大學(xué)物理薄膜干涉(文件)
【正文】 的單色光垂直入射時(shí) , 測(cè)得干涉條紋的寬度 , 求 這玻璃的 折射率 . nm589???b解 nbbn22??? ???357??????????nbn??2??2）測(cè)膜厚 ise1n2n2ios1）干涉膨脹儀 0l 劈尖干涉的應(yīng)用 12 nNe ??l?2?Nl ??1nn1nLd空氣 1?ne? 3）檢驗(yàn)光學(xué)元件表面的平整度 2aeb???ba4）測(cè)細(xì)絲的直徑 bLnd ??2?b 例 4 在半導(dǎo)體元件生產(chǎn)中，為了測(cè)定硅片上 SiO2薄膜的厚度，將該膜的一端腐蝕成劈尖狀，已知 SiO2 的折射率 n =，用波長(zhǎng) ? =5893埃的鈉光照射后，觀察到劈尖上出現(xiàn) 9條暗紋，且第 9條在劈尖斜坡上端點(diǎn)M處， Si的折射率為 。) = 解二 : 使透射綠光干涉相長(zhǎng) 由透射光干涉加強(qiáng)條件： 1 2 n2 n1 n0 = 1 取 k = 1 問(wèn)題：此時(shí)反射光呈什么顏色？ 22 2n e k? ?? ? ? ?234en??2n2e=kλ λ1=2n2e=8250197。的綠光全部通過(guò)。 94 薄膜干涉 一 薄膜干涉 二 薄膜干涉的應(yīng)用 1 . 增透膜和增反膜 2 . 劈 尖 3 . 牛頓環(huán) P 1n1n2n1M2MeL 一 薄膜干涉 ADCD ?ADnBCABnΔ 1232 )( ???c o sA B B C e ??? iACAD s in? 2 t a n s i nei???12s ins innni??2??12 nn ?i D C 3 4 E 5 A 1 ??B 2 ? ?23 2 2 22 1 s in 2 c o sc o s 2 2eΔ n r n e rr ??? ? ? ? ?2 2 2r 2 12 s in 2Δ e n n i?? ? ?? 反 射光的光程差 ?k 加 強(qiáng) ),2,1( ??k?rΔ2)12(??k 減 弱 ),2,1,0( ??k P 1n1n2n1M2MeL i D C 3 4 E 5
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