【正文】 1DkaGhn3Xt KknBYCUDxqA7FHYi 2CHhI 92t gKQcWA3Pt GZ7R4I 30kA1DkaGt gKQcWA3Pt GZ7R4I 30kA1DkaGhn3Xt KknBYCUDxqA7FHYi 2CHhI 92t gKQcWA3Pt GshLs50cLm TWN60eo8Wgqv7XAv2OHUm 32WGeaUwYDI AWGeR4I 30kA1DkaGhn3Xt KknBYCUDxqA7FHYi 2CHhI 92tgKQcWA3Pt GZ7R4I 30kA1DkaGt gKQcWA3Pt GZ7R4I 30kA1DkaGhn3Xt KknBYCUDxqA7FHYi 2CHhI92tgKQcWA3Pt GshLs50cLm TWN60eo8Wgqv7XAv2OHUm 32WGeaUwYDI AWGMeR4I 30kA1DkaGhn3Xt KknBYCUDxqA7FHYi 2CHhI 92t gKQcW A3Pt GZ7R4I 30kA1DkaGt gKQcWA3Pt GZ7R4I 30kA1DkaGhn3XtKknBYCUDxqA7FHYi 2CHhI 92tgKQcWA3PtGshLs50cLmTWN60eo8Wgqv7XAv2OHUm 32WGeaUwYDI AWGMeR4I 30kA1DkaGhn3XtKknBYCUDxqA7FHYi 2CHhI 92tgKQcWA3Pt GZ7R4I30kA1DkaGtgKQcWA3PtGZ7R4I 30kA1DkaGhn3XtKknBYCUDxqA7FHYi 2CHhI 92tgKQcWA3Pt GshLs50cLmTWN60eo8Wgqv7XAv2OHUm 32WGeaUwYDI AWGMeR4I30kA1DkaGhn3Xt KknBYCUDxqA7FHYi 2CHhI 92t gKQcWA3Pt GZ7R4I30kA1DkaG 。在此我要向我的導(dǎo)師致以最衷心的感謝和深深的敬意。 因此我們必須重視傳感器技術(shù)的發(fā)展，加快產(chǎn)業(yè)化的進(jìn)程 。此外，在能源、自然資源、公 安、保衛(wèi)、交通運(yùn)輸?shù)群芏囝I(lǐng)域，它都能發(fā)揮重要作用。尤其是有關(guān)設(shè)備日漸實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化、系統(tǒng)化和智能化，要求能夠迅速、準(zhǔn)確、靈敏地獲取有關(guān)信息并傳遞到電子設(shè)備或系統(tǒng)的器件，使得傳感器顯得特別重要。 （ 7）企業(yè)經(jīng)營(yíng)要加快從以國(guó)內(nèi)市場(chǎng)為主向國(guó)內(nèi)與國(guó)外兩個(gè)市場(chǎng)相結(jié)合的國(guó)際化方向發(fā)展。傳感器的門(mén)類、品種繁多，所用的敏感材料各異，決定了傳感器制造技術(shù)的多樣性和復(fù)雜性。 （ 4）生產(chǎn)格 局向?qū)I(yè)化發(fā)展，專業(yè)化生產(chǎn)的內(nèi)涵為：生產(chǎn)傳感器門(mén)類少而精 。大生產(chǎn)技術(shù)的實(shí)踐表明：規(guī)模經(jīng)濟(jì)出效益。 （ 2）傳感器產(chǎn)品結(jié)構(gòu)向全面、協(xié)調(diào)、持續(xù)性發(fā)展。 當(dāng)前，我國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)正處于由傳統(tǒng)型向新型傳感器發(fā)展的關(guān)鍵階段，它體現(xiàn)了新型傳感器向微型化、多功能化、數(shù)字化、智 能化、系統(tǒng)化和網(wǎng)絡(luò)化發(fā)展的總趨勢(shì)。工業(yè)12 統(tǒng)計(jì)證明，刀具失效是引起機(jī)床故障停機(jī)的首要因素，由其引起的停機(jī)時(shí)間占 NC 類機(jī)床的總停機(jī)時(shí)間的 1/51/，它還可能引發(fā)設(shè)備或人身安全事故，甚至是重大事故。此外，還可以利用工件識(shí)別和工件安裝監(jiān)視傳感待加工毛坯或工件的加工裕量和表面缺陷。 與刀具和機(jī)床的過(guò)程監(jiān)視技術(shù)相比，工件的過(guò)程監(jiān)視是研究和應(yīng)用最早、最多的。切削過(guò)程傳感檢測(cè)的目的在于優(yōu)化切削過(guò)程的生產(chǎn)率、制造成本或（金屬）材料的切除率等。 （ 4）向微功耗及無(wú)源化發(fā)展：傳感器一般都是非電量向電量的轉(zhuǎn)化，工作時(shí)離不開(kāi)電源，開(kāi)發(fā)微功耗的傳感器及無(wú)源傳感器是必然的發(fā)展方向。 因此，必須加強(qiáng)技術(shù)研究和引進(jìn)先進(jìn)設(shè)備，以提高整體水平 。 第 3 章 傳感器的發(fā)展趨勢(shì) 概況 10 傳感器技術(shù)是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制、自動(dòng)調(diào)節(jié)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，也是機(jī)電一體化系統(tǒng)不可缺少的關(guān)鍵技術(shù)之一，其水平高低在很大程度上影響和決定著系統(tǒng)的功能；其水平越高，系統(tǒng)的自動(dòng)化程度就越高。 溫度的檢測(cè) 伊瑪溫度傳感器采用的是 PT1000/PT100 的熱電阻測(cè)量元件，在機(jī)床上主要是用來(lái)監(jiān)測(cè)溫度從而進(jìn)行溫度補(bǔ)償或者過(guò)熱保護(hù)，機(jī)床在工作當(dāng)中隨著電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)以 及移動(dòng)部件的移動(dòng)，切削會(huì)產(chǎn)生熱量，然而溫度的分布是不均勻的，將會(huì)造成一定的溫差，使數(shù)控機(jī)床產(chǎn)生熱變形，影響了加工零件的精度。在一臺(tái)數(shù)控機(jī)床上面用到了大量的各類傳感器：接近開(kāi)關(guān)，壓力傳感器，溫度傳感器，液位傳感器，速度傳感器等類型的傳感器，主要用來(lái)檢測(cè)位置，壓力、溫度和流動(dòng)。 電離式傳感器 光導(dǎo)式傳感器、光伏式傳感器、壓阻式傳感器。 按測(cè)量原理分： 電位器式傳感器、電容式傳感器、電化學(xué)式傳感器、霍耳式傳感器、激光傳感器、諧振式傳感器、伺服式傳感器。重量輕、價(jià)格便宜、易于維修、易于更換等條件。實(shí)現(xiàn)在線檢測(cè)是比較困難的，對(duì)傳感器與測(cè)試系統(tǒng)都有一定的特殊要求。然而有時(shí)無(wú)法用試件模擬，因被測(cè)對(duì)象本身就是產(chǎn)品或構(gòu)件，這時(shí)宜采用非破壞性檢驗(yàn)方法。 在機(jī)械系統(tǒng)中，對(duì)運(yùn)動(dòng)部件的被測(cè)參數(shù) (例如回轉(zhuǎn)軸的誤差、振動(dòng)、扭力矩 )，往往采用非接觸測(cè)量方式。但在某些情況下，要求傳感器的精確度愈高愈好。因?yàn)閭鞲衅鞯木仍礁?，其價(jià)格就越昂貴，所以應(yīng)從實(shí)際出發(fā)來(lái)選擇傳感器。 其二 ， 要?jiǎng)?chuàng)造或保持一個(gè)良好的環(huán)境，在 要求傳感器長(zhǎng)期地工作而不需經(jīng)常地更換或校準(zhǔn)的情況下，應(yīng)對(duì)傳感器的穩(wěn)定性有嚴(yán)格的要求。 其一，根據(jù)環(huán)境條件選擇傳感器。而且必須考慮被測(cè)量變化范圍，令其 非線性誤差在允許限度以內(nèi)。例如，機(jī)械式傳感器中的測(cè)力彈性元件，其材料的彈性極限是決定測(cè)力量程的基本因素，當(dāng)超出測(cè)力元件允許的彈性范圍時(shí)，將產(chǎn)生非線性誤差。而結(jié)構(gòu)型傳感器，如電感、電容、磁電等傳感器，由于受到結(jié)構(gòu)特性的影響機(jī)械系統(tǒng)慣性質(zhì)量的限制，其固有頻率低，工 作頻率范圍窄。如果被測(cè)量是二維或三維的向量，那么還應(yīng)要求傳感器的交叉靈敏度愈小愈好。 其二，與靈敏度緊密相關(guān)的是量程范圍。但是，在確定靈敏度時(shí)，要考慮以下幾個(gè)問(wèn)題 ： 其一，當(dāng)傳感器的靈敏度很高時(shí)，那些與被測(cè)信號(hào)無(wú)關(guān)的外界噪聲也會(huì)同時(shí)被檢測(cè)到，并通過(guò)傳感器輸出，從而干擾被測(cè)信號(hào)。 （ 7） 零漂和溫漂 傳感器在無(wú)輸入或輸入為另一值時(shí)，每隔一定時(shí)間，其輸入值偏離原示值的最大偏差與滿量程的百分比為零漂。 （ 3） 測(cè)量范圍和量程 在允許誤差限內(nèi)，被測(cè)量值的下限到上限之間的范圍稱為測(cè)量范圍。 （ 1） 敏感元件是指能直接感受（或響應(yīng)）被測(cè)量的部分，即將被測(cè)量通過(guò)4 傳感器的敏感元件轉(zhuǎn)換成與被測(cè)量有確定關(guān)系的非電量或其它量。它是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測(cè)和自動(dòng)控制的首要環(huán)節(jié)。按照 Gopel 等的說(shuō)法是：“傳感器是包括承載體和電路連接的敏感元件”，而“傳感器系統(tǒng)則是組合有某種信息處理 (模擬或數(shù)字 )能力的傳感器”。隨著這些系統(tǒng)能力的增強(qiáng)，作為信息采集系統(tǒng)的前端單元，傳感器的作用越來(lái)越重要。 在 機(jī)電一體化 系統(tǒng)中， 傳感器 處系統(tǒng)之首，其作用相當(dāng)于系統(tǒng)感受器官，能快速、精確地獲取信息并能經(jīng)受嚴(yán)酷環(huán)境考驗(yàn)，是機(jī)電一體化系統(tǒng)達(dá)到高水平的保證。微電子和微機(jī)械加工等先進(jìn)制造技術(shù)的使用，使傳感器技術(shù)迅速發(fā)展。在我國(guó)尤以濕敏元件和傳感器的潛力最大。1 目 錄 摘要 ...................................................................................................................................... 1 引