【正文】 目選擇的設(shè)備須成熟可靠、性?xún)r(jià)比高，結(jié)構(gòu)先進(jìn)合理、性能穩(wěn)定、生產(chǎn)能力配套性好，可形成高質(zhì)高效具有先進(jìn)性能的生產(chǎn) 線，使產(chǎn)品達(dá)到優(yōu)質(zhì)水平參與國(guó)際市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)。太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)工藝流程圖如下： 硅片 清洗 制絨 甩干 擴(kuò)散 刻蝕 烘干 印刷 (鋁 ) 烘干 印刷 (銀 ) 減反射 印刷 (銀 ) 燒結(jié) 檢測(cè) 包裝入庫(kù) 圖 41 太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝流程圖 主要工藝流程說(shuō)明： ① 清洗、制絨：首先用堿（或酸）腐蝕硅片，以去除硅 片表面機(jī)械損傷。 ③ 擴(kuò)散、刻蝕：多數(shù)廠家都選用 p 型硅片來(lái)制作太陽(yáng)電池，那么一般用POCL3 液態(tài)源作為擴(kuò)散源。擴(kuò)散過(guò)程遵從如下反應(yīng)式： 4POCL ＋ 3O （過(guò)量） → 2PO ＋ 2CL （氣） 2PO ＋ 5Si → 5SiO 2 3 2 2 5 2 2 5 + 4P 背腐蝕去磷硅玻璃和邊緣 PN 節(jié)：用化學(xué)方法除去擴(kuò)散層 SiO2 2與 HF 生成可溶于水的 SiF ，從而使硅表面的磷硅玻璃（摻 PO 的 SiO ） 6 2 5 2 溶解，化學(xué)反應(yīng)為： SiO ＋ 6HF → H （ SiF）＋ 2HO 2 2 6 2 ④ 減反射：采用 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD: Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition)技術(shù)在電池表面沉積一層氮化硅減反射膜，不但可以減少光的反射，由于在制備 SiNx 減反膜過(guò)程中大量的氫原子進(jìn)入，能夠起到很好的表面鈍化和體鈍化的效果，這對(duì)于具有大量晶界的多晶硅材料而言，由于晶界的懸掛健被飽和，從而降低了復(fù)合中心的作用。正面柵網(wǎng)電極的形式和厚度要求一方面要有高的透過(guò)率，另一方面要保證柵網(wǎng)電極有一個(gè)盡可能低的接觸電阻。 產(chǎn)品質(zhì)量 本項(xiàng)目建成投產(chǎn)后，生產(chǎn)的產(chǎn) 品質(zhì)量應(yīng)符合國(guó)家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢測(cè)，國(guó)際客戶(hù)有要求的應(yīng)按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求控制，要求成品出廠合格率達(dá) 99%以上。在深入調(diào)研考察基礎(chǔ)上，擇 優(yōu)選用。油墨在移動(dòng)中被刮刀從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。 ① 全自動(dòng)太陽(yáng)能電池片印刷設(shè)備技術(shù)指標(biāo) 電池尺寸： 125mmx125mm、 156mmx156mm、 210mmx210mm 電池厚度： 每小時(shí)電池產(chǎn)量： 12501440 片 生產(chǎn)線產(chǎn)能： 95% 最大電池破片率： % 絲網(wǎng)印刷居中誤差： 177。太陽(yáng)能電池在爐子出口處的溫度不 超過(guò) 40℃ 。并加強(qiáng)車(chē)間內(nèi)空氣流通，車(chē)間內(nèi)需配套組合式空調(diào)機(jī)組一套，附空氣凈化設(shè)備，并配有加濕送風(fēng)換氣裝置，車(chē)間保持潔凈廠房要求，換氣次數(shù)大于 5 次 /小時(shí)。 地震設(shè)防 根據(jù)國(guó)家地震局 1990 年的《中國(guó)地震烈度區(qū)劃圖》，該地區(qū)地震基本烈度為 6 度，按國(guó)家 GB500112020 建筑抗震設(shè)計(jì)規(guī)范考慮抗震措施。廠房?jī)?nèi)擬放置制絨機(jī)，擴(kuò)散爐，等離子刻蝕機(jī)， PECVD，全自動(dòng)印刷機(jī)，燒結(jié)爐及生產(chǎn)配套設(shè)備。本地的原輔材料均采用汽車(chē)運(yùn)輸。詳見(jiàn)表 51。供水管沿廠區(qū)四周敷設(shè)環(huán)狀給水管網(wǎng)，各部門(mén)進(jìn)水管設(shè)水表進(jìn)行考核，水表后為枝狀供水至各用水點(diǎn)。 表 52 項(xiàng)目用水量估算表 用水量 序號(hào) 用水部門(mén) 最大 平均 全天 備 注 3 3 3 (m/h) (m/h) (m/d) 1 生產(chǎn)車(chē)間 30 25 576 制絨、去磷硅 2 生活用水 1 10L/人 3 循環(huán)冷卻補(bǔ)充水 1 44 道路、綠化等 不可預(yù)見(jiàn)水量 消防等 合 計(jì) 962 本項(xiàng)目按全年 300 天估算，則全年新增用水量約為 20 萬(wàn)立方米。因此，生產(chǎn)廠區(qū)內(nèi)的生產(chǎn)及生活污水經(jīng)處理達(dá)標(biāo)后，經(jīng)污水總管排入橫店污水廠。 。 用電負(fù)荷計(jì)算 根據(jù)項(xiàng)目設(shè)計(jì)的產(chǎn)品方案，本項(xiàng)目組織生產(chǎn)所需的主要用電設(shè)備 為太陽(yáng)能電池減反射膜噴涂爐、全自動(dòng)太陽(yáng)能電池印刷設(shè)備、硅片清 洗機(jī) 、等離子刻蝕機(jī)等，以及配套工程設(shè)備，總裝機(jī)容量約為 5933kW， 采用需要系數(shù)法進(jìn)行計(jì)算用電負(fù)荷，經(jīng)計(jì)算：本項(xiàng)目有功功率 P =，補(bǔ)償前無(wú)功功率 Q=，視在功率為 ， j j 自然功率因素為 ，由于自然功率因素不足 ，宜采用低壓靜電電 容器柜，在低壓配電室集中進(jìn)行補(bǔ)償。 變電所負(fù)荷計(jì)算表 計(jì)算負(fù)荷 序 設(shè)備 需要 功率 號(hào) 用電設(shè)備 容量 系數(shù) 因數(shù) 有功 無(wú)功 視在 功率 功率 功率 (kW) (Kx) COSΦ (kW) (kvar) ( kVA) 1 工藝設(shè)備 2 制冷空調(diào) 3 水處理系統(tǒng) 160 4 車(chē)間照明 200 5 其他 300 共計(jì) 同時(shí)系數(shù) 若補(bǔ)償 1200 共計(jì) 考慮變壓器損耗 20 70 生產(chǎn)配電 本項(xiàng)目車(chē)間動(dòng)力電源均為三相四線制加 PE 線，即 TNS 系統(tǒng)。 車(chē)間內(nèi)動(dòng)力配電箱到各用電設(shè)備一般采用 BV500 型銅芯塑料絕緣導(dǎo)線，采用穿管埋地、沿墻、樓板等方式暗敷。照明標(biāo)準(zhǔn)按國(guó)家有關(guān)規(guī)定及工藝要求進(jìn)行設(shè)計(jì)。生產(chǎn)線接地保護(hù)采用 TNCS 接地系統(tǒng)。 輔助工程 空氣凈化及調(diào)節(jié) 根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求，廠房潔凈度：清洗制絨間、擴(kuò)散間 1 萬(wàn)級(jí)；其余 10 萬(wàn)級(jí) ,走廊 30 萬(wàn)級(jí)的潔凈環(huán)境，環(huán)境溫度為 18℃ ～ 25℃ ，因此需要采取空氣凈化和空氣調(diào)節(jié)措施?？照{(diào)機(jī)組選用40STDE670WS 四臺(tái)， 40STDE180WS 八臺(tái)。 空壓站系統(tǒng)組成：空壓機(jī)、儲(chǔ)氣罐、預(yù)過(guò)濾器、無(wú)熱再生干燥器、終過(guò)濾器、管道及 閥門(mén)附件。 系統(tǒng)概述：為開(kāi)式循環(huán)系統(tǒng)，以自來(lái)水為補(bǔ)水。 系統(tǒng)組成：真空泵、真空緩沖罐、管道及閥門(mén)附件等。 ⑥ 特種氣體系統(tǒng) 特種氣體供氣系統(tǒng)分類(lèi)如下： 氨氣 (NH3)傳輸系統(tǒng)。 氣體柜具有自動(dòng)切換、自動(dòng)吹洗的功能， 能連續(xù)為生產(chǎn)設(shè)備供氣。2℃ ，水壓 3 kg/cm2 ，（均為使用點(diǎn)參數(shù)）。 溫度控制：以測(cè)量到的供水溫度為反饋信號(hào)，調(diào)節(jié)冷凍水電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度，來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)供水溫度的控制。冷卻塔進(jìn)出水管間設(shè)旁通管，并采用變速風(fēng)機(jī)，以使系統(tǒng)過(guò)渡季節(jié)時(shí)可節(jié)能運(yùn)行。 本項(xiàng)目在硅片清洗、表面制絨等生產(chǎn)工藝中會(huì)產(chǎn)生一定量的普通酸性廢水、堿性廢水、氫氟酸廢水。 (2) 本項(xiàng)目涉及的環(huán)境治理工程，均與生產(chǎn)裝置同時(shí)設(shè)計(jì)、同時(shí)施工、同時(shí)建成投產(chǎn)。擬建設(shè)一個(gè)集中式污水處理站，各廠房排出的生產(chǎn)廢水經(jīng)收集后輸送至污水處理站集中處理，生產(chǎn)廢水經(jīng)過(guò)處理后達(dá) 到《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（ GB8978－ 96）一級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)后排入污水管網(wǎng)。每個(gè)反應(yīng)池內(nèi)設(shè)置 pH 儀，并配有酸堿加藥裝置。 － 廢水水質(zhì)： pH =2， 1313m3/d， F ＜ 1000ppm → → Ca(OH) → 含氟廢水 調(diào)節(jié)池 一次反應(yīng)槽（加 2 ） 一次反應(yīng)槽（加 PAC → PAM → → 混凝劑 ） 一次凝聚槽（加混凝劑 ） 一次沉淀槽 二次反 Ca(OH) → HCl → 應(yīng)槽（加 2 ） 二次反應(yīng)槽（ 加 ） 二次反應(yīng)槽（加混凝劑 PAC → PAM → → → ） 二次凝聚槽（加混凝劑 ） 二次沉淀槽 收集水池 中和排放槽。 磷擴(kuò)散及表面選擇性腐蝕、 SiN 化學(xué)沉積等工藝中會(huì) 產(chǎn)生普通廢氣、酸堿廢氣、可燃性廢氣和少量有機(jī)廢氣等。 對(duì)設(shè)備排出的有機(jī)廢氣，經(jīng)活性碳吸附處理，達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。 表 61 建設(shè)項(xiàng)目新增設(shè)備噪聲源強(qiáng)匯總 序號(hào) 設(shè)備名稱(chēng) 噪聲源強(qiáng)（ dB） 1 風(fēng)機(jī) 80～ 90 2 水泵 70～ 80 3 空壓機(jī) 75～ 85 (4) 固體廢物 ① 廢品 項(xiàng)目采用電腦控制，加工精度高，廢品產(chǎn)生量較少，廢品由原材料廠家回收處理。 勞動(dòng)安全與工業(yè)衛(wèi)生 安全生產(chǎn) 本項(xiàng)目投產(chǎn)后在生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生一定的噪聲等，因此廠區(qū)、車(chē)間會(huì)考慮安全生產(chǎn)、工業(yè)衛(wèi)生方面會(huì)出現(xiàn)的具體問(wèn)題，通過(guò)對(duì)生產(chǎn)車(chē)間等的合理布局，使其達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)范考慮防火、防雷、采光、通風(fēng)，三廢處理，做到文明、安全生產(chǎn)。 (3) 廠區(qū)內(nèi)設(shè)置了廁所、更衣室、浴室等可供員工生活、休息的空間； (4) 廠房四周外墻上設(shè)置了可開(kāi)啟的窗戶(hù)，使廠房?jī)?nèi)具有良好的通風(fēng)條件； (5) 生產(chǎn)車(chē)間設(shè)置了機(jī)械補(bǔ)、排風(fēng)裝置； (6) 生產(chǎn)車(chē)間區(qū)域內(nèi)的照明及辦公區(qū)采用節(jié)能燈，其照度均達(dá)到規(guī)范要求； (7) 新上崗員工必須事先經(jīng)操作規(guī)程培訓(xùn)及安全教育； (8) 發(fā)放勞動(dòng)防護(hù)用品。 本項(xiàng)目實(shí)施時(shí)，需對(duì)原有消防設(shè)施進(jìn)行檢查、落實(shí)。 (2) 由于潔凈廠房多為全封閉廠房，故車(chē)間主要出入口都裝有應(yīng)急照明燈及安全門(mén)，以便人員及時(shí)安全疏散。 (2) 《國(guó)務(wù)院關(guān)于加強(qiáng)節(jié)能工作的決定》 國(guó)發(fā) [2020]28 號(hào)。 (4) 空調(diào)系統(tǒng)在火災(zāi)發(fā)生時(shí)自動(dòng)切斷風(fēng)機(jī)電源，以防止火勢(shì)蔓延。廠區(qū)布局、道路布置均可保證消防暢通，確保生產(chǎn)安全。本項(xiàng)目利用的生產(chǎn)廠房及倉(cāng)庫(kù)，設(shè)計(jì)的耐火等級(jí)不低于二級(jí)。 照明按《設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》配置有足夠的照度，并設(shè)有事故照明。 環(huán)保投資 本項(xiàng)目環(huán)保投資為 1100 萬(wàn)元。 工藝尾氣經(jīng)過(guò)工藝設(shè)備附帶的處理裝置處理，再經(jīng)廢氣洗滌裝置處理達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。 對(duì)設(shè)備產(chǎn)生的一般廢氣和高溫廢氣，采用直接排放方式排入大氣。 — 有機(jī)廢液處理 生產(chǎn)排出的少量有機(jī)廢液經(jīng)收集后送至污水處理站。 —含氟廢水處理系統(tǒng) 含氟廢水采用投藥、絮凝和沉淀分離的方法進(jìn)行處理。酸堿廢水采用中和法進(jìn)行處理。 生產(chǎn)污廢水系統(tǒng) 本項(xiàng)目在硅料清洗、硅片清洗、表面制絨等生產(chǎn)工藝中會(huì)產(chǎn)生一定量的普通酸性廢水、堿性廢水、氫氟酸廢水等。 ⑥ 雨水排放系統(tǒng) 雨水系統(tǒng)簡(jiǎn)述：屋面雨水經(jīng)雨落管排入廠區(qū)雨水管道，廠區(qū)內(nèi)路面雨水匯集后經(jīng)雨水 口排入廠區(qū)雨水管道。 ⑤ 生活生產(chǎn)污廢水 生活污廢水系統(tǒng)：生活污水經(jīng)廠區(qū)內(nèi)的化糞池處理后，達(dá)一級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)后排入市政污水管道，其他生活廢水直接排入廠區(qū)內(nèi)的污水管道。 ④ 冷凍機(jī)用循環(huán)冷卻水 冷凍機(jī)用循環(huán)冷卻水系統(tǒng)概述：為開(kāi)式循環(huán)系統(tǒng)采用方形橫流式玻璃鋼冷卻塔，每臺(tái)冷凍機(jī)對(duì)應(yīng)一臺(tái)冷卻塔；循環(huán)冷卻水系統(tǒng)以自來(lái)水為補(bǔ)水。 ③ 工藝設(shè)備冷卻水 工藝?yán)鋮s水夏天所需冷量來(lái)自空調(diào)冷凍水系統(tǒng)，冬天用冷卻塔制備的冷水供給板換熱，提 供工藝?yán)鋮s水所需的冷量，以達(dá)到節(jié)能的目的。 工程所用自來(lái)水包括生活用自來(lái)水、純水制備、循環(huán)冷卻水補(bǔ)水等。 / 特種氣體均由各廠房?jī)?nèi)特氣室的氣體柜 氣體盤(pán)將特種氣體分配 /至各廠房支管閥門(mén)箱 分支管。氣體管道經(jīng)管架或埋地配送到各用氣廠房。 ④ 真空系統(tǒng) 為滿足工藝生產(chǎn)過(guò)程中硅片傳遞等對(duì)真空的需求而設(shè)置。 冷凍站系統(tǒng)組成：離心式冷水機(jī)組、冷凍水循環(huán)泵、閉式膨脹罐、加藥裝置、管道及閥門(mén)附件、保冷材料等。制冷量： 720KW，水溫控制范圍 10～ 25 ℃ 。含風(fēng)機(jī)段及初效和中效過(guò)濾段、混合段，通過(guò)風(fēng)道向操作區(qū)送風(fēng)，在風(fēng)道出口處再安裝普通型過(guò)濾器。 (3) 消防設(shè)計(jì) 消防設(shè)備的電源均實(shí)現(xiàn)雙回路末端自動(dòng)切換。在車(chē)間重要場(chǎng)所和主要入口設(shè)置事故應(yīng)急照明和疏散誘導(dǎo)燈，照明線與電力支線一樣敷設(shè)。生產(chǎn)車(chē)間一般照明采用高壓光效金屬鹵化物燈具，車(chē)間局部照明與辦公室照明一般均選用熒光燈。供電方式一般采用放射式與樹(shù)干式相結(jié)合。 補(bǔ)償后的功率因素為 以上，變壓器容量 4200KVA。現(xiàn)有供電電源由橫店供電局 110kV 專(zhuān)線引入廠區(qū)配電屏，由配電屏分流到車(chē)間變配電房?jī)?nèi)，配電電壓為380/220V。 工藝要求供電電壓為 380/220 伏，電壓波動(dòng)不超過(guò)額定電壓的 177。 排水工程 根據(jù)工藝方案，本項(xiàng)目投產(chǎn)后產(chǎn)生的廢水主要為職工生活污水、硅片清洗廢水和地面沖洗水等。 用水量測(cè)算：本項(xiàng)目生產(chǎn)用水主要是硅片清洗制絨、去磷硅用水，平均小時(shí)用水量 25 噸，日用水量為 576 噸，其余為循環(huán)冷卻水補(bǔ)充水，其他（綠 化、道路清洗）用水約 噸 /天，生活用水暫按 100 升 /人 .天估算，本項(xiàng)目新增職工 400 人，日生活用水 立方米。公司現(xiàn)有的生產(chǎn)、生活、消防用水均由自來(lái)水廠供給，水源充裕，水質(zhì)良好，符合國(guó)家衛(wèi)生要求。 生產(chǎn)區(qū)內(nèi)運(yùn)輸，由 于生產(chǎn)車(chē)間相對(duì)獨(dú)立，主要是生產(chǎn)過(guò)程中原料、成品的搬運(yùn)，采用電瓶車(chē)、鏟車(chē)等為主，區(qū)內(nèi)小型運(yùn)輸工具根據(jù)實(shí)際需要逐步添置，本項(xiàng)目暫不考慮配置生產(chǎn)運(yùn)輸車(chē)輛?，F(xiàn)有廠區(qū)設(shè)有東西 10米寬的主道路