【正文】 、壓電薄膜微力傳感器特性研究 盧曉光 （大連理工大學(xué)物理電子學(xué)系） ? 要點(diǎn) : 基于壓電 PZT薄膜的微力傳感器的性能主要依賴于 PZT薄膜的性能、微力傳感器結(jié)構(gòu)和基于微系統(tǒng)的測試系統(tǒng)三個(gè)因素，本文對基于雙壓電 PZT薄膜單元的微懸臂梁結(jié)構(gòu)，搭建了微力系統(tǒng)測試的通用平臺(tái)，在此基礎(chǔ)上對微懸臂梁結(jié)構(gòu)進(jìn)行傳感和執(zhí)行性能的測試和 PZT薄膜的橫向壓電系數(shù) d31測量進(jìn)行了深入研究 . 基于電子天平，電荷放大器和鎖相放大器為核心的通用微系統(tǒng)測試平臺(tái)。目前檢測微懸臂梁變形量的方法主要有隧道電流法、電容法、光學(xué)檢測法及壓電、壓阻效應(yīng)法。 合理化設(shè)想 微懸臂梁是一種在微電子機(jī)械系統(tǒng) (M EM S) 中常用到的結(jié)構(gòu) , 其多用于微小力檢測、加速度檢測、生物化學(xué)檢測及數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等方面。兩種電路都能較好的檢測出微懸臂梁在諧振狀態(tài)卜的幅度和相位。 目前檢測微懸臂梁變形量的方法主要有隧道電流法、電容法、光學(xué)檢測法及壓電、壓阻效應(yīng)法。 ? 第十周 —— 第十一周（ 5月 7日 —— 5月 20日）：研究壓電懸臂梁探針中壓電電荷信號的檢測處理，并對信號進(jìn)行放大、處理，降低信號的信噪比，檢出。微力傳感器系統(tǒng)本身尺寸在 181。在這幾種檢測方法中 , 壓電效應(yīng)檢測法以其體積小 , 裝置簡單 , 分辨率高 ,對信號檢測的要求更是嚴(yán)格。將雙層和雙片 PZT壓電薄膜微懸臂梁結(jié)構(gòu)應(yīng)用于具體的微操作及