高純多晶硅潔凈生產(chǎn)工藝(文件)
【正文】 0 ISO Class7 352021 83200 2930 10000 ISO Class8 3520210 832021 29300 100000 ISO Class9 35202100 8320210 293000 潔凈度 談到凈化廠房的潔凈度時，可以舉 “ 在太平洋中游弋的一條魚 ” 的例子來比喻 “ 浮游在 空氣中的灰塵微粒 ” ，目的是讓大家親身感覺到半導(dǎo)體潔凈室方面的那種極其潔凈的 程度。 如果與 ISO 1級相同的粒子比例進行換算， 70700萬 km3的 10（ 21次方）僅 l， l也就大約相當(dāng)于一條魚的體積。 （三十萬級） 的 整理 和 產(chǎn)品 的 檢測 （三十萬級） 潔凈室內(nèi)污染的來源，經(jīng)測試如下表。個 |人 .分鐘 人體的不同動作及不同工作服所能產(chǎn)生的微塵粒子數(shù) 潔凈室的維護與管理 表二 人員的動作 環(huán)境周圍之污染增加的倍數(shù) 操作人員動作 45人同時聚集在一起 正常的步行 靜靜地坐下 將手伸入層流式的無塵工作臺中 層流式的無塵工作臺無操作 無 操作人員自身行為 正常的呼吸 無 吸煙后的 20分鐘內(nèi)吸煙者的呼吸 打噴嚏 用手擦臉上的皮膚 操作人員用的工作服 （合成纖維產(chǎn)品） 刷工作服的袖子時 不穿鞋套踏地板 穿鞋套后踏地板 從口袋內(nèi)取出手帕 潔凈室的管理 ：作業(yè)人員要有潔凈度的思想觀念，需進行潔凈技術(shù)的培訓(xùn)學(xué)習(xí)，對特殊關(guān)鍵崗位人員需進行考核，持證才能進入潔凈區(qū) 著裝和卸裝的步驟 刷卡進入更衣室 洗手烘干 戴發(fā)套，將頭發(fā)完全放入發(fā)套 戴口罩，口、鼻完全掩在口罩內(nèi) 穿凈化服 ,拉好拉鏈 穿凈化鞋，褲管收在鞋筒
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