【摘要】微電子封裝中等離子體清洗及其應(yīng)用聶磊,蔡堅,賈松良,王水弟(清華大學(xué)微電子學(xué)研究所,北京100084)摘要:隨著微電子工藝的發(fā)展,濕法清洗越來越局限,而干法清洗能夠避免濕法清洗帶來的環(huán)境污染,同時生產(chǎn)率也大大提高。等離子體清洗在干法清洗中優(yōu)勢明顯,本文主要介紹了等離子體清洗的機(jī)理、類型、工藝特點(diǎn)以及在微電子封裝工藝中的應(yīng)用。關(guān)鍵詞:等離子體清洗;干法清洗;微電子封裝中圖分類號
2025-06-20 05:57
【摘要】摘要:為實(shí)現(xiàn)頻率功率都可以調(diào)節(jié)的高頻通信等離子體天線激勵源,本系統(tǒng)采取模塊化設(shè)計。采用計算機(jī)軟件WinNWT4 控制的AD9858產(chǎn)生射頻信號,按鍵通過atmega128單片機(jī)控制DA從而控制壓控放大器實(shí)現(xiàn)功率可調(diào),。一個衰減器和一個由肖特基二極管構(gòu)成的檢波器構(gòu)成功率檢測模塊,單片機(jī)通過AD采集到檢波器的輸出的峰值算出功率,并控制液晶實(shí)時顯示頻率和功率。經(jīng)測試本激勵源可以通過操作計算機(jī)產(chǎn)
2025-07-27 23:42
【摘要】放電等離子體在環(huán)境中的應(yīng)用,匯報人:曹洋指導(dǎo)老師:王鐵成,目錄,CONTENTS,01,放點(diǎn)等離子體簡介,02,實(shí)驗(yàn)內(nèi)容,03,研究方向和內(nèi)容,01,放電等離子體簡介,01放電等離子體簡介,,定義:等...
2024-10-28 18:31
【摘要】冷弧空氣等離子體射流表面處理技術(shù)介紹一.冷弧空氣等離子體射流表面處理的必要性傳統(tǒng)的表面處理用濕法,采用化學(xué)溶劑浸泡擦洗。濕法不具有普適性,處理速度慢,特別是化學(xué)溶劑會造成二次污染,使得人們必須尋找新的表面處理技術(shù)。低溫等離子體具有極強(qiáng)的化學(xué)活性,在室溫下可以引起多種化學(xué)反應(yīng)或物理刻蝕,而基質(zhì)材料的本體性能不受影響。通過低溫等離子體表面處理,材料表面發(fā)生多
2025-06-30 20:18
【摘要】摘要:為實(shí)現(xiàn)頻率功率都可以調(diào)節(jié)的高頻通信等離子體天線激勵源,本系統(tǒng)采取模塊化設(shè)計。采用計算機(jī)軟件WinNWT4控制的AD9858產(chǎn)生射頻信號,按鍵通過atmega128單片機(jī)控制DA從而控制壓控放大器實(shí)現(xiàn)功率可調(diào),以高頻三極管2SC3356和AH101構(gòu)成RD15HVF1構(gòu)成的最大功率20W的末級功放。一個衰減器和一
2025-08-17 22:47
【摘要】電感耦合等離子體直角加速時間飛行質(zhì)譜儀(ICP-oa-TOF-MS)商品化儀器的分析特性RalphE.Sturgeon,JosephW.H.Lam和AndrewSaint摘要用分析數(shù)據(jù)說明了電感耦合等離子體直角加速飛行時間質(zhì)譜儀(ICP-oa-TOF-MS)商品化儀器(Optimass8000ICP-oa-TOF-MS,澳大利亞GBC科學(xué)儀
2025-06-16 14:56
【摘要】第四章,等離子體約束和輸運(yùn)?引言?實(shí)驗(yàn)結(jié)果?L-H轉(zhuǎn)換物理?能量約束定標(biāo)律?粒子輸運(yùn)?動量約束1,引言一維流體輸運(yùn)方程密度動量能量極向磁場非對角項(xiàng)和非擴(kuò)散項(xiàng)的作用(,,Warepincheffect)簡單的粒子擴(kuò)散模型D=constSrnrr
2024-10-11 11:34
【摘要】等離子體滲氮(輝光離子氮化)工藝作為一種有效的鋼鐵及合金表面強(qiáng)化技術(shù)在工業(yè)上已得到廣泛的應(yīng)用,與其他滲氮相比,離子滲氮具有滲速快、滲層脆性疏松理想、零件變形小、有利于不銹鋼、鑄鐵滲氮、節(jié)能、無污染等特點(diǎn)。七十至八十年代,以直流電源(即LD系列)設(shè)備進(jìn)行離子滲氮,問題明顯突出,裝爐要求嚴(yán)格。以曲軸為例:曲軸滲氮前必須對其油孔、平衡孔進(jìn)行封堵,其中若有一孔未堵或封堵件在滲氮過程中有一件掉落
2025-06-27 07:21
【摘要】中國工程熱物理學(xué)會燃燒學(xué)學(xué)術(shù)會議論文編號:094041等離子體電弧爐內(nèi)流動與傳熱數(shù)值模擬鄧晶李要建田君國王蕊徐永香盛宏至中國科學(xué)院力學(xué)研究所,北京,100190TEL:010-82
2025-08-09 13:25
【摘要】中華人民共和國信息產(chǎn)業(yè)部發(fā)布××××-××-××實(shí)施××××-××-××發(fā)布數(shù)字電視等離子體顯示器通用規(guī)范GeneralspecificationfordigitaltelevisionPDPdispl
2025-04-11 23:58
【摘要】電弧等離子體發(fā)生器中傳熱與流動的數(shù)值模擬*黎林村,夏維東**(中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)熱科學(xué)與能源工程系,安徽合肥230027)摘要:本文利用CFD軟件FLUENT,將等離子體發(fā)生器陽極歸入計算域,對其內(nèi)部的傳熱與流動進(jìn)行了數(shù)值模擬。計算結(jié)果表明,在本文中,將陽極邊界簡化為等溫條件是合理的。提高進(jìn)氣速度或減小電弧電流,都會使得陽極弧根向下游移動。等離子體發(fā)生器出口處溫度和速度
2025-08-09 13:26
【摘要】利用發(fā)射探針測量預(yù)鞘區(qū)等離子體空間電位馬錦秀,李毅人,肖德龍,鄭堯邦,王道泳,張文貴中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)近代物理系國家自然科學(xué)基金資助課題(批準(zhǔn)號:10475075)一、鞘層和預(yù)鞘研究背景?理論研究較多?實(shí)驗(yàn)診斷甚少:早期用電子束偏轉(zhuǎn)—精度很低激光誘導(dǎo)熒光—信噪比較低發(fā)射探針—比較
2024-10-12 11:03
【摘要】等離子體微小空間碎片加速器初步實(shí)驗(yàn)結(jié)果楊宣宗,馮春華,王龍(中科院物理研究所)韓建偉,黃建國,張振龍,李小銀,陳趙峰,全榮輝(中科院空間科學(xué)與應(yīng)用中心)孫遠(yuǎn)程,何平(北京機(jī)電研究所)內(nèi)容(1)引言(2)工作原理(3)實(shí)驗(yàn)裝置(4)診斷測量
2025-05-02 13:57
【摘要】第四章:核聚變高溫等離子體應(yīng)用核能氫彈-無控核聚變受控核反應(yīng)堆核聚變優(yōu)點(diǎn),原理等離子體中的電流磁控的概念不穩(wěn)定性慣性約束的概念可能性及世界合作核能是20世紀(jì)人類的一項(xiàng)偉大發(fā)現(xiàn).1938年德國科學(xué)家用中子轟擊鈾原子核,首先發(fā)現(xiàn)核裂變現(xiàn)象.核裂變
2024-10-12 04:34
【摘要】鋁硅烷涂層的濕沉積和等離子體沉積的比較關(guān)鍵詞:等離子體沉積,硅烷,BTSE,X射線光電子能譜,IRRAS摘要:硅烷涂料適用于金屬表面的各種用途,例如形成一個防腐保護(hù)層或者充當(dāng)后續(xù)涂層的底漆。在這項(xiàng)工作中二—1,2—(三乙氧基)乙烷(BTSE)%的鋁基底上用于沉積涂層,伴隨三種不同的技術(shù):浸涂(水基溶液),真空等離子體和大氣等離子體。反射吸收紅外光譜(IRRAS),X射線光電子能譜(X
2025-06-26 14:46