低壓擴(kuò)散應(yīng)用于晶硅太陽電池的可行性工作總結(jié)報(bào)告-wenkub
2022-08-30 23:34:35 本頁面
【正文】 際能源署(IEA)和歐盟聯(lián)合研究中心(JRC)的預(yù)測(cè)，到2040年世界太陽能光伏發(fā)電量將占世界電力總供應(yīng)的20%以上。根據(jù)預(yù)測(cè)如圖1所示，太陽能在未來能源結(jié)構(gòu)當(dāng)中所占的比例越來越大，在本世紀(jì)末太陽能將可能會(huì)成為主要的能源供給來源，所占比例可能會(huì)超過60%。對(duì)于擴(kuò)散工序，最大的問題是如何提高擴(kuò)散的均勻性。這樣，電池片的轉(zhuǎn)換效率也就更穩(wěn)定。二、項(xiàng)目執(zhí)行情況 成立項(xiàng)目工作小組為確保本項(xiàng)目的順利實(shí)施，公司已經(jīng)形成了有來自浙江大學(xué)、湖南科技大學(xué)、中國科學(xué)院等著名高等院校10多名碩士組成的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，共同致力于公司技術(shù)研發(fā)工作，公司以內(nèi)部研發(fā)中心為依托，成立項(xiàng)目工作小組，該小組下設(shè)設(shè)備優(yōu)化研究小組、工藝研發(fā)小組和試驗(yàn)生產(chǎn)小組，對(duì)研發(fā)工作進(jìn)行了細(xì)化分解。從進(jìn)氣管1進(jìn)入工藝氣體，在腔室2中進(jìn)行低壓擴(kuò)散，尾氣從尾氣管3排出，泵9負(fù)責(zé)創(chuàng)造真空條件，泵出口連接排酸管道。研究初始低壓擴(kuò)散條件與最終所得電池片性能參數(shù)間的關(guān)系，成功設(shè)計(jì)并優(yōu)化初步得出一種高方阻的低壓擴(kuò)散工藝。主要研究?jī)?nèi)容本項(xiàng)目提出采用低壓擴(kuò)散工藝改善擴(kuò)散均勻性，它一種通過改善爐管氣密性、增加真空系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的擴(kuò)散方式，真空系統(tǒng)提供低壓力氛圍，從而增加三氯氧磷分子平均自由程，提高擴(kuò)散均勻性、穩(wěn)定性和成膜致密性；通過低壓擴(kuò)散工藝，可以獲得均勻的pn結(jié)結(jié)構(gòu)，更易實(shí)現(xiàn)淺結(jié)高方阻擴(kuò)散工藝，提升電池轉(zhuǎn)換效率。進(jìn)舟抽真空升溫檢漏通氧擴(kuò)散推進(jìn)充氣出舟低壓擴(kuò)散工藝分如下三步進(jìn)行：(1)關(guān)閉放有硅片的擴(kuò)散爐爐門后,抽氣使?fàn)t內(nèi)壓強(qiáng)至設(shè)定壓強(qiáng)并用高溫氧化硅片,在硅片表面生成一薄層SiO2；(2)采用兩步擴(kuò)散法制備PN結(jié)：第一步低溫預(yù)擴(kuò)散,第二步高溫?cái)U(kuò)散；(3)退火,改變擴(kuò)散爐內(nèi)部壓強(qiáng)除去雜質(zhì)；步驟(1)至(3)中設(shè)定的工藝參數(shù)如下：所述步驟(1)設(shè)定的工藝參數(shù)為：爐內(nèi)壓強(qiáng)為50～100mbar；氧化溫度為780～800℃；氧化時(shí)間為200～800sec；大氮流量為10000～30000ml/min；氧氣流量為500～2000ml/min；所述步驟(2)設(shè)定的工藝參數(shù)為：第一步低溫預(yù)擴(kuò)散工藝參數(shù)為：爐內(nèi)壓強(qiáng)為50～100mbar；爐內(nèi)溫度為780～800℃；擴(kuò)散時(shí)間為250～
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