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正文內(nèi)容

電子元器件失效性分析報(bào)告(文件)

 

【正文】 l 應(yīng)用實(shí)例PDF created with pdfFactory Pro trial version 形貌象技術(shù)l 光學(xué)顯微術(shù):分辨率3600A,倍數(shù)倍 1200X景深小,構(gòu)造簡(jiǎn)單對(duì)多層結(jié)構(gòu)有透明性,可不制樣l 掃描電子顯微鏡:分辨率50A,倍數(shù)10萬(wàn)景深大,構(gòu)造復(fù)雜對(duì)多層結(jié)構(gòu)無(wú)透明性,需制樣PDF created with pdfFactory Pro trial version 以測(cè)量電流效應(yīng)為基礎(chǔ)的失效定位技術(shù)l 紅外熱象技術(shù)l 光發(fā)射顯微鏡用途:熱分布圖,定熱點(diǎn)用途:微漏電點(diǎn)失效定位柵氧化層缺陷,pn結(jié)缺陷,閂鎖效應(yīng)l 電子束感生電流象 用途:pn結(jié)缺陷PDF created with pdfFactory Pro trial version 單端輸出束感生電流象(EBIC)l EBIC的用途:用SEM觀察pn結(jié)缺陷l 傳統(tǒng)EBIC用雙端輸出,每次只能觀察一個(gè)結(jié)l 單端輸出EBIC可同時(shí)觀察芯片所觀察芯片所有pn結(jié)的缺陷,適用于VVLSI失效分析l 例某CMOS電路的EBICPDF created with pdfFactory Pro trial version 原理PDF created with pdfFactory Pro trial version 封裝內(nèi)部氣體成份分析封裝內(nèi)部水汽和腐蝕性氣體的危害:l 引起芯片表面漏電,器件電特性不穩(wěn)定l 腐蝕金屬化層直至開(kāi)路檢測(cè)法l 內(nèi)置傳感器l 露點(diǎn)檢測(cè)l 質(zhì)譜分析PDF created with pdfFactory Pro trial version 露點(diǎn)檢測(cè)1應(yīng)用范圍: 氣密性封裝內(nèi)部水汽濃度2 原理:露點(diǎn)與水汽濃度相關(guān)3 方法:通過(guò)降溫確定器件的水汽敏感電特性的突變溫度(露點(diǎn))PDF created with pdfFactory Pro trial version 樣品質(zhì)譜分析結(jié)果JK256 792 3DG13014 3DG13062氮?dú)?%水汽 % 其它結(jié)果為:氣體總壓強(qiáng),氧,氬,氫,CO2,酒精,甲醇,碳?xì)浠衔飪x器靈敏度:水汽 100ppm, 其它氣體 10ppmPDF created with pdfFactory Pro trial version 固態(tài)器件微區(qū)化學(xué)成份分析技術(shù)指標(biāo)EDAX AES SIMS原子序數(shù)檢測(cè)范圍N10 N2全部靈敏度(%)10.1 10-4深 度 分 辨 率(nm)100011橫 向 分 辨 率(nm)PDF created with pdfFactory Pro trial version 1000 300 1000寧可累死在路上,也不能閑死在家里!寧可去碰壁,也不能面壁。能干的人,不在情緒上計(jì)較,只在做事上認(rèn)真;無(wú)能的人!不在做事上認(rèn)真,只在情緒上計(jì)較。什么是奮斗?奮斗就是每天很難,可一年一年卻越來(lái)越容易。l 反向擊穿電壓下降,pn結(jié)受EOS損傷或ESD損傷。PDF created with pdfFactory Pro trial version 電子元器件失效分析的簡(jiǎn)單實(shí)用測(cè)試技術(shù)(二)l 各端口對(duì)地端/電源端的漏電流測(cè)試(或I——V測(cè)試),可確定失效管腳。電阻顯著增大或減小說(shuō)明有金屬化開(kāi)路或漏電部位。l 應(yīng)用舉例:推算鋁電解電容壽命105C,壽命壽 1000h(標(biāo)稱(chēng)值)55C, 壽命1000X2E5=32000h35C,壽命1000X2E7=128000h=128000/365/24=小結(jié)失效物理的定義:研究電子元器件失效機(jī)理的學(xué)科失效物理的用途:1 失效分析:確定產(chǎn)品的失效模式、失效機(jī)理,提出糾正措施,防止失效重復(fù)出現(xiàn)2 可靠性評(píng)價(jià):根據(jù)失效物理模型,確定模擬試驗(yàn)方法,評(píng)價(jià)產(chǎn)品的可靠性第二講 阻容元件失效機(jī)理電容器的失效機(jī)理l 電解電容l 鉭電容l 陶瓷電容l 薄膜電容電解電容的概況l 重要性:多用于電源濾波,一旦短路,后果嚴(yán)重l 優(yōu)點(diǎn):電容量大,價(jià)格低l 缺點(diǎn):壽命短,漏電流大,易燃l 延長(zhǎng)壽命的方法:降溫使用,選用標(biāo)稱(chēng)溫度高的產(chǎn)品電解電容的標(biāo)稱(chēng)溫度與壽命的關(guān)系標(biāo)稱(chēng)溫度(℃)85 105 125標(biāo)稱(chēng)溫度壽命(h) 1000 1000 1000工作溫度(℃)35 35 35工作溫度壽命(h) 1000X2E5 1000X2E7 1000X2E932000 128000 912000 年 年電解電容的失效機(jī)理和改進(jìn)措施l 漏液:電容減
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