qc質(zhì)量改進(jìn)成果發(fā)布資料模板(文件)
【正文】 調(diào)查確認(rèn) 標(biāo)準(zhǔn)要求 負(fù)責(zé)人 完成時(shí)間6掩模板損傷導(dǎo)致電極損傷檢查掩模板在 10倍顯微鏡視場(chǎng)下有多少缺陷10倍顯微鏡，每個(gè)視場(chǎng)下總電極缺陷個(gè)數(shù)平均小于 2個(gè) 崔娜 2023年 4月 7日7壓緊面板過(guò)硬導(dǎo)致曝光不均勻保證工件不被壓斷的情況下將托盤(pán)最大限度與工件壓緊，觀察工件與光刻板之間是否有縫隙 沒(méi)有任何縫隙 白春玲 2023年 4月 8日8氣壓軸偏離導(dǎo)致粘膠 測(cè)試氣壓軸八個(gè)固定端子是否平齊八個(gè)端子高度差小于 白春玲 2023年 4月 9日9光刻膠質(zhì)量問(wèn)題導(dǎo)致掩膠脫落抽取現(xiàn)場(chǎng)光刻膠樣本，去相關(guān)部門(mén)檢驗(yàn) 粘度 =30mPa*s 謝寶紅 2023年 4月 11日10顯影液?jiǎn)栴}導(dǎo)致顯影不完全用現(xiàn)場(chǎng)顯影液制備若干硅片試驗(yàn)片，統(tǒng)計(jì)不良單片不良顆粒數(shù)小于1000顆 于坤鵬 2023年 4月 11日11工件運(yùn)輸方式錯(cuò)誤導(dǎo)致工件電極劃傷檢查工件在傳輸過(guò)程中的載體，看是否有對(duì)電極接觸性的劃傷 無(wú)劃傷 李家征 2023年 4月 12日16序號(hào) 可能的末端因素 調(diào)查確認(rèn) 標(biāo)準(zhǔn)要求 負(fù)責(zé)人 完成時(shí)間6掩模板損傷導(dǎo)致電極損傷檢查掩模板在 10倍顯微鏡視場(chǎng)下有多少缺陷10倍顯微鏡，每個(gè)視場(chǎng)下總電極缺陷個(gè)數(shù)平均小于 2個(gè) 崔娜 2023年 4月 7日12吹干方法不合理導(dǎo)致電極變黑檢查吹干工藝，看是否有些操作步驟會(huì)損傷到工件或吹干過(guò)程中有污染殘留損傷僅限于定位端電極損傷小于 500顆，無(wú)任何污染殘留 崔美筠 2023年 4月 12日13 取放片方法有問(wèn)題檢查取片時(shí)是否損傷電極或污染電極 無(wú)損傷，無(wú)污染 李家征 2023年 4月 13日14鏡檢造成電極不良及損失檢查鏡檢操作有無(wú)對(duì)電極的劃傷和損失 無(wú)劃傷，無(wú)損失 謝寶紅 2023年 4月 14日15治具不干凈導(dǎo)致電極污染 檢查現(xiàn)場(chǎng)所有在用和備用治具， 干凈無(wú)污染 張茜 2023年 4月 15日16溫濕度不均衡導(dǎo)致電極脫落調(diào)用 2023年 23月溫濕度記錄，檢查是否均符合溫濕度標(biāo)準(zhǔn)溫度 22177。良，保證電極完整。標(biāo)準(zhǔn)化常用的 QC工具： 調(diào)查表 簡(jiǎn)易圖表 直方圖 控制圖 40十、標(biāo)準(zhǔn)化效果維持41十一、反省總結(jié)及下步工作計(jì)劃項(xiàng)目 活動(dòng)內(nèi)容 活動(dòng)檢討 未來(lái)努力方向（下步計(jì)劃）優(yōu)點(diǎn) 缺點(diǎn) 將整個(gè)實(shí)施過(guò)程反省總結(jié)或改善過(guò)程中不順利的地方持續(xù)改善。36九、效果確認(rèn)改善目標(biāo)的達(dá)成情況改善前 改善后 說(shuō)明： 通過(guò)圖表的使用，改善前后的情況一目了然。圖表顯示監(jiān)控嚴(yán)密全部?jī)魣D表顯示監(jiān)控嚴(yán)密全部?jī)舴┐髡麧嵎┐髡麧?18要因確認(rèn)（二）入職培訓(xùn)沒(méi)做好入職培訓(xùn)沒(méi)做好基本素基本素質(zhì)篩選質(zhì)篩選進(jìn)廠進(jìn)廠教育教育方向性方向性崗位培訓(xùn)崗位培訓(xùn)崗位分配崗位分配頒發(fā)頒發(fā)上崗資質(zhì)上崗資質(zhì) 上崗工作上崗工作一級(jí)篩選一級(jí)篩選通過(guò)通過(guò)二級(jí)篩選二級(jí)篩選通過(guò)通過(guò)考試考試合格合格簡(jiǎn)歷簡(jiǎn)歷符合符合1，安全教育，安全教育2，員工守則，員工守則3，質(zhì)量觀念，質(zhì)量觀念4，崗位認(rèn)知，崗位認(rèn)知5，職業(yè)健康，職業(yè)健康1，勻膠站標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)，勻膠站標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)2，曝光站標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)，曝光站標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)3，貼膜站標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)，貼膜站標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)
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