施 化學危險品庫房的建筑耐火等級應為二級,單層,建筑面積不大于 750m2。 貯存化學危險品的建筑物,區(qū)域 內嚴禁吸煙和使用明火。 國務院令第344號 9條 ∽ 此項工作正在辦理過程中。只要在生產過程中嚴格執(zhí)行各項安全生產管理制度和安全操作規(guī)程,可以實現安全生產。通過對作業(yè)現場安全現狀考察與分析,還存在一些不符合規(guī)定的安全問題,具體問題和建議如下: A. 因潔凈室生產廠房、易燃氣體室未設置泄壓設施,并且未按SJ3000292 標準設置在多層廠房頂層,因此需采取有效措施,保障各類防火、防爆、排風系統(tǒng)等安全裝置、設施的齊備、完好及有效性。 4) 危險源綜合分析與評價 ① 單元的主要危險因素 SMIC 中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產工藝復雜,同時使用多種易燃、易爆、有毒化學試劑和易燃、有毒氣體,按照GBJ1687“生產的火災危險性分類 ”為甲類,因此火災、爆炸、中毒是本單元的主要危險因素,其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害等。 廠房、動力站房的安全出口及疏散通道,應設置明顯的標志。 序號 檢查項目及內容 依據法規(guī) 檢查結果 備注 瓶,必須放置在設有排風防護裝置的金屬柜內。 氣瓶放置地點不得靠近熱源和明火,應保證氣瓶干燥。 SJ3000292 √ 設置不同類型報警裝置。 SJ3000292 √ 生產廠房應設置火災自動報警檢測 系統(tǒng)。 在重點防火、防爆作業(yè)區(qū)的入口處,應設計人體導除靜電裝置;并配備個人防靜電防護用品。 電氣設備線路必須安全可靠 ,照明應采用有防護罩的燈具。 SJ3000292 √ 消防設施、防煙排煙系統(tǒng)、電動防火門窗、火災應急照明、消防用電設備,應采用單獨的供電回路,并當發(fā)生火災切斷生產、生活用電時,應仍保證消防用電。 檢測和控制儀表的電源和氣源,停電或停氣可能使生產、動力設備造成重大事故時,必須有備用電、氣源。報警裝置宜與生產設備、操作閥聯(lián)鎖,不工作,亦應定時進行排風。 有關領導和從業(yè)人員必須接受法律、法規(guī)、規(guī)章和安全知識、專業(yè)技術的培訓,經考核合格,方可上崗作業(yè)。 GB156031995 √ 單獨存放。 工作場所安全使用化學品規(guī)定 第 17 條 √ 設置應急用品柜,提供處理方法。 GBJ1687 ∽ 硅烷室設泄壓其余無,安全出口均不少于 2 個。 易燃、易爆的車間,應采用易于清洗、 撞擊或磨擦時不產生火花的地面。 對于輸送具有較強腐蝕性液體的化學藥劑泵、在其填料函或機械密封圈、法蘭、閥門易噴射泄漏處,應設置適當的安全防護。 SJ3000292 √ 雙層套管內設泄漏檢測。 SJ3000292 √ 分酸、 堿有毒氣體室、硅烷室、易燃氣體室等。 SJ3000292 √ 潔凈廠房內用于硅烷等容易自燃氣體的風管宜采用不銹鋼管、排放含酸、堿性氣體的風管應采用不燃或經過防火處理的專用塑料風管或不銹鋼風管。 凡使用酸、堿或有機溶劑進行化學清洗 的設備,必須裝設局部排風聯(lián)鎖。 SJ3000292 √ 防泄漏收集采用二次容器, 倍容積。 SJ3000292 ∽ 已做監(jiān)測,數據暫 不能提供。 GB5002893 √ 管道應標志介質及流向。 SJ3000292 √ 管道系統(tǒng)通過管架接地。 SJ3000292 √ 設置洗眼、淋浴器。 SJ3000292 √ 設置緊急制動,設置警告標志及排風系統(tǒng),帶電作業(yè)設置接地故障、短路故障保護裝置。 ~393 第 條 廢液收集罐處平臺護欄不符要求。在專用消防出口處應設紅色應急照明燈。 SJ3000292 √ 設置排風系統(tǒng),常開;特殊氣體室室外設手動開關,設自動聯(lián)鎖報 警。 GB500732020 √ 潔凈生產與一般生產區(qū)域之間應設置不燃燒體隔斷措施。 GB500732020 √ ≤65dB。 SJ3000292 除硅烷室單獨設置外,均設在多層廠房一、二層內。 GBJ1687 √ 廠房結構應滿足地震烈度 7 度設防要求,框架抗震等級二級要求。 序號 檢查項目及內容 依據法規(guī) 檢查結果 備注 1000m3 的建筑,不宜小于 。 GBJ1687 √ 單獨設置。 GBJ1687 √ 均為二級。雷電火花還可能引發(fā)易燃易爆物質的火災、爆炸,造成嚴重的生命、財產損失。 ⑦ 高處墜落 當去廢溶劑儲罐等相對基準面標高超過 2m 設備進行檢查、操作或維修設備時,若未按標準設置鋼梯、護欄、平臺或設置不完善,作業(yè)人員去檢查、操作或檢修時,稍不慎會發(fā)生高處墜落事故。 ③ 物理爆炸 各類壓力容器(包括氣瓶)、管道,如果設備、管道因材質缺陷、設計 不合理、制造焊接質量差、腐蝕等使其強度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等,可能發(fā)生容器、管道不能承受設計壓力而發(fā)生爆炸,造成人員傷亡,設備損壞。 CO2 1 CF4 2 CHF3 2 SF6 2 He 1 4%H2/N2 1 6 酸室 HCl CDM 1 設排風系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內設泄漏報警偵測器、PEH 在線型火災聲光報警裝置,自動水噴淋裝置。 %鍺烷 /氫氣( GeH4/H2) 1 1% 磷化氫 / 氮氣混合氣( PH3/N2) 1 5% 磷 化氫 / 氮氣混合氣( PH3/N2) 2 2 易燃氣 體室 氨氣( NH3) 8 10%氦氣 /氮氣工藝吹掃、 TGM報警、氨、氟環(huán)境監(jiān)測報警、消防水噴淋、排風(酸堿性排風系統(tǒng)分開)、火災聲光報警、 shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。 ④ 廠區(qū)道路應設置顯示道路名稱、方向、車輛限速的交通標志 。安全標志的涂色應符合國家現行的《安全標志》及《安全色》標準的規(guī)定。需采取相應措施以消除可能導致事故發(fā)生的隱患。 ③ 廠區(qū)內若坑、孔、井及走臺、平臺無防護圍欄或蓋板,直梯、斜梯不符合有關規(guī)定都可引發(fā)碰、磕、摔傷和墜落傷害。 序號 檢查項目及內容 依據法規(guī) 檢查結果 備注 標志》及《安全色》標準的規(guī)定。 SJ3000292 未按規(guī)定涂色。 SJ3000292 √ 凡容易發(fā)生事故危及安全的場所,應設置安全標志。 SJ3000292 √ 廠區(qū)平臺、鋼梯基本符合要求。 有完好的照明設施。 GB438794 √ 廠區(qū)道路應設置交通標志。 GB438794 √ 易燃易爆區(qū)、儲存庫區(qū)將道路劃分為限制車輛通行或禁止車輛通行的路段,并設標志。 廠區(qū)主干線雙向行駛路寬≥ 5m,單向行駛路寬≥ ;并有單向行駛 標記,且能形成環(huán)形通道;人行道 ;沿主干線人行道 。 道路與主要建筑物軸線平行或垂直,主要生產廠、倉庫區(qū)、動力區(qū)的道路應呈環(huán)形布置。 GB5018793 √ 三個出入口,人、 物分流。 工廠主要建筑物宜呈南北向布置,建筑物的方位應保證室內有良好的朝向、采光和自然通風條件。 與耐火等級為 3級廠房距離分別為20m、 25m,與廠內主干道距離 15m,與次干道距離 10m。 GB5018793 √ 鍋爐房宜布置在廠區(qū)全年最小頻率風向的 上風側。對于大容量的總降壓站,尚應在其周圍加設圍墻。潔凈廠房的布置應符合“潔凈廠房設計規(guī)范”的規(guī) 定。 序號 檢查項目及內容 依據法規(guī) 檢查結果 備注 由廠部辦公樓、多層廠房、廠區(qū)主入口等組成的廠前區(qū),宜 置于廠區(qū)最小頻率風向的下風側。 GB5018793 √ 七度設防。 √ 廠址應具有滿足生產、生活及發(fā)展規(guī)劃所 需要電源和給排水條件。 1) 總平面布置及常規(guī)安全防護設施安全評價單元 2) 生產工藝及危險化學品使用安全評價單元 3) 化學品庫安全評價單元 4) 超純水制備設施系統(tǒng)安全驗收評價單元 5) 鍋爐房安全驗收評價單元 6) 油罐區(qū)、冷凍機房、空壓站、水泵房安全評價單元 7) 污水處理站安全評價單元 8) 供配電安全評價單元 9) 安全生產管理安全評價單元 5 安全評價 總平面布置及常規(guī)安全防護設 施安全評價單元 安全檢查表 依據 GB5018793 《工廠企業(yè)總平面設計規(guī)范》、 SJ3000292《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設計規(guī)定》、 GB438794《工業(yè)企業(yè)廠內鐵路道路運輸安全規(guī)程》、 GBJ1687《建筑設計防火規(guī)范》 (2020 版 )、GB500742020《石油庫設計規(guī)范》、 GB28941996《安全標志》、GB161791996《安全標志使用導則》等相關法規(guī)、標準及現場狀況編制總平面布置及常規(guī)安全防護設施安全檢查表,檢查項目及內容見表 。 9)噪聲危險 空壓設備、泵類、風機等設備在運轉時可產生噪聲危害。 6)車輛傷害 廠內各類運輸車輛如車輛本身缺陷,或制動、音響、燈光等失效,道路狀況不符合規(guī)定要求或誤操作可引發(fā)車輛傷害。 3)觸電危險 變配電設 備、電氣線路、用電設備如產品質量不佳、絕緣性能不良或因運行不當、機械損傷、維修不善導致絕緣老化破損或設計、安裝不規(guī)范,安全凈距不足,或違章操作,均可能引發(fā)觸電危險。其主要危險因素有: 1)火災爆炸 油罐如本身缺陷或安全裝置失效或管理不善出現泄漏,遇明火可引發(fā)火災、爆炸危險。 3)氧化劑(如過氧化氫等)如泄漏與有機物還原劑、易燃物接觸可引起火災爆炸。 由于公司對工藝及產品生產技術保密且芯片生產線工藝設備自動化程度高,人、機分離,安全性能高,據同行業(yè)生產實踐,發(fā)生事故的可能性極小,對建設項目的總體勞動安全驗收評價結果影響較小,應公司的要求,在芯片生產廠房勞動安全驗收評價中,在危險危害因素辨識分析的基礎上,僅對其危險性大的芯片生產的輔助設施進行勞動安全驗收評價。 評價目的及評價范圍 評價目的及評價內容 1) 安全驗收評價的目的是貫徹 “安全第一,預防為主 ”的方針,為建設項目安全驗收提供科學依據,對建設項目未達到安全目標的系統(tǒng)或單元提出安全補償及補救措施,以利于提高建設項目本質安全程度,滿足安全生產要求。 10) 中芯國際集成電路制造(天津)有限公司委托天津泰山安全科技有限公司進行《中芯國際集成電路制造(天津)有限公司項目》安全驗收評價合同書。 評價范圍 根據本項目安全驗收評價技術服務合同書的規(guī)定內容,經與建設單位商定:對中 芯天津芯片生產廠房、化學品庫、污水處理站以及變配電站、鍋爐房、油庫、空壓站、冷凍站、水泵房的設備、設施進行勞動安全驗收評價。 2)易燃液體(如丙酮、異丙醇等)如泄漏、揮發(fā)與 空氣混合形成爆炸氣體遇明火、熱源可引發(fā)火災爆炸。電氣設備有 110kV和 10kV 變配電站的變壓器、配電柜、以及各廠房內用電設備及控制系統(tǒng);特種設備有燃氣鍋爐、空壓設備、冷凍設備、壓力容器及多種氣 瓶和廠內機動車輛;儲存設備有儲氣罐、液氮罐、液氬罐、貯油設備、硫酸罐、氫氧化鈉罐等。 2)物理爆炸 鍋爐、壓力容器(蒸發(fā)器、冷凝器、儲氣罐)設備、氣瓶等,如設備有缺陷或超壓安全附件失效或使用不當,可引發(fā)物理爆炸。 5)高空墜落危險 凡 2m 以上各類高空作業(yè)點位, 其梯、臺、道、護欄等常規(guī)性防護措施不符合規(guī)范要求或損壞,可引發(fā)高空墜落危險。各類使用激光源、紅外線光源的設備、機臺上,如因光源密閉性不好或損壞或操作不當,致使光源直射觀察者眼睛,將會造成眼灼傷。 評價單元的劃分 依據已確定的評價范圍及建設內容的實際,本項目的安全驗收評價劃分如下評價單元。 廠址應位于生活區(qū)最小頻率風向的上風側,避免建在已建工廠煙囪主導風向的下風側。 地震斷層和設防烈度低于九度地震區(qū)。 SJ3000292 √ 按功能分為辦公區(qū)、生產區(qū)、公用工程區(qū)、預留
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