壓電懸臂梁探針中壓電電荷信號的檢測論文開題報(bào)告(文件)
【正文】 以上兩種放大電路進(jìn)行壓電信號檢測實(shí)驗(yàn) ,檢測樣品為自制的壓電微懸臂梁，并且在檢測微懸臂梁頻率響應(yīng)特性的實(shí)驗(yàn)中得到了較好的結(jié)果。兩種前放電路中，差動(dòng)電荷放大電路靈敏度較高，但是其原件較多，差動(dòng)調(diào)平衡較難，噪聲引入環(huán)節(jié)較多 。微力傳感器系統(tǒng)本身尺寸在 181。所以開展適用于微力傳感器系統(tǒng)測試的方法研究，搭建實(shí)用、可靠的微結(jié)構(gòu)性能參數(shù)測試平臺十分關(guān)鍵。 針對本文設(shè)計(jì)的具有雙壓電單元的壓電薄膜微懸臂梁，需進(jìn)一步探索其應(yīng)用模式。通過檢測微懸臂的振動(dòng)變化情況就能得到所需要的被測量。在這幾種檢測方法中 , 壓電效應(yīng)檢測法以其體積小 , 裝置簡單 , 分辨率高 ,對信號檢測的要求更是嚴(yán)格。 ? 3：同已有的檢測方法和計(jì)算方式進(jìn)行比較分析研究，選擇壓電電荷信號檢測的方法和計(jì)算方式進(jìn)行設(shè)計(jì)，對壓電懸臂梁探針中的電荷信號進(jìn)行最有效的計(jì)算，將信號進(jìn)行放大、處理，降低信號的信噪比，檢出。 ? 1：進(jìn)一步深入地研究壓電效應(yīng)，根據(jù)壓電薄膜的材料選擇壓電信號檢測的手段、方法，設(shè)計(jì)最優(yōu)的檢測電路，更好更精確的檢測信號，提高檢測效果，從而提高產(chǎn)品的質(zhì)量。同時(shí)微懸臂梁有很高的分辨率 , 因此其變形檢測方法要有很高的分辨率。將雙層和雙片 PZT壓電薄膜微懸臂梁結(jié)構(gòu)應(yīng)用于具體的微操作及生物力學(xué)等測量環(huán)境中，開展更為廣闊的應(yīng)用研究。 從壓電微力傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、制作工藝以及信號檢測等方面進(jìn)一步探討提高微力傳感器靈敏度的方法 。N級小力的產(chǎn)生和
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