【正文】 CANTATION)：METTESON 等以電解方式增加水中的離子，利用電混凝有效去除水中的超威顆粒 RAGHAVAN 等則以電混凝 /電透析(EC/ED)技術(shù)來處理半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械研磨廢液。(D) 一次通過低壓薄膜組合系統(tǒng)(SINGLEPASS MEMBRANE ARRAY SYSTEM)：MICROBAR 公司最近發(fā)展一種新的處理技術(shù)，采用一次通過(SINGLEPASS) 多段薄膜組合排列(MEMBRANE ARRAY)之低壓微過濾系統(tǒng)。(B) 溶氣加壓浮選(DISSOLVED AIR FLOTATION)：CMP 研磨廢液內(nèi)含高濃度之懸浮固體物，以柱型浮選槽能有效地選分離研磨漿料，當(dāng)加入補(bǔ)集劑油酸鈉時(shí)其效果更顯著，配合控制溶氣壓力、溶氣飽和時(shí)間及加入適當(dāng)藥劑來回收研磨漿料固粒，并達(dá)到與廢水分離的目的。圖三為含氟廢水處理系統(tǒng)流程：11 / 12012 / 1204. CMP/BG 廢水處理國內(nèi)外目前已被研究或發(fā)展使用之 CMP 廢水處理技術(shù)可分為兩大類：?以化學(xué)加藥混凝做前處理伴隨重力沉淀、加壓浮上或薄膜過濾等處理程序。經(jīng)凝集槽反應(yīng)之處理水流入膠凝槽與膠凝劑混合，促使處理水之懸浮顆粒結(jié)合，形成更大之顆粒。若進(jìn)口 COD 濃度低至 200~300 mg/L，則可以僅考慮接觸氧化處理，如圖二所示：溶解空氣上浮 水解酸化 沉淀 過濾接觸氧化 消毒9 / 12010 / 1203. 含氟廢水處理氫氟酸廢水可分為高濃度含氟廢水及低濃度含氟廢水，由制程排出分別收集于貯槽。人們開發(fā)了一系列生化處理新方法，例如：吸附一生物氧化法(AB 法) ；厭氧/好氧活性污泥法 (A/O 法) ；厭氧/ 缺氧 /好氧活性污泥法(A 2/O 法)；氧化渠法；批次式活性污泥法(SBR 法)及其變形 (MSBR、CAST、UNITANK 等)。一般設(shè)計(jì)時(shí)，需考慮兩段式中和處理，其原因?yàn)殡娮訌S酸堿廢水一般緩沖物質(zhì)(BUFFER)少，故 pH 調(diào)整不易，在設(shè)計(jì)時(shí)甚至有人建議應(yīng)采三段式中和設(shè)計(jì)。廢氣洗滌塔排放水：主要含 SS 及依其廢氣性質(zhì)而定之酸堿廢水。4. CMP 研磨廢水化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)制程為 12〞晶圓制造的必備制程，其廢水含有大量奈米級(jí) (小于 100mm)的顆粒(其成份可能含有Cu、W、Ti 、Ce 等重金屬及不可知的商業(yè)機(jī)密有機(jī)成份)，一般研磨液可分為氧化膜及金屬膜兩大類。2. 有機(jī)廢水此類廢水通常在 TFTLCD 或 PDP 制程產(chǎn)生，其 COD 濃度平均1800 mg/L，變化范圍一般在 1000~4500 mg/L。7. . (Suspended Solid)懸浮固定體指懸浮于水中之物質(zhì)，其范圍有自細(xì)小的膠狀粒子至粗大的固定物，為污水水質(zhì)之重要指標(biāo)。5. BOD 5 (Biochemical Oxygen Demand)五日生化需氧量用以表示廢水及表面水有機(jī)污染物的重要參數(shù)。污泥脫水(Sludge Dewatering)污泥脫水之目的在于減少污泥體積，使污泥易于搬運(yùn)及廢棄。此種力量非常薄弱，容易受到機(jī)械力的破壞，因此混凝作用時(shí)，常加入助凝劑 (如 polymer)利用膠羽使粒子與粒子結(jié)合成較大的凝集體。常用之混凝劑有硫酸鋁(明礬)，多元氯化鋁 (PAC)，硫酸亞鐵 (綠礬)。一般污泥脫水可分為自然脫水與機(jī)械脫水。主要是測(cè)量水中被微生物用來分解有機(jī)物所耗的溶解氧量。8. F (Fluoride)氟離子高濃度的氟化物對(duì)河川中生物具有毒性，因此對(duì)放流水質(zhì)之氟離子含量有其規(guī)定限值。一般需生物處理法去除。5. 重金屬廢水一般晶圓廠及 TFTLCD 廠較少有重金屬廢水產(chǎn)生，但對(duì) PDP 制程，其它電子組件，如：MLCC、CHIPR 或電鍍制程者，就必需處理金屬廢水，另外，如：砷化鎵制程有含砷廢水，而銅制程 CMP 廢水則含 Cu 離子需去除。冷卻水塔旁濾系統(tǒng)反洗水：主要含 SS。如圖一所示：為兩段式中和處理系統(tǒng)7 / 1208 / 1202. 有機(jī)廢水處理電子廠有機(jī)廢水其主要特點(diǎn)是 BOD5/CODcr 值 ，?好的廢水。近來又推出了兩種新的污水處理技術(shù)，其一是 BIOPUR 法( 曝氣生物濾池)，其二是 MBR 法(薄膜生物反應(yīng)器 )。當(dāng)?shù)蜐舛群鷱U水貯槽液位達(dá)設(shè)定高液位時(shí)，由液位控制傳達(dá)訊號(hào)啟動(dòng)泵浦，定量輸送貯槽內(nèi)之低濃度含氟廢水至貯槽與高濃度含氟廢水混合。經(jīng)膠凝槽反應(yīng)之處理廢水流入沉淀槽進(jìn)行固液分離之過程，經(jīng)一段時(shí)間后底部之污泥排入污泥貯地。?不加任何化學(xué)藥品直接以超過濾(UF) 、電膠凝/電透析(EC/ED)或外加電場(chǎng)微過濾處理程序。13 / 120(C) 薄膜微過濾系統(tǒng) (MEMBRANE MICROFILTRATION)：目前廣泛使用于 CMP 廢水處理之薄膜過濾系統(tǒng)皆以平行流或掃流式(CROSSFLOW FILTRATION)薄膜微過濾為主流。這種 ENCHEM 系統(tǒng)使用流通過可達(dá)到 200GFD，在低壓下操作(4~10PSI) 并可處理高流量達(dá) 5,000gal/min，與平流式微過濾系統(tǒng)不同的是并沒有循環(huán)過濾而是采用一次通過過濾方式。(C) 另外 BG 廢水性質(zhì)與 CMP 廢水類似，一般可合并處理。(2) 重金屬廢水：一般重金屬廢水可以傳統(tǒng)化學(xué)混凝沉淀處理，但近年來電凝浮除法亦正在發(fā)展，如考慮造價(jià)則傳統(tǒng)化學(xué)混凝沉淀法稍占優(yōu)勢(shì)，但若考慮用地面積則電凝浮除法用地需求較少。(B) 污泥注入泵啟動(dòng)時(shí)，由吸口端注入 POLYMER 使污泥易于擠壓成餅。污泥脫水機(jī)作動(dòng)流程示意圖(HF 后段處理流程圖)20 / 120 設(shè)計(jì)準(zhǔn)則 設(shè)計(jì)處理水量依據(jù)設(shè)計(jì)指引〝GLDGENVW501 全廠水平衡圖規(guī)劃作業(yè)指引〞之廢水量并考慮廢水處理系統(tǒng)操作時(shí)間(8HR、16HR 或 24HR)，訂出廢水處理量。各單元如何設(shè)計(jì)可依 教科書所列。(b) 經(jīng) TK102 收集后，與放流水混合，Na 2HAsO4 稀釋濃度2022/2/=147 mg/L23 / 120設(shè)計(jì)處理量 5m3/hTK103，停留時(shí)間 10min，有效容量： 3TK104，停留時(shí)間 20min，有效容量： 3TK105，停留時(shí)間 20min，有效容量： 3(c) 加藥量計(jì)算TK103 NaOH (45%) 加藥量PH7 →5m3/h x mole/l = q x 103cm3/l x q = l/h → TK104 Ca(OH)2 與 FeCl3 加藥量反應(yīng)式 3 Na2HAsO4+3H2O+2 FeCl3?Fe(OH)3(s) +Fe(H2ASO4)3(s) + 6NaCl (1)M(分子量 )Na2HAsO4=186 (采 AWWA 出版之 Water Quality and 所列之方法)M(分子量 )FeCl3=Stoichmetric FeCl3 量L/47?砷、鐵比需在 20 倍，使去除率達(dá) %，使 As 出流水3mg/L86mg/L x 20 = 1720 mg/L ≒1720 g/m3則(20%)FeCl3 1720 g/m3 x 5m㎏ /h/ l/hCa(OH)2/FeCl3= 24 / 120故(1%)Ca(OH) 2 5m3/h/Polymer/FeCl3 = 1/50(%) Polymer /720x 1/50/5/每日加藥量計(jì)算，每日(++) x 24 = CMD加藥時(shí)間 每日 Ca(OH)2(1%) 688 x = m3每日 FeCl3(20%) x = m3每日 Polymer(%) 172 x = m3(d) 污泥量計(jì)算：假設(shè) SS = 100mg/L根據(jù)水式生成 Fe (H2AsO4)3 = L/)41675x1(56[3x1847???Fe(OH)3 = L/g1036]x)16(5[)470( ???Ca(OH)2 = 1376 mg/L25 / 120Polymer = mg/LTotal Dry = 100 + + 1036 + 1376 + = 2673 mg/L2673 mg/L x 5m3/h x h = kg/day污泥貯槽 2%污泥 day/m6./?停留時(shí)間 12hr，V= 3 →choose 5 m3，( 使脫水機(jī)運(yùn)作有彈性)污泥脫水(含水率 )，采板框式， 75%泥餅量→ day/?(B) 一般廢水由前水量分析得知，設(shè)計(jì)處理量 40 m3/h(配合尖峰 DI 再生水量決定)[注：若 parts clean 實(shí)際用水為 1/3，則日處理量為 170 m3]TK302，停留時(shí)間 10min，有效容量= m3TK303，停留時(shí)間 10min，有效容量= m3(a) 酸堿加藥量計(jì)算考慮若進(jìn)水(Max)pH 達(dá) 13 時(shí)，pH 由 13→7 時(shí)，第一段 HCl(32%)加藥量40x101 =q x 103 x Q = 409 L/H 16./05226 / 120→ lpm第二段加藥量，pH10→740x104 =q x 103 x Q = L/H 16./052→ cc/min若考慮 DI 再生時(shí)，pH(Max)由 1→7第一段 Na(OH)(45%)加藥量40x101 =q x 103 x q = 242 l/h →4 5lpm第二段 Na(OH)(45%)加藥量， pH4→740x104 =q x 103 x Q = L/H →4 cc/minTK304 放流水檢知池停留時(shí)間 15min有效容積→V=40 x = 10m3601527 / 12028 / 120 Pamp。完整之 Pamp。(3) 儀控設(shè)備常用儀表規(guī)定：液位計(jì)、液位開關(guān)、流量計(jì)、pH 檢測(cè)/ 傳信器、壓力差開關(guān)。工程接口是規(guī)范要求重點(diǎn)，詳〝GLDGPRX518 設(shè)計(jì)接口及整合指引〞、〝GLDGPRX519 施工接口及整合指引。(2) 灑落地面的廢水依其類別分開收集，故須考慮能區(qū)分排液作業(yè)廠的配置。(6) 長配管可利用中間軟管或伸縮管等，防止地震或沖擊破損。(10)平時(shí)排水與更新廢液使用同一之配管，而以閥切換分別排至個(gè)別貯槽，可能因操作疏失造成事故應(yīng)予注意。各型式貯槽之構(gòu)造、材質(zhì)依所收集之廢水或廢液之發(fā)生源及污染特性來考慮，其特征及維護(hù)管理匯整如表 所示。定期檢查(例如 6 個(gè)月1 次 )內(nèi)部狀況一有腐蝕狀況即予修補(bǔ)或更換新槽地下貯槽構(gòu)造簡單。視狀況入槽內(nèi)以 PVC 片修補(bǔ)內(nèi)側(cè)地下雙重貯槽安全性高、管理修補(bǔ)簡單。(3) 出水高度(FREE BOARD)：~ 。一般有下列三種流量控制方法：(A) 泵定量抽送方法(圖 8A)泵定量抽送方法，必須設(shè)置流量測(cè)定及控制閥。(C) 分水計(jì)量槽分水之方法(圖 8C)本法為藉泵從調(diào)勻池?fù)P升之廢水送人設(shè)有三角堰或矩型堰之分水計(jì)量槽，而使一定之廢水自堰溢流入后續(xù)處理設(shè)施之方法。 廢水進(jìn)行 PH 調(diào)整處理時(shí)，所要的加藥量事實(shí)上極難控制，尤其在間歇排放廢水，且廢水流量變化大時(shí)，加入之中和劑量亦要隨著變化。(3) 在幾分鐘內(nèi)，廢水量即可能加倍。圖 9 正確之加藥方法38 / 120圖 10 不當(dāng)之加藥方法39 / 120 各種混凝劑對(duì)處理水水質(zhì)之影響混凝劑加 1mg/L 時(shí)處理水水質(zhì)變化 混凝劑 1mg/L 所需要堿劑混凝劑 分子量 堿度減少硫酸鹽增加由氫碳酸放出 CO2由碳酸放出 CO2 Na2O3 Ca(OH)2 NaOH硫酸鋁666 硫酸鐵400 硫酸亞鐵278 加氯硫酸亞鐵563 硫酸鉀鋁948 硫酸銨鋁908 助凝劑之種類及其應(yīng)用藥品 劑量范圍(mg/L)PH 備注陰離子聚合物 2~5 沒有改變 膠體混凝或與金屬一起助凝，應(yīng)避免惰性化合物的形成。以上。一般沉淀時(shí)間依粒子的性質(zhì)采用 2~6 小時(shí)，雖沉淀時(shí)間長去除率高，但腐敗性的廢水若太長則常因腐敗而水質(zhì)發(fā)生惡化。為沉淀槽內(nèi)處理水之上升速度之近似值，水面積負(fù)荷 20m3/m2*d 系表示處理水之平均上升速度為 20m/d 之意，其值可依下式?jīng)Q定之。而溶解性物質(zhì)則無法藉過濾方式去除之。于濾層中通過水流，由于濾層內(nèi)之阻力，會(huì)產(chǎn)生流入端與流出端之壓力差稱為損失水頭或過濾阻力。一般過47 / 120濾塔槽之下部為集水裝置，其上置支持濾層的礫石層，再其次為濾層。又本支持層之設(shè)置以能使反沖洗水及空氣于反沖洗時(shí)能均勻分散為宜。過濾達(dá)到一定的損失水頭時(shí)或經(jīng)過一段時(shí)間，過濾濾層發(fā)生阻塞現(xiàn)象時(shí)，必須以水及空氣進(jìn)行濾層反沖洗，以恢復(fù)過濾能力。NO 項(xiàng)目 材質(zhì)之選定A 廢水貯存槽 采用可抗氫氟酸之 FRP 層及溶劑B 廢水傳送泵 接液部份采用抗氫氟酸材質(zhì)之POLYPROPYLENEC 氫氟酸偵測(cè)計(jì)采用 TEFLON 之材質(zhì)，偵測(cè)計(jì)可自動(dòng)清洗D 酸堿偵測(cè)計(jì) 采用可自動(dòng)清洗式E 管線輸送系統(tǒng)采用 PVC 材質(zhì) 化學(xué)藥液材質(zhì)選用使用之化學(xué)藥劑如有硫酸(50%) 、氫氧化鈉(45%)、硫酸亞鐵(30%)及POLYMER(%)，其貯存及傳送之材質(zhì)如下所述：NO 項(xiàng)目 化學(xué)藥廠 材質(zhì)硫酸 FR